本發(fā)明涉及一種在聚酰亞胺基板上形成有液晶顯示裝置、有機(jī)電致發(fā)光(electroluminescence，el)顯示器、有機(jī)el照明、電子紙、觸摸屏(touchpanel)、彩色濾光片(colorfilter)等功能層的聚酰亞胺樹脂層疊體及其制造方法以及帶有功能層的聚酰亞胺膜。

背景技術(shù)：

液晶顯示裝置或有機(jī)el顯示裝置等顯示裝置被廣泛地用于電視那樣的大型顯示器至手機(jī)、個(gè)人計(jì)算機(jī)(personalcomputer)、智能手機(jī)(smartphone)等的小型顯示器。例如有機(jī)el顯示裝置是在玻璃基板上形成薄膜晶體管(thinfilmtransistor，tft)，依次形成電極、發(fā)光層、電極等，最后另外用玻璃基板或多層薄膜等進(jìn)行氣密密封而制作。

這里，顯示裝置的種類并無特別限制，也包含以液晶顯示裝置、有機(jī)el顯示裝置、電子紙為代表的顯示裝置及彩色濾光片等顯示裝置的構(gòu)成零件。另外，也包含隨附于所述顯示裝置而使用的各種功能裝置，其中包括有機(jī)el照明裝置、觸摸屏裝置、層疊有氧化銦錫(indiumtinoxide，ito)等的導(dǎo)電性膜、防止水分或氧等的滲透的阻氣膜、柔性電路基板的構(gòu)成零件等。即，本發(fā)明中所謂柔性元件，不僅包含液晶顯示裝置、有機(jī)el顯示裝置及彩色濾光片等構(gòu)成零件，而且也包含有機(jī)el照明裝置、觸摸屏裝置、有機(jī)el顯示裝置的電極層或發(fā)光層、阻氣膜、粘合膜、薄膜晶體管(tft)、液晶顯示裝置的布線層或透明導(dǎo)電層等的一種或兩種以上的組合。

通過將玻璃基板替換成樹脂基材，可實(shí)現(xiàn)薄型化、輕量化、柔性化，從而可進(jìn)一步擴(kuò)大顯示裝置的用途。但是，與玻璃相比，樹脂有尺寸穩(wěn)定性、透明性、耐熱性、耐濕性、阻氣性等差等問題。

例如，專利文獻(xiàn)1涉及一種與作為柔性顯示器用塑料基板而有用的聚酰亞胺及其前驅(qū)物有關(guān)的發(fā)明，已公開：使用環(huán)己基苯基四甲酸等那樣的含有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)的四羧酸類與各種二胺反應(yīng)而成的聚酰亞胺的透明性優(yōu)異。除此以外，也嘗試了使用柔性的樹脂基材代替玻璃基板來實(shí)現(xiàn)輕量化，例如非專利文獻(xiàn)1及非專利文獻(xiàn)2中提出了利用透明性高的聚酰亞胺的有機(jī)el顯示裝置。

像這樣，已知聚酰亞胺等的樹脂膜作為柔性顯示器用的支持基材而有用，但顯示裝置的制造工序已使用玻璃基板而進(jìn)行，其生產(chǎn)設(shè)備大半是以使用玻璃基板為前提而設(shè)計(jì)。因此，理想的是可有效運(yùn)用現(xiàn)有的生產(chǎn)設(shè)備并且生產(chǎn)顯示裝置。

作為其研究例之一，有以下方法：以在玻璃基板上層疊有樹脂的狀態(tài)完成既定的顯示裝置的制造工序，然后去掉玻璃基板，由此制造在樹脂基材上具備顯示部的顯示裝置(參照專利文獻(xiàn)2～專利文獻(xiàn)3、非專利文獻(xiàn)3～非專利文獻(xiàn)4)。這種方法的情況下，重要的是不對(duì)形成在樹脂基材上的顯示部造成損傷而將樹脂基材與玻璃分離。

即，專利文獻(xiàn)3或非專利文獻(xiàn)3中，對(duì)涂布在玻璃基板上并經(jīng)固著的樹脂基材形成既定的顯示部后，通過被稱為塑料電子激光釋放(electronicsonplasticbylaserrelease，eplar)工藝的方法從玻璃側(cè)照射激光，將具備顯示部的樹脂基材從玻璃基板強(qiáng)制分離。另外，專利文獻(xiàn)2或非專利文獻(xiàn)4中，在玻璃基板上形成剝離層后，涂布比剝離層大一圈的聚酰亞胺樹脂而形成聚酰亞胺層，刻入到達(dá)剝離層的切斷線，將小一圈的聚酰亞胺膜從剝離層剝離。

另一方面，在使樹脂層疊在玻璃基板上的情況下，翹曲成為大問題。即，玻璃基板的熱膨脹系數(shù)為幾ppm/k，相對(duì)于此，通常樹脂具有幾十ppm/k以上的熱膨脹系數(shù)，因此例如若將樹脂溶液涂布在玻璃基板上，通過加熱處理等使其硬化而形成樹脂層，并放置冷卻至室溫，則會(huì)產(chǎn)生翹曲。若無法抑制這種翹曲，則會(huì)對(duì)隨后的顯示部的形成等造成不良影響。

在使用聚酰亞胺層疊體的工序中，柔性顯示器tft基板工序通常使用in-ga-zn-o半導(dǎo)體(銦鎵鋅氧化物(indiumgalliumzincoxide，igzo))或低溫多晶硅(lowtemperaturepoly-silicon，ltps)工法，受到350℃以上的熱。此時(shí)，玻璃基板的熱膨脹系數(shù)為幾ppm/k，相對(duì)于此，通常樹脂具有幾十ppm/k以上的熱膨脹系數(shù)，因此可能層疊體產(chǎn)生翹曲，無法實(shí)現(xiàn)顯示部的微細(xì)化。

關(guān)于此方面，專利文獻(xiàn)3中公開了在支持基板與樹脂膜(a)之間設(shè)置熱膨脹系數(shù)在支持基板與樹脂膜(a)之間那樣的樹脂層(b)，但翹曲的抑制效果不充分。

此外，在以卷對(duì)卷(rolltoroll；以下也稱為“rtr”)方式制造顯示器或觸摸屏等的情況下，成為支持基材的膜在工藝中可耐受超過300℃的高溫處理，因此必須為耐熱性優(yōu)異的材料。另外，若考慮到光透過率則優(yōu)選薄膜。但是，薄膜的操作困難，制造也困難，現(xiàn)狀下透明膜是使用50μm以上的厚度。

另外，作為兼具操作或制造的容易性與薄度的方法，提出了帶有載體的透明膜。該帶有載體的層疊膜是不使用粘合劑將載體膜與透明基材膜層疊而成，在透明基材上形成薄膜晶體管等功能層后，進(jìn)而與前面板貼合，然后將載體膜剝離，由此可兼具制造工序中的操作性、與作為顯示器或觸摸屏中的透明支持基材的薄度。

然而，以前的帶有載體的層疊膜容易產(chǎn)生翹曲(卷曲)，制造工序中的操作性非常差。

專利文獻(xiàn)4中公開了為了抑制翹曲的產(chǎn)生而對(duì)玻璃基板等支持體設(shè)置熱膨脹系數(shù)較其小的第一聚酰亞胺層，于其上設(shè)置熱膨脹系數(shù)大于支持體的第二聚酰亞胺層，但并未公開與并非玻璃基板的包含耐熱性樹脂的支持體有關(guān)的研究。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2008-231327號(hào)公報(bào)

[專利文獻(xiàn)2]日本專利4834758號(hào)公報(bào)

[專利文獻(xiàn)3]日本專利5408848號(hào)公報(bào)

[專利文獻(xiàn)4]日本專利特開2015-182393號(hào)公報(bào)

[非專利文獻(xiàn)]

[非專利文獻(xiàn)1]s.安(s.an)等人，《塑料基板上的使用高效能低溫多晶硅薄膜晶體管的2.8英寸wqvga柔性amoled(2.8-inchwqvgaflexibleamoledusinghighperformancelowtemperaturepolysilicontftonplasticsubstrates)》，信息顯示協(xié)會(huì)2010摘要(sid2010digest)，p706(2010)

[非專利文獻(xiàn)2]大石(oishi)等人，《用于柔性顯示器的透明pi(transparentpiforflexibledisplay)》，國際顯示研習(xí)會(huì)(internationaldisplayworkshops，idw)’11flx2/fmc4-1

[非專利文獻(xiàn)3]e.i.哈斯卡(e.i.haskal)等人，《使用eplar工藝制造的柔性oled顯示器(flexibleoleddisplaysmadewiththeeplarprocess)》，歐洲顯示文獻(xiàn)(proc.eurodisplay)’07，pp.36～39(2007)

[非專利文獻(xiàn)4]李正中(cheng-chunglee)等人，《制造柔性有源矩陣顯示器的新方法(anovelapproachtomakeflexibleactivematrixdisplays)》，信息顯示協(xié)會(huì)10摘要(sid10digest)，pp.810～813(2010)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

[發(fā)明所要解決的問題]

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種聚酰亞胺樹脂層疊體及其制造方法，所述聚酰亞胺樹脂層疊體為在顯示器或觸摸屏中被用作代替玻璃的基板的帶有載體的聚酰亞胺樹脂層疊體，并且即便在使用可應(yīng)用在rtr工藝中的耐熱性樹脂作為載體材料的情況下，也可維持制造工序中的操作性與作為顯示器或觸摸屏中的支持基材的薄度，且盡量抑制翹曲(卷曲)，并且可容易且簡便地將支持基材從載體材料分離。本發(fā)明另提供一種帶有功能層的聚酰亞胺膜。

[解決問題的技術(shù)手段]

因此，本發(fā)明人為了解決這些問題而努力研究，結(jié)果令人驚訝地發(fā)現(xiàn)，通過在既定的包含聚酰亞胺樹脂的基材層的一面?zhèn)葘盈B既定的包含聚酰亞胺樹脂的卷曲抑制層及既定的包含聚酰亞胺樹脂的載體層，可維持操作性或作為基材的薄度，并且改善翹曲(卷曲)，從而完成本發(fā)明。

即，本發(fā)明是一種聚酰亞胺樹脂層疊體，其為包含聚酰亞胺樹脂的卷曲抑制層、包含聚酰亞胺樹脂的載體層及包含聚酰亞胺樹脂的基材層的層疊體，并且在該基材層的一面?zhèn)纫钥蓜冸x的方式粘合有卷曲抑制層及載體層，與該基材層接觸的層的熱膨脹系數(shù)(coefficientofthermalexpansion，cte)小于或大于其他層的cte的任一個(gè)。

本發(fā)明的聚酰亞胺樹脂層疊體優(yōu)選的是在包含聚酰亞胺樹脂的載體層的一面?zhèn)染哂邪埘啺窐渲木砬种茖?，進(jìn)而具有以可剝離的方式粘合于該卷曲抑制層的包含聚酰亞胺樹脂的基材層，卷曲抑制層的熱膨脹系數(shù)(cte)小于或大于支持層及基材層的熱膨脹系數(shù)(cte)的任一個(gè)；或者，在包含聚酰亞胺樹脂的載體層的一面?zhèn)染哂幸钥蓜冸x的方式粘合的包含聚酰亞胺樹脂的基材層，在所述載體層的相反面?zhèn)染哂邪埘啺窐渲木砬种茖樱d體層的熱膨脹系數(shù)(cte)小于或大于基材層及卷曲抑制層的熱膨脹系數(shù)(cte)的任一個(gè)。

本發(fā)明的聚酰亞胺樹脂層疊體優(yōu)選的是基材層與載體層的熱膨脹系數(shù)(cte)差、或基材層與卷曲抑制層的熱膨脹系數(shù)(cte)差為±40ppm/k以下。

本發(fā)明的聚酰亞胺樹脂層疊體可優(yōu)選地用作在載體層的一面?zhèn)雀糁砬种茖蛹盎膶舆M(jìn)而形成功能層而成的聚酰亞胺樹脂層疊體、或在載體層的一面?zhèn)雀糁膶舆M(jìn)而形成功能層而成的帶有功能層的聚酰亞胺樹脂層疊體。

另外，本發(fā)明的聚酰亞胺樹脂層疊體優(yōu)選的是基材層的全光線透過率為80％以上，且厚度為50μm以下，并且優(yōu)選的是形成基材層的聚酰亞胺樹脂的tg為300℃以上。

本發(fā)明的其他實(shí)施方式為一種帶有功能層的聚酰亞胺膜，其是使用所述帶有功能層的聚酰亞胺樹脂層疊體，在卷曲抑制層與基材層的界面、或載體層與基材層的界面處進(jìn)行剝離，將載體層及卷曲抑制層除去而成。

另外，本發(fā)明是一種聚酰亞胺樹脂層疊體的制造方法，其為制造所述聚酰亞胺樹脂層疊體的方法，并且利用澆注法在載體層上形成卷曲抑制層及基材層。

該制造方法優(yōu)選的是使涂敷在載體層上的卷曲抑制層及基材層一體硬化，并且優(yōu)選的是澆注法為利用多層模頭或連續(xù)模頭的涂敷。

[發(fā)明的效果]

根據(jù)本發(fā)明，可維持制造工序中的操作性與作為顯示器或觸摸屏中的支持基材的薄度，并且盡力抑制翹曲(卷曲)，可滿足顯示器或觸摸屏用途中的聚酰亞胺樹脂層疊體的要求特性。

附圖說明

圖1為對(duì)本發(fā)明的聚酰亞胺樹脂層疊體示出帶有功能層的各層構(gòu)成的剖面圖。

圖2為用于對(duì)層疊體形成功能層的裝置的示意圖。

圖3為表示聚酰亞胺層疊體產(chǎn)生翹曲的狀態(tài)的模擬圖。

圖4為對(duì)本發(fā)明的聚酰亞胺樹脂層疊體示出帶有功能層的各層構(gòu)成的。

符號(hào)說明

1：功能層

2：基材層

3：載體層

4：卷曲抑制層

10：層疊體

11：濺鍍裝置

12、13：導(dǎo)輥

14：卷出輥

15：卷取輥

具體實(shí)施方式

首先，本發(fā)明的聚酰亞胺樹脂層疊體具備包含聚酰亞胺樹脂的載體層。載體層在rtr工藝中將薄膜的基材層維持于既定形狀，并且是在隔著基材層而形成ito膜等功能層后，從基材層剝離除去。因此，為了適應(yīng)rtr工藝，要求柔性、及增強(qiáng)基材層而維持強(qiáng)度，但未必需要透明性。因此，載體層的厚度大于薄膜的基材層，優(yōu)選10μm～100μm，更優(yōu)選30μm～75μm。另外，由于要求可應(yīng)用于rtr的高溫工藝的耐熱性，因此玻璃轉(zhuǎn)移溫度(tg)優(yōu)選300℃以上，更優(yōu)選300℃～450℃。

本發(fā)明的聚酰亞胺樹脂層疊體為包含聚酰亞胺樹脂的卷曲抑制層(以下也簡稱為“卷曲抑制層”)、包含聚酰亞胺樹脂的載體層(以下也簡稱為“載體層”)、及包含聚酰亞胺樹脂的基材層(以下也簡稱為“基材層”)的層疊體，并且在基材層的一面?zhèn)纫钥蓜冸x的方式粘合有卷曲抑制層及載體層的層疊體。進(jìn)而，所述聚酰亞胺樹脂層疊體的特征在于：與基材層接觸的層的熱膨脹系數(shù)(cte)小于或大于其他層的cte的任一個(gè)。

此處，所謂與基材層接觸的層，是指卷曲抑制層或載體層的任一個(gè)等兩種態(tài)樣。所謂其他層，在與基材層接觸的層為卷曲抑制層的情況下，是指基材層及載體層，在與基材層接觸的層為載體層的情況下，是指基材層及卷曲抑制層。

此外，所述聚酰亞胺樹脂層疊體的形態(tài)有兩種(形態(tài)一及形態(tài)二)。以下，對(duì)各形態(tài)進(jìn)行具體說明。

[形態(tài)一]

形態(tài)一的聚酰亞胺樹脂層疊體在載體層的一面?zhèn)染哂芯砬种茖?，進(jìn)而具有以可剝離的方式粘合于該卷曲抑制層的基材層，卷曲抑制層的cte小于或大于載體層及基材層的cte的任一個(gè)。

另外，從抑制翹曲的觀點(diǎn)來看，載體層的cte以近似于基材層的cte為宜，兩者的熱膨脹系數(shù)差(也稱為δcte、“cte差”)優(yōu)選±15ppm/k以內(nèi)，更優(yōu)選的是與載體層的cte相比而基材層的cte差+15ppm/k以內(nèi)，即cte差為0ppm/k～+15ppm/k。此外，例如載體層的cte優(yōu)選10ppm/k～85ppm/k。這里所謂cte差為“±15ppm/k以內(nèi)”，是指與載體層的cte相比而基材層的cte差-15ppm/k～+15ppm/k。

在載體層的一面?zhèn)雀糁笫鼍砬种茖佣哂谢膶??；膶映蔀榇娌ＡУ耐该骰模沂窃谄渖闲纬蒳to膜等功能層并完成rtr工藝后，將載體層剝離除去后支持功能層。因此，基材層的全光線透過率優(yōu)選80％以上，更優(yōu)選90％以上。從薄型化、輕量化、柔性化的要求特性來看，基材層的厚度以盡量薄為宜，優(yōu)選50μm以下，更優(yōu)選5μm～25μm。像上文所述那樣，基材層的cte以與載體層的cte近似為宜，優(yōu)選10ppm/k～80ppm/k。另外，由于要求可應(yīng)用于rtr的高溫工藝的耐熱性，因此基材層的玻璃轉(zhuǎn)移溫度(tg)優(yōu)選300℃以上，更優(yōu)選300℃～450℃。由于用作代替玻璃的樹脂基材，因此基材層的彈性模數(shù)例如以2gpa～15gpa為宜。

在載體層的一面?zhèn)?，在載體層與基材層之間具有包含聚酰亞胺樹脂的卷曲抑制層。從適應(yīng)rtr工藝的觀點(diǎn)來看，卷曲抑制層是為了盡力抑制帶有載體的基材層的翹曲而形成在載體層與基材層之間，在載體層及卷曲抑制層上隔著基材層而形成ito膜等功能層并完成rtr工藝后，在將載體層剝離除去時(shí)，與載體層一起被除去。因此，為了在rtr工藝中盡力抑制翹曲(卷曲)而選擇厚度或熱膨脹系數(shù)。因此，卷曲抑制層的厚度優(yōu)選50μm以下，更優(yōu)選5μm～30μm。另外，由于要求可應(yīng)用于rtr的高溫工藝的耐熱性，因此玻璃轉(zhuǎn)移溫度(tg)優(yōu)選300℃以上，更優(yōu)選300℃～450℃。

卷曲抑制層的cte是以與載體層及基材層的cte差相對(duì)較大的方式選定。例如載體層及基材層的cte也可未必相同，但以卷曲抑制層的cte相對(duì)于載體層及基材層兩者的cte而具有一定以上的差的方式選定為宜。

因此，關(guān)于卷曲抑制層的cte，與載體層的cte差及與基材層的cte差優(yōu)選±15ppm/k以上，更優(yōu)選-15ppm/k～-60ppm/k的范圍的cte差。此外，卷曲抑制層的cte優(yōu)選-10ppm/k～20ppm/k。這里，所謂cte差為“±15ppm/k以上”，是指與載體層的cte及基材層的cte相比而卷曲抑制層的cte差大于-15ppm/k，或差大于+15ppm/k。

對(duì)于由載體層及基材層所形成的帶有載體的基材來說，即便在通過使卷曲抑制層存在于載體層及基材層之間，而特別制成相當(dāng)于所謂玻璃基板的第四代(680mm×880mm～730mm×920mm)以后的相對(duì)較大的層疊體的情況下，也可充分獲得翹曲的抑制效果。此外，可通過存在卷曲抑制層而提高基材層的設(shè)計(jì)自由度。進(jìn)而，附著于載體層的異物不易混入到基材層中。另外，載體層的表面狀態(tài)不易影響基材層，因此可選擇價(jià)廉的聚酰亞胺膜等，可提高載體層的設(shè)計(jì)自由度。

[形態(tài)二]

形態(tài)二的聚酰亞胺樹脂層疊體在載體層的一面?zhèn)染哂幸钥蓜冸x的方式粘合的基材層，進(jìn)而在該載體層的相反面?zhèn)染哂芯砬种茖?，該載體層的cte小于或大于該基材層及該卷曲抑制層的cte的任一個(gè)。

即，載體層位于基材層與卷曲抑制層之間。若為該構(gòu)成，則從抑制翹曲的觀點(diǎn)來看優(yōu)選。此外，例如載體層的cte優(yōu)選10ppm/k～70ppm/k。

基材層成為代替玻璃的透明基材，且是在其上形成ito膜等功能層并完成rtr工藝后，將載體層剝離除去后支持功能層的透明基材。因此，基材層的全光線透過率優(yōu)選80％以上，更優(yōu)選90％以上。從薄型化、輕量化、柔性化的要求特性來看，基材層的厚度在不損及加工性的范圍內(nèi)越薄越好，優(yōu)選50μm以下，更優(yōu)選5μm～25μm?；膶拥腸te優(yōu)選1ppm/k～80ppm/k。

另外，由于要求可應(yīng)用于rtr的高溫工藝的耐熱性，因此玻璃轉(zhuǎn)移溫度(tg)優(yōu)選300℃以上，更優(yōu)選300℃～450℃。由于用作代替玻璃的樹脂基材，因此基材層的彈性模數(shù)例如以2gpa～15gpa為宜。

在載體層的相反面?zhèn)染哂邪埘啺窐渲木砬种茖印倪m應(yīng)rtr工藝的觀點(diǎn)來看，卷曲抑制層是為了盡力抑制帶有載體的基材層的翹曲而形成在與基材層相反的一側(cè)，在載體層上隔著基材層形成ito膜等功能層并完成rtr工藝后，在將載體層剝離除去時(shí)，與載體層一起被除去。因此，為了在rtr工藝中盡力抑制翹曲(卷曲)而選擇厚度或熱膨脹系數(shù)。因此，卷曲抑制層的厚度優(yōu)選50μm以下，更優(yōu)選6μm～30μm。另外，由于要求可應(yīng)用于rtr的高溫工藝的耐熱性，因此玻璃轉(zhuǎn)移溫度(tg)優(yōu)選300℃以上，更優(yōu)選300℃～450℃。

卷曲抑制層的cte以與基材層的cte近似為宜，且以消除載體層與基材層的cte差的方式選定為宜。因此，與基材層的cte差為±40ppm/k以內(nèi)，優(yōu)選±15ppm/k以內(nèi)。例如卷曲抑制層的cte優(yōu)選1ppm/k～90ppm/k。

對(duì)于由載體層及基材層所形成的帶有載體的基材來說，即便在通過使卷曲抑制層存在于與基材相反的一側(cè)，而特別制成相當(dāng)于所謂玻璃基板的第四代(680mm×880mm～730mm×920mm)以后的相對(duì)較大的層疊體的情況下，也可充分獲得翹曲的抑制效果。此外，可通過存在卷曲抑制層而提高基材層的設(shè)計(jì)自由度。

以下，對(duì)形態(tài)1及形態(tài)2中共同的內(nèi)容進(jìn)行具體說明。

用作卷曲抑制層的聚酰亞胺樹脂只要滿足所述特性，則并無特別限制，例如可舉出通過具有下述通式(1)所表示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰亞胺所形成。優(yōu)選的是以含有50摩爾％以上的下述通式(1)所表示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰亞胺為宜。

[化1]

這里，所述通式(1)中的x為芳香族基或脂環(huán)式基，且為具有一個(gè)以上的芳香環(huán)或脂環(huán)的四價(jià)有機(jī)基，r為碳數(shù)1～6的取代基。其中，成為用于形成基團(tuán)x的原料的合適具體例例如可舉出：均苯四甲酸二酐(pyromelliticdianhydride，pmda)、萘-2，3，6，7-四甲酸二酐(naphthalenetetracarboxylicdianhydride，ntcda)、3，3’，4，4’-聯(lián)苯四甲酸二酐(biphenyltetracarboxylicdianhydride，bpda)等。另外，r的合適具體例例如可舉出-ch3、-cf3等。

其中，若r為-cf3，則可提高與基材層的界面處的剝離性，可容易地將這些層分離。

此外，關(guān)于除了所述通式(1)所表示的結(jié)構(gòu)單元以外可含有、且合適的是最大可含有小于50摩爾％的結(jié)構(gòu)單元，可舉出使用通常的酸酐及二胺的結(jié)構(gòu)單元。其中，可合適地使用的酸酐為均苯四甲酸二酐(pmda)、萘-2，3，6，7-四甲酸二酐(ntcda)、3，3’，4，4’-聯(lián)苯四甲酸二酐(bpda)、環(huán)己烷四甲酸二酐、亞苯基雙(偏苯三甲酸單酯酐)、4，4’-氧雙鄰苯二甲酸二酐、二苯甲酮-3，4，3’，4’-四甲酸二酐、二苯基砜-3，4，3’，4’-四甲酸二酐、2，3，6，7-萘四甲酸二酐、4，4’-(2，2’-六氟異亞丙基)雙鄰苯二甲酸二酐等。另一方面，二胺有間苯二胺、對(duì)苯二胺、2，4-二氨基甲苯、4，4’-二氨基二苯基醚、1，3-雙(4-氨基苯氧基)苯、4，4’-二氨基二苯基砜、2，2-雙(4-氨基芐氧基苯基)丙烷、雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、4，4’-二氨基苯甲酰苯胺、9，9-雙(4-氨基苯基)芴等。

通常若聚酰亞胺的熱膨脹系數(shù)變小則透明性降低，并且厚度方向的延遲(retardation)(由雙折射之差所致的相位差)變高。因此不適于以下情況：在完成rtr工藝后，將從載體層分離的基材層用作例如顯示裝置的樹脂基材，或用于阻氣膜、觸摸屏基板。相對(duì)于此，本發(fā)明中，通過存在相反側(cè)的卷曲抑制層，而容許使用具有大于載體層的熱膨脹系數(shù)的基材層。

形成基材層的聚酰亞胺可根據(jù)聚酰亞胺樹脂層疊體的用途而適當(dāng)選擇。其中，在用于液晶顯示裝置、有機(jī)el顯示裝置、電子紙、彩色濾光片、觸摸屏等顯示裝置中的具有可撓性的樹脂基材的情況下，可舉出具有下述通式(2)所表示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰亞胺，優(yōu)選含有50摩爾％以上的該通式(2)所表示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰亞胺。此外，關(guān)于除了該通式(2)所表示的結(jié)構(gòu)單元以外可含有的結(jié)構(gòu)單元(合適的是最大可含有小于50摩爾％的結(jié)構(gòu)單元)，只要不損及透明性，則可舉出與通式(1)中說明的結(jié)構(gòu)單元相同的結(jié)構(gòu)單元?？珊线m地使用的酸酐為均苯四甲酸二酐(pmda)、萘-2，3，6，7-四甲酸二酐(ntcda)、3，3’，4，4’-聯(lián)苯四甲酸二酐(bpda)、環(huán)己烷四甲酸二酐、亞苯基雙(偏苯三甲酸單酯酐)、4，4’-氧雙鄰苯二甲酸二酐、二苯甲酮-3，4，3’，4’-四甲酸二酐、二苯基砜-3，4，3’，4’-四甲酸二酐、2，3，6，7-萘四甲酸二酐、4，4’-(2，2’-六氟異亞丙基)雙鄰苯二甲酸二酐等。另一方面，二胺為間苯二胺、對(duì)苯二胺、2，4-二氨基甲苯、4，4’-二氨基二苯基醚、1，3-雙(4-氨基苯氧基)苯、4，4’-二氨基二苯基砜、2，2-雙(4-氨基芐氧基苯基)丙烷、雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、4，4’-二氨基苯甲酰苯胺、9，9-雙(4-氨基苯基)芴等。

[化2]

所述通式(2)中，y為芳香族或脂環(huán)式的四價(jià)有機(jī)基，優(yōu)選下述式(3)所表示的任一基團(tuán)。

[化3]

其中，從獲得440nm～780nm的波長范圍內(nèi)的500nm下的透過率為80％以上，且厚度方向的延遲為200nm以下的聚酰亞胺樹脂作為基材層的觀點(diǎn)來看，更優(yōu)選以下的任一個(gè)。

[化4]

最合適的是下述式(4)所表示的聚酰亞胺樹脂。

[化5]

用作載體層的聚酰亞胺樹脂只要滿足上文所述的特性，則并無特別限制，例如作為通?？色@取的聚酰亞胺樹脂，可使用卡普頓(kapton)(東麗杜邦(toray-dupont)公司制造)、優(yōu)匹萊克斯(upilex)(宇部興產(chǎn)公司制造)、阿比卡(apical)(鐘化(kaneka)公司制造)或具有與這些聚酰亞胺樹脂類似的結(jié)構(gòu)的市售的聚酰亞胺，也可像以下將詳述那樣由二胺與酸二酐合成而獲得。

上文所述的各種聚酰亞胺是將聚酰亞胺前驅(qū)物(以下也稱為“聚酰胺酸”)加以酰亞胺化而獲得，聚酰胺酸的樹脂溶液可通過使用實(shí)質(zhì)上為等摩爾的作為原料的二胺與酸二酐在有機(jī)溶劑中反應(yīng)而獲得。詳細(xì)來說，例如可通過以下方式獲得：在氮?dú)饬飨率苟啡芙庥趎，n-二甲基乙酰胺等有機(jī)極性溶劑中后，添加四甲酸二酐，在室溫下反應(yīng)5小時(shí)左右。這里，從涂敷時(shí)的膜厚均勻化、或所得的聚酰亞胺的機(jī)械強(qiáng)度的觀點(diǎn)來看，聚酰胺酸的重量平均分子量(mw)優(yōu)選1萬～30萬左右。聚酰亞胺樹脂的合適的分子量范圍為與聚酰胺酸相同的分子量范圍。

本發(fā)明的基材層及卷曲抑制層優(yōu)選的是以分別通過所謂澆注法而獲得為宜，所述澆注法是涂布聚酰亞胺或聚酰亞胺前驅(qū)物的樹脂溶液并加以干燥，進(jìn)行加熱處理。即，獲得本發(fā)明的聚酰亞胺樹脂層疊體時(shí)，合適的是在載體層的一面?zhèn)然騼擅娣謩e涂布聚酰亞胺或聚酰亞胺前驅(qū)物的樹脂溶液并加以干燥，進(jìn)行加熱處理，由此可形成基材層及卷曲抑制層。例如優(yōu)選的是為了進(jìn)行干燥等而在90℃～130℃下進(jìn)行5分鐘～30分鐘左右的預(yù)加熱處理后，進(jìn)而為了進(jìn)行酰亞胺化而在130℃～360℃下進(jìn)行10分鐘～240分鐘左右的高溫加熱處理。

像這樣而獲得的聚酰亞胺樹脂層疊體可在基材層與和該基材層接觸的層(載體層或卷曲抑制層)的界面處分離，但為了容易地進(jìn)行這些層的界面處的分離，優(yōu)選的是以基材層是由在聚酰亞胺結(jié)構(gòu)中具有氟原子的含氟聚酰亞胺所形成為宜。通過使用這種含氟聚酰亞胺，可使基材層與和該基材層接觸的層的剝離強(qiáng)度成為合適的是1n/m～200n/m、更合適的是1n/m～100n/m，因此例如具有可用人手容易地剝離的程度的分離性。另外，基材層的分離面直接維持通過澆注法所得的表面粗糙度(通常表面粗糙度ra＝1nm～80nm左右)，因此也不會(huì)對(duì)顯示裝置的可視性等造成不良影響。

本發(fā)明中，對(duì)于將不同材料層疊而成的聚酰亞胺樹脂層疊體，可根據(jù)如下想法通過計(jì)算而求出翹曲變形(翹曲量)，實(shí)現(xiàn)聚酰亞胺樹脂層疊體的最適化。即，以基于引用文獻(xiàn)4的想法的簡便的材料力學(xué)計(jì)算為基礎(chǔ)，通過三維材料力學(xué)計(jì)算而算出自重的影響后，加上翹曲變形(翹曲量)而求出最終的翹曲量。使用有限單元法(finiteelementmethod)作為計(jì)算方法，即，對(duì)于熱變形及自重均衡的狀態(tài)的最終翹曲變形，使用層疊殼單元(shellelement)進(jìn)行離散化，以數(shù)值計(jì)算方式利用計(jì)算機(jī)實(shí)施運(yùn)算(參照?qǐng)D3)。

像上文所述那樣，本發(fā)明的聚酰亞胺樹脂層疊體可合適地用于獲得在基材層上具備功能構(gòu)件的顯示裝置。即，只要在基材層上形成既定的功能層后，在卷曲抑制層與基材層的界面處、或基材層與載體層的界面處進(jìn)行分離即可。這里，載體層發(fā)揮在基材層側(cè)形成顯示部時(shí)的底座的作用，在顯示部的制造過程中確?；膶拥奶幚硇曰虺叽绶€(wěn)定性等，但最終被除去而并未構(gòu)成顯示裝置。同樣地，卷曲抑制層也是與載體層一同被分離，同樣地最終被除去而并未構(gòu)成顯示裝置，即便透明性差也無妨。通過利用這種聚酰亞胺樹脂層疊體，能以良好的精度且可靠地在基材層上形成既定的功能層，并且可獲得實(shí)現(xiàn)了薄型、輕量、柔性化的顯示裝置。

關(guān)于形成在基材層上的功能層，并無特別限制。例如有機(jī)el顯示裝置的情況下，具代表性的是包含tft、電極、發(fā)光層的有機(jī)el元件等相當(dāng)于顯示部。另外，液晶顯示裝置的情況下，所述功能層為tft、驅(qū)動(dòng)電路、視需要為彩色濾光片等。除了這些以外，包括電子紙或微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechanicalsystem，mems)顯示器等那樣的各種顯示裝置，作為以前形成在玻璃基板上的各種功能層且放映出既定的影像(動(dòng)畫或圖像)所必需的零件相當(dāng)于顯示部。其中，例如在形成tft時(shí)通常需要400℃左右的退火工序，但本發(fā)明的聚酰亞胺樹脂層疊體具有也可耐受這種退火工序的耐熱性。

[實(shí)施例]

以下，根據(jù)實(shí)施例及比較例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說明。此外，本發(fā)明不受這些內(nèi)容的限定。

1.各種物性測定及性能試驗(yàn)方法

[剝離強(qiáng)度]

關(guān)于基材層-(卷曲抑制層)-載體層間的剝離強(qiáng)度，將層疊體加工成寬度為1mm～10mm、長度為10mm～25mm的短條狀，使用東洋精機(jī)股份有限公司制造的拉伸試驗(yàn)機(jī)(斯托羅格拉芙(strograph)-m1)將載體層朝180°方向剝離，測定剝離強(qiáng)度。此外，將剝離強(qiáng)度牢固而難以剝離的情況視為“無法剝離”。

[透過率]

將20μm厚的基材層以5cm見方切出，對(duì)其使用日本電色工業(yè)制造的霧度計(jì)(hazemeter)ndh-5000進(jìn)行380nm～780nm的透過率的測定。

[ra]

將基材層、載體層及卷曲抑制層分別單獨(dú)以3cm見方切出，對(duì)其使用布魯克元素分析(brukeraxs)制造的原子力顯微鏡(afm)進(jìn)行ra的測定。

[cte]

關(guān)于基材層、載體層及卷曲抑制層的cte，將各層以3mm×15mm見方切出，對(duì)其使用精工儀器(seikoinstruments)制造的熱機(jī)械分析(thermomechanicalanalysis，tma)裝置，一面施加5.0g的負(fù)重一面以一定的升溫速度(10℃/min)在30℃～260℃的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行拉伸試驗(yàn)，根據(jù)100℃～250℃下的相對(duì)于溫度的聚酰亞胺膜的伸長量而測定cte(×10^-6/k)。

[翹曲]

利用切割刀(cutterknife)從層疊膜切出一邊為100mm的正方形樣本，以23℃、50％的條件調(diào)濕24小時(shí)后載置在定盤上，利用游標(biāo)卡尺(verniercaliper)測定四角的翹起高度，將其平均值作為翹曲(卷曲)。

2.聚酰胺酸(聚酰亞胺前驅(qū)物)溶液的合成

將以下的合成例或?qū)嵤├戎兴玫脑鲜居谝韵隆?/p>

[芳香族二氨基化合物]

·4，4’-二氨基-2，2’-雙(三氟甲基)聯(lián)苯(tfmb)

·2，2’-二甲基-4，4’-二氨基聯(lián)苯(m-tb)

·1，3-雙(4-氨基苯氧基)苯(tpe-r)

·2，2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷(bapp)

·1，4-亞苯基二胺(ppd)

[芳香族四甲酸的酸酐]

·均苯四甲酸酐(pmda)

·2，2-雙(3，4-脫水二羧基苯基)六氟丙烷(6fda)

·2，3，2’，3’-聯(lián)苯四甲酸二酐(bpda)

[溶劑]

·n，n-二甲基乙酰胺(dmac)

合成例1

在氮?dú)饬飨?，?00ml的可分離式燒瓶中一面攪拌一面將tfmb(9.4g、0.03mol)添加到127.5g的溶劑dmac中并進(jìn)行加溫，在50℃下溶解。繼而添加6fda(13.09g、0.03mol)。使二胺與酸酐的摩爾比實(shí)質(zhì)上成為1∶1。然后，在室溫下將溶液繼續(xù)攪拌3小時(shí)而進(jìn)行聚合反應(yīng)，獲得200g的淡黃色的粘稠的聚酰胺酸清漆a。此外，在后述加熱條件下使該聚酰胺酸清漆a硬化，由此獲得聚酰亞胺樹脂a。

合成例2

在氮?dú)饬飨?，?00ml的可分離式燒瓶中一面攪拌一面將10.2g的m-tb與1.6g的tpe-r以90∶10的摩爾比添加到170g的溶劑dmac中并進(jìn)行加溫，在50℃下溶解。繼而以90∶10的摩爾比添加9.2g的pmda與3.1g的bpda。使二胺與酸酐的摩爾比實(shí)質(zhì)上成為1∶1。然后，將溶液在室溫下繼續(xù)攪拌3小時(shí)而進(jìn)行聚合反應(yīng)，獲得200g的淡白色的粘稠的聚酰胺酸清漆b。此外，將該聚酰胺酸清漆b在后述加熱條件下硬化，由此獲得聚酰亞胺樹脂b。

合成例3

在氮?dú)饬飨拢?00ml的可分離式燒瓶中一面攪拌一面將tfmb(12.6g、0.04mol)添加到127.5g的溶劑dmac中并進(jìn)行加溫，在50℃下溶解。繼而以12.5∶87.5的摩爾比添加6fda(2.2g、0.005mol)與pmda(7.7g、0.035mol)。使二胺與酸酐的摩爾比實(shí)質(zhì)上成為1∶1。然后，將溶液在室溫下繼續(xù)攪拌3小時(shí)而進(jìn)行聚合反應(yīng)，獲得150g的淡白色的粘稠的聚酰胺酸清漆c。此外，將該聚酰胺酸清漆c在后述加熱條件下硬化，由此獲得聚酰亞胺樹脂c。

合成例4

在氮?dú)饬飨?，?00ml的可分離式燒瓶中一面攪拌一面將m-tb(14.4g、0.07mol)添加到170g的溶劑dmac中并進(jìn)行加溫，在50℃下溶解。繼而以90：10的摩爾比添加pmda(13.6g、0.06mol)與bpda(2g、0.007mol)。使二胺與酸酐的摩爾比實(shí)質(zhì)上成為1∶1。然后，將溶液在室溫下繼續(xù)攪拌3小時(shí)間而進(jìn)行聚合反應(yīng)，獲得200g的淡白色的粘稠的聚酰胺酸清漆d。此外，將該聚酰胺酸清漆d在后述加熱條件下硬化，由此獲得聚酰亞胺樹脂d。

合成例5

在氮?dú)饬飨?，?00ml的可分離式燒瓶中一面攪拌一面將作為二胺的tpe-r(14.8g、0.05mol)添加到170g的溶劑dmac中并進(jìn)行加溫，在50℃下溶解。繼而添加作為酸酐的bpda(15.2g、0.05mol)。使二胺與酸酐的摩爾比實(shí)質(zhì)上成為1∶1。然后，將溶液在室溫下繼續(xù)攪拌3小時(shí)而進(jìn)行聚合反應(yīng)，獲得200g的淡白色的粘稠的聚酰胺酸清漆e。此外，將該聚酰胺酸清漆e在后述加熱條件硬化，由此獲得聚酰亞胺樹脂e。

合成例6

在氮?dú)饬飨拢?00ml的可分離式燒瓶中一面攪拌一面以m-tb：tpe-r按摩爾比計(jì)成為90∶10的方式添加到170g的溶劑dmac中并進(jìn)行加溫，在50℃下溶解。繼而以pmda∶bpda的摩爾比成為80∶20的方式添加。使二胺與酸酐的摩爾比實(shí)質(zhì)上成為1∶1。然后，將溶液在室溫下繼續(xù)攪拌3小時(shí)而進(jìn)行聚合反應(yīng)，獲得200g的淡白色的粘稠的聚酰胺酸f清漆。此外，將該聚酰胺酸f清漆在后述加熱條件下硬化，由此獲得聚酰亞胺樹脂f。

合成例7

在氮?dú)饬飨拢?00ml的可分離式燒瓶中一面攪拌一面將tfmb(16.93g)添加到溶劑dmac(170g)中并溶解。繼而添加pmda(10.12g)及6fda(2.95g)。然后，將溶液在室溫下繼續(xù)攪拌6小時(shí)而進(jìn)行聚合反應(yīng)，獲得200g的淡黃色的粘稠的聚酰胺酸h清漆。此外，將該聚酰胺酸h清漆在后述加熱條件下硬化，由此獲得聚酰亞胺樹脂h。

合成例8

在氮?dú)饬飨拢?00ml的可分離式燒瓶中一面攪拌一面將bapp(19.45g)添加到溶劑dmac(170g)中并溶解。繼而添加pmda(9.85g)及bpda(0.70g)。然后，將溶液在室溫下繼續(xù)攪拌6小時(shí)而進(jìn)行聚合反應(yīng)，獲得200g的淡黃色的粘稠的聚酰胺酸i清漆。此外，將該聚酰胺酸i清漆在后述加熱條件下硬化，由此獲得聚酰亞胺樹脂i。

合成例9

在氮?dú)饬飨?，?00ml的可分離式燒瓶中一面攪拌一面將4，4’-dape(8.97g)添加到溶劑dmac(170g)中并溶解。繼而添加pmda(8.95g)及bpda(12.08g)。然后，將溶液在室溫下繼續(xù)攪拌6小時(shí)而進(jìn)行聚合反應(yīng)，獲得200g的褐色的粘稠的聚酰胺酸j清漆。此外，將該聚酰胺酸j清漆在后述加熱條件下硬化，由此獲得聚酰亞胺樹脂j。

合成例10

在氮?dú)饬飨拢?00ml的可分離式燒瓶中一面攪拌一面將4，4’-dape(8.14g)及ppd(4.40g)添加到溶劑dmac(170g)中并溶解。繼而添加pmda(17.45g)。然后，將溶液在室溫下繼續(xù)攪拌6小時(shí)而進(jìn)行聚合反應(yīng)，獲得200g的褐色的粘稠的聚酰胺酸k清漆。此外，將該聚酰胺酸k清漆在后述加熱條件下硬化，由此獲得聚酰亞胺樹脂k。

3.利用涂敷的聚酰亞胺(pi)層的形成

使用聚酰亞胺膜(中國寧波今山制造，厚度＝0.75mm，cte＝45ppm/k，以下也稱為“載體膜”)作為載體層。

作為載體層，使用2種聚酰亞胺膜。

1)聚酰亞胺膜1：中國寧波今山制造，厚度＝0.75mm，cte＝45ppm/k，ra＝3nm(以下也稱為載體膜1)

2)聚酰亞胺膜2：中國瑞華泰(rayitek)制造，厚度＝0.75mm，cte＝45ppm/k，ra＝10nm(以下也稱為載體膜2)

實(shí)施例1

一面利用具備卷出部、唇式涂布機(jī)(lipcoater)、連續(xù)干燥爐、連續(xù)爐及卷取部的例如圖2所示的rtr方式的涂敷干燥硬化設(shè)備將載體膜1(寬度520mm×長度500m×厚度75μm)以2m/min的速度卷出，一面使用莫諾泵(monopump)以膜厚成為45μm的方式涂布聚酰胺酸清漆b。使該膜在由多個(gè)爐所構(gòu)成的連續(xù)干燥爐中通過，在90℃下干燥2分鐘，在130℃下干燥1分鐘，進(jìn)而在由多個(gè)爐所構(gòu)成、且溫度從試樣入口側(cè)的爐向出口側(cè)的爐階段性地增高的連續(xù)爐中通過，以合計(jì)25分鐘階段性地從130℃起階段性地加熱到400℃，制作在載體膜上形成有作為卷曲抑制層的聚酰亞胺樹脂b的輥。然后，將該卷安裝在相同的涂敷干燥裝置的卷出部中，在聚酰亞胺樹脂c上涂布100μm的聚酰亞胺酸清漆a，在由多個(gè)爐所構(gòu)成的連續(xù)干燥爐中通過，在90℃下干燥2分鐘，在130℃下干燥1分鐘，進(jìn)而在由多個(gè)爐所構(gòu)成、且溫度從試樣入口側(cè)的爐向出口側(cè)的爐階段性地增高的連續(xù)爐中通過，以合計(jì)20分鐘階段性地從130℃階段性地加熱到400℃，形成作為基材層的厚度10μm的聚酰亞胺樹脂a，獲得卷狀的聚酰亞胺樹脂層疊體(層疊體1)。

關(guān)于層疊體1的各層的厚度，載體層為75μm，卷曲抑制層為4.5μm，基材層為10μm。將層疊體1的層結(jié)構(gòu)示意性地示于圖1中。

然后，對(duì)于所述卷狀的聚酰亞胺樹脂層疊體，一面使用具備卷出部、搬送輥、工藝處理部及卷取部的rtr方式的裝置，以2m/min的速度以基材層朝上的方式在長度方向上卷出，一面經(jīng)由搬送輥而導(dǎo)入到設(shè)置在真空腔室內(nèi)的工藝處理部中，利用濺鍍法通過連續(xù)處理在基材層上將厚度50nm的作為功能層的ito成膜，以帶有功能層的聚酰亞胺基板膜的形式卷取。

進(jìn)而，將帶有功能層的聚酰亞胺基板膜切割成370mm×450mm的片狀，對(duì)經(jīng)制膜的ito在一個(gè)方向(x方向)及另一方向(y方向)的xy方向上進(jìn)行透明電路加工。此時(shí)，y電路與x電路的交點(diǎn)并未形成電路。

然后，在xy電路的交點(diǎn)涂布外涂劑(overcoating)，在250℃下進(jìn)行熱處理而使外涂層硬化，使用銀糊橫跨外涂層進(jìn)行橋接加工而制成xy電路，進(jìn)而在ito成膜側(cè)的整個(gè)面上涂布外涂劑，在270℃下進(jìn)行退火處理，進(jìn)行外涂劑的硬化及ito的結(jié)晶化。

最后，對(duì)蓋板玻璃(coverglass)在ito制膜側(cè)的表面貼附光學(xué)透明膠帶(opticallyclearadhesive，oca)(透明粘合片)，然后將載體膜及卷曲抑制層機(jī)械剝離，制成在基材層上形成有功能層的觸摸屏基板。

比較例1

不形成卷曲抑制層，而與實(shí)施例1同樣地在載體膜上形成作為基材層的聚酰亞胺樹脂a(厚度10μm)，獲得聚酰亞胺樹脂層疊體(層疊體c1)。

該層疊體c1的翹曲(卷曲)大，在觸摸屏的制造工序中在將ito制膜切割成片狀時(shí)因翹曲而無法與遮罩進(jìn)行對(duì)位，無法進(jìn)行xy方向的透明電路加工，從而無法制作觸摸屏。

實(shí)施例2

一面利用具備卷出部、唇式涂布機(jī)、連續(xù)干燥爐、連續(xù)爐及卷取部的例如圖2所示的rtr方式的涂敷干燥硬化設(shè)備將載體膜(寬度520mm×長度500m×厚度75μm)以2m/min的速度卷出，一面使用莫諾泵以膜厚成為100μm的方式涂布聚酰胺酸清漆e。使該膜在由多個(gè)爐所構(gòu)成的連續(xù)干燥爐中通過，在90℃下干燥2分鐘，在130℃下干燥1分鐘，制作在載體膜上形成有作為卷曲抑制層的聚酰亞胺樹脂e的輥。然后，將該卷安裝在相同的涂敷干燥裝置的卷出部中，在聚酰亞胺樹脂e的相反側(cè)涂布100μm的聚酰胺酸清漆a，在由多個(gè)爐所構(gòu)成的連續(xù)干燥爐中通過，在90℃下干燥2分鐘，在130℃下干燥1分鐘，進(jìn)而在由多個(gè)爐所構(gòu)成、且溫度從試樣入口側(cè)的爐向出口側(cè)的爐階段性地增高的連續(xù)爐中通過，以合計(jì)20分鐘階段性地從130℃起階段性地加熱到400℃，形成作為基材層的厚度10μm的聚酰亞胺樹脂a，獲得卷狀的聚酰亞胺樹脂層疊體(層疊體2)。

關(guān)于層疊體2的各層的厚度，載體膜為75μm，卷曲抑制層為13μm，基材層為10μm。將層疊體2的層結(jié)構(gòu)示意性地示于圖4中。

然后，對(duì)于層疊體2，利用與實(shí)施例1相同的方法制成在基材層上形成有功能層的觸摸屏基板。

實(shí)施例3

使用聚酰胺酸清漆c代替聚酰胺酸清漆a作為基材層，且使用聚酰胺酸清漆d代替聚酰胺酸清漆e作為卷曲抑制層，除此以外，利用與實(shí)施例2相同的方法獲得聚酰亞胺樹脂層疊體(層疊體3)。

關(guān)于層疊體3的各層的厚度，載體層為75μm，基材層為12μm，卷曲抑制層為13μm。

在該層疊體3上，利用與實(shí)施例1相同的方法將ito及xy電路制膜，獲得觸摸屏。

實(shí)施例4

使用聚酰亞胺膜2作為載體層，使用聚酰胺酸清漆f代替聚酰胺酸清漆c作為卷曲抑制層，除此以外，利用與實(shí)施例1相同的方法獲得聚酰亞胺樹脂層疊體(層疊體4)。

關(guān)于層疊體4的各層的厚度，載體層為75μm，基材層為10μm，卷曲抑制層為4μm。

實(shí)施例5

使用聚酰胺酸清漆h代替聚酰胺酸清漆a作為基材層，且使用聚酰胺酸清漆e代替聚酰胺酸清漆b作為卷曲抑制層，除此以外，利用與實(shí)施例1相同的方法獲得聚酰亞胺樹脂層疊體(層疊體5)。

關(guān)于層疊體5的各層的厚度，載體層為75μm，基材層為10μm，卷曲抑制層為50μm。

實(shí)施例6

除了基材層及卷曲抑制層的厚度以外，利用與實(shí)施例2相同的方法獲得聚酰亞胺樹脂層疊體(層疊體6)。

關(guān)于層疊體6的各層的厚度，載體層為75μm，基材層為10μm，卷曲抑制層為13μm。

實(shí)施例7

使用聚酰胺酸清漆h代替聚酰胺酸清漆a作為基材層，且使用聚酰胺酸清漆b代替聚酰胺酸清漆e作為卷曲抑制層，除此以外，利用與實(shí)施例2相同的方法獲得聚酰亞胺樹脂層疊體(層疊體7)。

關(guān)于層疊體7的各層的厚度，載體層為75μm，基材層為10μm，卷曲抑制層為15μm。

比較例2

除了使用聚酰胺酸清漆i代替聚酰胺酸清漆b作為卷曲抑制層以外，利用與實(shí)施例1相同的方法獲得聚酰亞胺樹脂層疊體(層疊體c2)。

關(guān)于層疊體c2的各層的厚度，載體層為75μm，基材層為10μm，卷曲抑制層為4μm。

比較例3

除了使用聚酰胺酸清漆j代替聚酰胺酸清漆e作為卷曲抑制層以外，利用與實(shí)施例2相同的方法獲得聚酰亞胺樹脂層疊體(層疊體c3)。

關(guān)于層疊體c3的各層的厚度，載體層為75μm，基材層為10μm，卷曲抑制層為15μm。

比較例4

除了使用聚酰胺酸清漆i代替聚酰胺酸清漆b作為卷曲抑制層以外，利用與實(shí)施例1相同的方法獲得聚酰亞胺樹脂層疊體(層疊體c4)。

關(guān)于層疊體c4的各層的厚度，載體層為75μm，基材層為10μm，卷曲抑制層為13μm。

比較例5

使用聚酰胺酸h代替實(shí)施例4的聚酰胺酸a，且使用聚酰胺酸k代替聚酰胺酸e，除此以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行操作。

使用聚酰胺酸清漆h代替聚酰胺酸清漆a作為基材層，且使用聚酰胺酸清漆k代替聚酰胺酸清漆b作為卷曲抑制層，除此以外，利用與實(shí)施例1相同的方法獲得聚酰亞胺樹脂層疊體(層疊體c5)。

關(guān)于層疊體c5的各層的厚度，載體層為75μm，基材層為10μm，卷曲抑制層為13μm。

將以上的實(shí)施例及比較例中所得的聚酰亞胺樹脂層疊體的物性示于表1中。