專利名稱：微波等離子體炬的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于化學(xué)測量技術(shù)領(lǐng)域，是一種微波等離子體獲得裝置，它可以用作發(fā)射光譜的光源或其它儀器分析(如原子熒光和原子光譜法)所需的原子或離子源，也可用于有害化合物的分解、處理。
目前的微波等離子體獲得裝置主要是用各種諧振腔或surfa－tron獲得，但這些獲得微波等離子體的器件中，有的(如電容耦合等離子體)存在較嚴(yán)重的電極污染問題，有的(如同軸腔TM010腔和Surfatron微波誘導(dǎo)等離子體)是在放電管內(nèi)進行，樣品的承受能力低，有的(如同軸腔)只能以氬氣作工作氣體或需在減壓下(如以氦作工作氣體時)才能維持。
本實用新型的目的是提供一種微波等離子體獲得裝置，該裝置可以多種工作氣體工作，且在常壓下即可形成。又因是開放型等離子體放電，等離子體本身不直接與炬管接觸，不存在電極污染問題。同時由于等離子體存在中央通道，因而對樣品的承受能力也大大增強。
本實用新型結(jié)構(gòu)主要由炬管部分，微波能耦合部分，調(diào)諧及輔助部分組成，炬管部分包括外管1、中管2、內(nèi)管3、墊片4；微波能耦合部分包括耦合接頭5，絕緣體6，耦合導(dǎo)體7，耦合環(huán)8、耦合環(huán)固定螺絲9、接頭和耦合環(huán)調(diào)節(jié)塊10；調(diào)諧及輔助部分包括調(diào)節(jié)活塞11，調(diào)節(jié)旋鈕12，支持架13，緊固螺母14。其中，外管3內(nèi)徑為20－25mm，外管和中管徑比在4－5之間，內(nèi)管半徑為1－2mm。
本實用新型的外管側(cè)壁帶孔，耦合導(dǎo)體7從孔中伸入，與耦合環(huán)8固定在一起，耦合環(huán)8和中管2緊密接觸，擰松耦合環(huán)固定螺絲9，上下調(diào)節(jié)耦合環(huán)調(diào)節(jié)塊10，使耦合導(dǎo)體7和炬管上端口的距離達到一合適位置，使等離子體易于點燃。
本實用新型調(diào)諧時，左右擰動調(diào)諧旋鈕12，調(diào)諧活塞11，即在腔內(nèi)上下移動，以使由于微波反射形成的駐波腹準(zhǔn)確定位于等離子體部分。
本實用新型全部結(jié)構(gòu)為可拆卸式，以利于及時清洗，同時安裝方便。
本實用新型由于樣品從一中央通道進入等離子體，使有相對大量的水分及其它物質(zhì)進入時也不易誶滅，從而很好地解決了一般微波等離子常遇到的樣品承受能力低的問題，同時還具有可用多種氣體在常壓下工作，激發(fā)能力強，線性范圍寬，檢測元素范圍廣，維持費用低，加工、操作方便等特點。
附圖
是本實用新型的示意圖。
本實用新型工作過程如下工作氣體(氬氣、氦氣或氮氣)直接連接到和支持架13連在一起的中央通氣口，進入中管2和內(nèi)管3之間，通過帶有對稱小孔的支持環(huán)4到達管口、載氣(氬或氦氣)攜帶樣品溶膠從下部進入內(nèi)管3，用內(nèi)管和中管瞬間短路形成的火花點燃等離子體，樣品即可在等離子體中原子化、激發(fā)、甚至電離。
本實用新型具有廣泛的通用性，除可用作發(fā)射光譜的光源外，還可用于原子熒光光譜、色譜、質(zhì)譜等分析測試領(lǐng)域。
權(quán)利要求1.一種微波等離子體炬，它由三根同軸金屬管，微波能耦合部分，調(diào)諧部分組成，其特征在于是一種三管同軸型一端開放的微波等離子體炬管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波等離子體炬，其特征是微波能以電容耦合方式進入炬管，耦合環(huán)與炬管上端口間距離是可調(diào)的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波等離子體炬，其特征是等離子體在內(nèi)管3和中管2管口之間和向上的空間形成，為類火焰形放電，與炬管并不直接接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波等離子體炬，其特征是炬管內(nèi)腔體長度可由調(diào)諧部分進行調(diào)諧，調(diào)諧可在小于1／4至大于3／4倍微波波長的長度范圍內(nèi)進行。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波等離子體炬，其特征是可在常壓下用氬氣，氦氣或氮氣維持，形成的等離子體有一條明顯的中央通道。
專利摘要微波等離子體炬屬于化學(xué)和測量技術(shù)領(lǐng)域，是一種微波等離子體獲得裝置，可用來作為原子發(fā)射和熒光光譜的光源和原子光譜的離子源，主要結(jié)構(gòu)由3個同心金屬管構(gòu)成，微波能以電容耦合方式進入炬管。本實用新型用于原子發(fā)射光譜分析時，具有樣品承受能力強，激發(fā)能力高，檢測范圍廣，線性范圍寬，加工簡單，操作方便，維持費用低等特點。
文檔編號H05H1/30GK2186474SQ94205428
公開日1994年12月28日 申請日期1994年3月30日 優(yōu)先權(quán)日1994年3月30日
發(fā)明者金欽漢, 張寒琦, 楊文軍 申請人:吉林大學(xué)