專利名稱：覆膜方法及實(shí)施該方法的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將薄膜覆于例如印刷電路板的基板表面上的方法和設(shè)備。
在制造用于諸如計算機(jī)的電子設(shè)備的印刷電路板的工藝中，由透光支承膜(基膜，一般由由聚酯制成的合成樹脂膜來代表)，感光樹脂層和面膜組成的層疊膜在面膜分離或去掉后覆加在印刷電路板的導(dǎo)電表面層上。然后，將電路圖膜覆在該層疊膜上，之后，將感光樹脂膜通過電路圖膜和透光支承膜暴露一段預(yù)定時間，隨后，去除透光膜，在這之后，將經(jīng)暴露的感光樹脂層沖洗，以制造蝕刻掩膜圖案，蝕刻掩膜圖案隨后被用來通過蝕刻的方式去掉感光樹脂層的非必要部份，借此產(chǎn)生有預(yù)定電路圖案的印刷電路板。
用于覆加層疊膜的設(shè)備如此制成，即纏繞在供膜輥上的連續(xù)層疊膜首先被引至由輸送裝置輸送的基板的引端，感光樹脂層位于基極一側(cè)，然后由朝向和背離基板可動的結(jié)合件臨時或暫時覆加在基板的引端，在覆加之后，在壓力作用下，在基板被輸送的同時由層壓輥覆加在基板上。薄膜在基板上的壓力覆加完成后，要使覆加的膜的長度基本等于基板的長度。為此，要用布于結(jié)合件附近的切膜裝置將所要覆加的薄膜切成或割成若干具有預(yù)定覆加長度的小塊。面膜的分離或去除或者在薄膜結(jié)合裝置的前面進(jìn)行，或者在其的后面進(jìn)行。
薄膜結(jié)合裝置，如例如由公開號為63-117487的日本專利所公開的那樣，包括在其前表面上有多個吸孔(吸槽)用于以吸力將薄膜保持在前表面上的真空主吸板和布于真空主吸板的引端并有圓形或三角形截面的薄膜結(jié)合件。薄膜結(jié)合裝置，作為一個整體，可朝向和背離基板移動，以實(shí)現(xiàn)覆膜和結(jié)合作業(yè)。
薄膜結(jié)合裝置可伴有一持膜件，而持膜件有一設(shè)置有吸孔(吸槽)的前端并布于薄膜結(jié)合裝置的基板側(cè)附近，如例如在公開號為7—35101的日本專利中所公開的那樣。持膜件在以吸力保持薄膜引邊的同時從薄膜通過平面后退，以便以吸力使薄膜引邊包在薄膜結(jié)合件的圓形或三角形的引端周圍并吸附在其上。
當(dāng)欲切割薄膜時，持膜件與結(jié)合件的運(yùn)動同步地稍移向基板，以便借助吸力持固位于一預(yù)定切割位置附近的薄膜的一部份，借此，在切割薄膜的同時對薄膜的尾端施以張力。
薄膜結(jié)合裝置，當(dāng)完成供膜及結(jié)合作業(yè)時，在薄膜保持在結(jié)合件的前表面上的同時移向基板。當(dāng)供膜及結(jié)合作業(yè)完成時，薄膜結(jié)合裝置不再通過吸力保持住薄膜，然后沿著背離基板的方向移動。在停止吸附薄膜的情況下，薄膜被置于與薄膜結(jié)合裝置的前表面隔開的位置。
臨時結(jié)合之后，在輸送基板的同時，薄膜借助層壓輥在壓力下覆于基板。在此期間，薄膜不與薄膜結(jié)合裝置的前表面接觸。
當(dāng)欲將薄膜覆于順序供給的每一塊基板上時，供膜及結(jié)合作業(yè)以及隨后的壓力結(jié)合作業(yè)頻繁地重復(fù)進(jìn)行。
薄膜結(jié)合件的引端設(shè)有加熱器，由該加熱器將薄膜結(jié)合件的引端加熱，以確保薄膜相對基板引端的定位。
如在上述公開號為63-117478的日本專利中所公開的那樣，面膜的分離或去除一般在覆膜設(shè)備的結(jié)合件前面進(jìn)行。
在前述的公開號為7-35101日本專利中公開的薄膜覆加設(shè)備中，切膜裝置包括由靜止切刀和旋轉(zhuǎn)切刀組成的旋轉(zhuǎn)刀具。靜止切刀可沿垂直于薄膜通過平面的方向前后移動。持薄件可與靜止切刀一起前、后移動并可在薄膜運(yùn)動方向相對于靜止切刀移動。
為完成此運(yùn)動，設(shè)有一個包括連接桿的機(jī)構(gòu)，該些連接桿由靜止切刀支承件保持與薄膜通過平面平行地向上延伸。持模件與該些連接桿可滑動地偶合在一起，以便沿后者運(yùn)動。
靜止切刀支承件經(jīng)支承軌安裝在設(shè)備本體上并可由氣動缸驅(qū)動沿垂直于薄膜通過平面的方向前、后運(yùn)動。
構(gòu)成旋轉(zhuǎn)刀具一部份的旋轉(zhuǎn)切刀必須與靜止切刀偏移開，以允許薄膜引邊通過旋轉(zhuǎn)切刀和靜止切刀之間用于安置供膜輥的間隙。為此，在前述的公開號為7-35101的日本專利中公開的薄膜覆加設(shè)備還包括滑動件和鎖鈕，其中，滑動件在其上支承著旋轉(zhuǎn)切刀并可滑動地安裝在設(shè)備的本體上，而鎖鈕用于將滑動件鎖定在旋轉(zhuǎn)刀具的切削位置和遠(yuǎn)離切削位置的一輔助位置。
在前述的公開號為7-35101的日本專利中公開的薄膜覆加設(shè)備中，由于持膜件要經(jīng)靜止切刀支承件和連接桿在垂直于薄膜通過平面的方向上予以驅(qū)動，所述連接桿受到彎曲力即剪切力的作用，該力趨于使連接桿彎曲或變形到如此的程度，以致造成持膜件失靈，有時還會使連接桿斷裂。
另外的問題是，當(dāng)旋轉(zhuǎn)刀具的旋轉(zhuǎn)切刀首先在一個方向上從切削位置移向遠(yuǎn)離薄膜通過平面的輔助位置，然后在相反的方向上從輔助位置移向切削位置以便更換薄膜時，鎖鈕必須予以拉出以便將旋轉(zhuǎn)切刀從設(shè)備本體上脫開。此種手工拉動作業(yè)要求采取一種不容易的工作姿勢，其中操作者在從設(shè)備的外側(cè)伸出兩支手的同時以其手指抓住鎖鈕，因此該設(shè)備極不易操作。
結(jié)合件必須準(zhǔn)確地停在吸膜位置，薄膜結(jié)合位置和切膜位置。為此目的，可能要考慮結(jié)合件由伺服馬達(dá)來驅(qū)動，伺服馬達(dá)的轉(zhuǎn)數(shù)通過脈沖來測定以便依據(jù)檢測值實(shí)施對伺服馬達(dá)的控制。然而，由于要覆以薄膜的基板有各種不同的厚度，此種布置結(jié)構(gòu)會遇到困難，即每當(dāng)要處理不同厚度的基板時控制器中予定的脈沖數(shù)必須予以改變。
另外，既使利用改善了控制精度的控制器可以使結(jié)合件停在準(zhǔn)確的結(jié)合位置，結(jié)合失敗仍不可避免，因?yàn)樗欧R達(dá)僅能產(chǎn)生不足以產(chǎn)生必要的壓力的扭矩。
在要將兩片薄膜覆加在基板的相對表面的情況下，二個結(jié)合件須彼此同步地操動以從上下側(cè)夾住基板。在此種情況下，假如載于基板輸送輥上的基板從一基準(zhǔn)位置向上偏移，則下結(jié)合件僅能通過布于其間的薄膜在基板上施以不足的壓力，因此，會招致結(jié)合失敗。
鑒于前述的現(xiàn)有技術(shù)的問題，本發(fā)明的目的是提供一種覆膜方法和一種實(shí)施該方法的設(shè)備，其可以保證持膜件的可靠運(yùn)作而不會招致用于平行于薄膜引導(dǎo)持膜件的零件的斷裂或失靈。
本發(fā)明的另一目的是提供一種覆膜方法，其可以可靠地將薄膜暫時覆于即暫時結(jié)合在基板上。
本發(fā)明的另一目的是提供一種覆膜設(shè)備，其可便于容易地使旋轉(zhuǎn)刀具的旋轉(zhuǎn)切刀脫開，以便旋轉(zhuǎn)切刀隨后向著和背離靜止切刀移動。
本發(fā)明通過下列的這種覆膜方法已解決了上述的問題，其中，由彼此層疊的一透光支承膜，一感光樹脂層和一面膜組成的一連續(xù)薄膜從一薄膜供輥上拉出，在將面膜分離以后，該連續(xù)薄膜被引導(dǎo)至由一輸送裝置輸送的一基板的引端附近，該感光樹脂層位于一基板側(cè)，同時借助吸力將薄膜保持在可朝向和背離基板而動的一個結(jié)合件上及保持在在其基板側(cè)靠近該結(jié)合件布置的一個持膜件上，隨后，使持膜件后退，以便使薄膜的引邊包在結(jié)合件引端的周圍，然后由該結(jié)合件將薄膜的引邊結(jié)合在基板的引端，之后，在輸送基板的同時利用層壓輥將薄膜壓力結(jié)合在基板上，其中，當(dāng)該壓力結(jié)合開始時，結(jié)合件沿薄膜通過平面與基板隔開，其中，在薄膜被切割前，在結(jié)合件與薄膜運(yùn)動同步地移向基板時，在預(yù)定切割位置的上游一部位處借助吸力將薄膜保持在結(jié)合件上，然后，在已處于薄膜通過平面的一個前進(jìn)位置處的持膜件與結(jié)合件的運(yùn)動同步地移動時，在緊挨預(yù)定切割位置上游的一個部位處由吸力將薄膜保持在持膜件上，隨后，在結(jié)合件和持膜件同步地移向基板時，用一旋轉(zhuǎn)刀具切割薄膜，該旋轉(zhuǎn)刀具由一旋轉(zhuǎn)切刀和一靜止切刀組成，其中，該旋轉(zhuǎn)切刀可繞平行于薄膜通過平面延伸的一旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，而該靜止切刀可向著或背離該旋轉(zhuǎn)切刀移動；在持膜件與旋轉(zhuǎn)刀具的靜止切刀接觸之前，結(jié)合件和持膜件停止不動。
另外在本發(fā)明的覆膜方法中，持膜件沿著薄膜通過平面可活動地予以支承著并沿著背離基板輸送平面的方向被驅(qū)動著，當(dāng)恰在切割薄膜前結(jié)合件與薄膜的運(yùn)動同步地移向基板時，持膜件與結(jié)合件接觸并在之后由后者驅(qū)使與結(jié)合件的運(yùn)動同步地移向基板。
另外，在本發(fā)明的覆膜方法中，供膜輥、結(jié)合件、持膜件和層壓輥布于基板輸送平面的每一上、下側(cè)以便將該二片薄膜覆于基板的相對的二個表面上，當(dāng)這些薄膜結(jié)合于基板上時，在一側(cè)的結(jié)合件停止不動，同時一片薄膜由同一結(jié)合件的引端保持與基板的一個表面接觸，在保持此一狀態(tài)的同時，另一片薄膜由在相對側(cè)的結(jié)合件的引端迫壓在其板的另一表面上，因此，在基板被夾在二個結(jié)合件的引端之間的情況下，二片薄膜被迫靠在基板的相對的二個表面上。
另外，在本發(fā)明的覆膜方法中，基板由水平放置的輸送裝置輸送，在該一側(cè)上的結(jié)合件在被保持經(jīng)一片膜與在輸送裝置上的基板下表面接觸的同時保持備用，另使在該另一側(cè)的結(jié)合件經(jīng)另一片膜與在輸送裝置上的基板的上表面接觸。
另外，在本發(fā)明的覆膜方法中，當(dāng)薄膜由結(jié)合件的引端結(jié)合于基板的引端時，結(jié)合件以這樣的方式完成其行程，從遠(yuǎn)離基板輸送平面的原始位置移向基板輸送平面，即從原始位置移至靠近基板輸送平面的一個位置，結(jié)合件由一馬達(dá)驅(qū)動，同時，結(jié)合件的位置依據(jù)檢測的馬達(dá)的轉(zhuǎn)數(shù)來控制，以及從該靠近基板輸送平面的位置至結(jié)合件經(jīng)薄膜與基板接觸的位置，結(jié)合件由一缸裝置驅(qū)動，并且結(jié)合件以這樣的方式完成其返回至原始位置的行程，即從該與基板接觸的位置至靠近原始位置的一個位置，結(jié)合件由馬達(dá)驅(qū)動，同時結(jié)合件的位置依據(jù)檢測的馬達(dá)的轉(zhuǎn)數(shù)來控制，并且從該靠近原始位置的位置起，結(jié)合件由缸裝置驅(qū)動。
另外，在本發(fā)明的覆膜方法中，在從該與基板接觸的位置至該靠近原始位置的位置的該返回行程中，結(jié)合件由馬達(dá)和缸裝置聯(lián)合驅(qū)動。
另外，在本發(fā)明的覆膜方法中，在該接近基板輸送平面的行程中，結(jié)合件停在靠近基板輸送平面的該位置，并且在基板被輸送至一結(jié)合位置后，結(jié)合件由該缸裝置驅(qū)動，以便將薄膜的引邊結(jié)合在基板上。
本發(fā)明通過下列這種覆膜設(shè)備解決了上述的問題，其中，由彼此層疊的透光支承膜，感光樹脂層和面膜組成的一連續(xù)膜由一供膜輥上拉出來，在面膜被分離后，連續(xù)膜被引導(dǎo)至由一輸送裝置輸送的基板的引端附近，感光樹脂層位于一基板側(cè)，同時薄膜由吸力保持在可朝向和背面基板移動的結(jié)合件上以及保持在靠近在其一基板側(cè)的結(jié)合件設(shè)置的持膜件上，之后，持膜件退回，以使薄膜的引邊包圍在結(jié)合件的引端周圍，然后，薄膜的引邊由結(jié)合件結(jié)合在基板的引端上，之后，在輸送基板的同時由層壓輥將薄膜壓力結(jié)合在基板上，其中，當(dāng)該壓力結(jié)合開始時，結(jié)合件沿薄膜通過平面與基板隔開，然后，薄膜在靠近持膜件的一位置處由一旋轉(zhuǎn)刀具切斷，該旋轉(zhuǎn)刀具由一繞平行于薄膜通過平面延伸的旋轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)切刀和一個可朝向及背離旋轉(zhuǎn)切刀移動的靜止切刀所組成，其中當(dāng)切割薄膜時，持膜件與結(jié)合件一起向薄膜通過平面移動以便以吸力將薄膜保持在其上，該設(shè)備還包括一對支承基，該對支承基在薄膜的寬度方向上于該靜止切刀相對端外側(cè)的位置處連于該設(shè)備的本體并可在平行于供膜方向的方向上移動；一對縱向?qū)к?，該對縱向?qū)к壏謩e布于該支承基上并在垂直于該薄膜通過平面的方向上延伸；分別由該縱向?qū)к壍囊粚梢苿訅K支承的一對靜止切刀支承件和一對持膜件支承機(jī)構(gòu)，其中，該靜止切刀支承件支承著該靜止切刀的該相對端，而該持膜件支承機(jī)構(gòu)支承著該持膜件的相對端，其中，該持膜件支承機(jī)構(gòu)包括一對彈簧，該對彈簧支承著持膜件同時允許持膜件沿該薄膜通過平面在一預(yù)定的距離范圍內(nèi)移動并在背離基板輸送平面的方向驅(qū)使著持膜件，并且其中，一對壓力機(jī)構(gòu)設(shè)于該持膜件和該持膜件支承機(jī)構(gòu)之間，用于該結(jié)合件在一固定空間距離之外靠近該持膜件時迫使該持膜件克服該彈簧的彈力并當(dāng)該持膜件與薄膜隔開時允許該結(jié)合件在該持膜件之外移向基板。
另外，在本發(fā)明的覆膜設(shè)備中，該壓力機(jī)構(gòu)每一個都包括一個壓力件，該壓力件布置得從位于持膜件靠近其引端的一側(cè)的一位置偏向基板的位置處并且可與該持膜件嚙合，以便當(dāng)該結(jié)合件在一固定距離之外移向基板時迫動持膜件。
另外，在本發(fā)明的覆膜設(shè)備中，該壓力件包括一個輥，該輥有一個平行于薄膜寬度方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸，每一個該壓力機(jī)構(gòu)由該輥和一個軌組成，該軌在垂直于該薄膜通過平面的方向延伸并且布于該持膜件支承機(jī)構(gòu)中相應(yīng)的一個中與該輥相嚙合的一部位處，以便允許該輥沿該軌移動同時與該軌接觸，該軌伸過一有限的長度，在該長度范圍內(nèi)該持膜件和該結(jié)合件在供膜方向上彼此干涉。
另外，在本發(fā)明覆膜設(shè)備中，該設(shè)備還包括一個旋轉(zhuǎn)切刀支承裝置，用于沿該縱向?qū)к壙苫顒拥刂С性撔D(zhuǎn)切刀相對端及使該旋轉(zhuǎn)切刀固定在一切削位置，和一后退位置，在該切削位置時該旋轉(zhuǎn)切刀與置于該薄膜通過平面上的該靜止切刀配合以切割薄膜，該后退位置與該薄膜通過平面隔開。
另外，在本發(fā)明的覆膜設(shè)備中，該旋轉(zhuǎn)切刀支承裝置包括一個鎖銷和一個彈簧，該鎖銷在該切削位置和該后退位置可與在每一該縱向?qū)к壍墓潭ㄜ墏?cè)處形成的凹部嚙合，該彈簧將該鎖銷驅(qū)向銷的突出方向。
另外，在本發(fā)明的覆膜設(shè)備中，該鎖銷在薄膜寬度方向上在內(nèi)側(cè)布于該固定軌上，可向著和背離薄膜的寬度方向移動并在其近側(cè)端有鎖鈕，該旋轉(zhuǎn)切刀支承裝置還包括一個保持板，該保持板在薄膜的寬度方向上布于該鎖鈕之內(nèi)并與其相對，使得當(dāng)該鎖鈕以第二和第三手指鉤住時第一手指可鉤在該保持板上。
另外，在本發(fā)明的覆膜設(shè)備中，該鎖銷，該鎖鈕和該保持板在薄膜的寬度方向上成對地設(shè)于左、右側(cè)，其中，該左、右保持板在薄膜的寬度方向上由一吹氣管連在一起，該吹氣管平行于該旋轉(zhuǎn)切刀，布置得靠近該薄膜通過平面，用來向薄膜吹壓縮空氣。
根據(jù)本發(fā)明的覆膜方法，當(dāng)薄膜結(jié)合在基板上時，持膜件處于不與結(jié)合件干涉的位置，而且其與結(jié)合件的運(yùn)動同步地移動，當(dāng)薄膜切開時，由吸力將薄膜保持在持膜件和結(jié)合件上。
由于薄膜在切割時被保持在靠近旋轉(zhuǎn)刀具的位置，所述薄膜的切割可以快速地精確地完成，不會造成薄膜的松馳，結(jié)合件可以制造成一個緊湊且重量輕的部件。
當(dāng)切割薄膜時，結(jié)合件迫動持膜件以便與結(jié)合件同步地移動后者，因此，持膜件可被驅(qū)動而無需獨(dú)立的驅(qū)動裝置。
根據(jù)本發(fā)明的覆膜設(shè)備，靜止切刀和持膜件分別被支承在靜止切刀支承件和持膜件支承機(jī)構(gòu)上，而它們又由導(dǎo)軌支承著，以便沿垂直于薄膜通過平面的方向與它們一起運(yùn)動。持膜件是如此被支承著的，即它可以在平行于供膜方向的方向上相對于靜止切刀支承件運(yùn)動并由彈簧沿背離靜止切刀支承件的方向驅(qū)使著。在此結(jié)構(gòu)布置的情況下，在垂直于薄膜平面方向上作用的驅(qū)動力直接傳給靜止切刀支承件和持膜件而無需插入一個動力傳遞系統(tǒng)，否則其會由于作用其上的彎曲力或剪切力而彎曲或斷裂。


圖1是示意剖視圖，表示本發(fā)明的覆膜設(shè)備的一個實(shí)施例；圖2是同一實(shí)施例中結(jié)合件及其驅(qū)動機(jī)構(gòu)的局部剖開的透視圖，圖3是示意剖視圖，表示結(jié)合件移動路線；圖4是前視圖，表示在同一實(shí)施例中用于包薄膜引邊的持膜件和結(jié)合件之間的關(guān)系；圖5是沿圖4的V-V線所取的剖視圖；圖6是沿圖4的VI-VI線所取的放大剖視圖；圖7是一分解透視圖，表示同一實(shí)施例中的浮動機(jī)構(gòu)；圖8是前視圖，表示同一實(shí)施例中該設(shè)備的旋轉(zhuǎn)刀具的旋轉(zhuǎn)切刀和其移動機(jī)構(gòu)；圖9是沿圖8的IX-IX線所取的剖視圖；圖10是示意剖視圖，表示同一實(shí)施例中該設(shè)備的第一階段運(yùn)作情況；圖11是示意剖視圖，表示同一實(shí)施例中該設(shè)備的一系列順序中間階段運(yùn)作的情況；圖12是示意剖視圖，表示同一實(shí)施例中該設(shè)備的最后階段運(yùn)作的情況；圖13是流程圖，表示當(dāng)薄膜被切開或切斷時結(jié)合件和持膜件已完成的操作的順序。
現(xiàn)參照附圖詳細(xì)介紹本發(fā)明的較佳實(shí)施例。
現(xiàn)參看圖1，現(xiàn)介紹本發(fā)明的此實(shí)施例的覆膜設(shè)備10的總體結(jié)構(gòu)。
由覆膜設(shè)備10來切割的和施加的各薄膜12每一個都包括一透光支承膜，一感光樹脂層和一面膜或保護(hù)膜，它們彼此層疊成一種三層結(jié)構(gòu)，可以借連續(xù)繞在供輥14上的層疊膜的形式而得以利用。
從相應(yīng)的供輥14繞開的即拉下的每一薄膜12由一薄膜分離件16分成面膜和由透光支承膜和感光樹脂層組成的二層層疊膜，由于面膜分離的結(jié)果，待結(jié)合的該二層層疊膜的表面是未覆蓋的或暴露的。該二層層疊膜此后由與起始膜即12相同的標(biāo)號表示，經(jīng)一張緊輥18被供給真空主吸板22，而該真空主吸板22構(gòu)成結(jié)合件20的一部分。由層疊膜12分離出的面膜被纏繞在卷輥24上。
上述的供輥14，薄膜分離件16，張緊輥18，結(jié)合件20和卷輥24作為一個零件組就基板輸送平面I-I來說與相對的零件組成對稱的關(guān)系設(shè)置在水平的基板輸送平面I-I的每一側(cè)，使得二個層疊的薄膜12、12可同步地連至基板26的上、下表面上。
如圖2所示，每一真空主吸板22都有設(shè)置有一些吸槽22A和一些吸孔22B的前表面，用以借吸力來將相應(yīng)的一個層疊膜12保持在該前表面上。真空主吸板22、22由一對平行隔開豎向?qū)к?8、28可滑動地支承著并可借助所設(shè)置的用來驅(qū)動真空主吸板22、22的一對氣壓缸30、30和一伺服馬達(dá)35的作用在朝向和背離覆膜位置，即基板輸送平面I-I，的方向沿著導(dǎo)軌28彼此同步地豎向移動。
每一真空主吸板22在其面向基板輸送平面I-I的一端有一個結(jié)合件體21，結(jié)合件體21有從真空主吸板22的前表面緊鄰延伸的彎曲的或圓形的前表面并設(shè)置有用于將薄膜12保持在該結(jié)合件體21的圓形前表面上的吸槽21B。結(jié)合件體21有一個從薄膜12的供給方向看是引端部21A的端部并包括在該引端部21A附近嵌在其內(nèi)的加熱器(未示出)，用于加熱該引端部21A。
導(dǎo)軌28、28連在為真空主吸板22設(shè)置并牢固地固定在設(shè)備10的主體的安裝架(未示出)上的支承板32上。
氣壓缸30、30在每一薄膜12的寬度方向隔開并且每一個都有經(jīng)一上臂30A連至上真空主吸板22的缸側(cè)端和經(jīng)一下臂30B連至下真空主吸板22的桿側(cè)端，使得上、下臂30A、30B可通過齒條34A和與齒條34C嚙合的小齒輪34B彼此朝向或背離運(yùn)動以便彼此同步地驅(qū)動上、下真空主吸板22、22。小齒輪34B由為真空主吸板22、22設(shè)置的支承板32可旋轉(zhuǎn)地支承著。
左和右小齒輪34B、34B同心地固定在于左和右上臂30A，30A之間水平延伸的同步連軸34D上。同步連軸34D有一端(圖2的右手端)連至伺服馬達(dá)35，因此，左、右小齒輪34B、34B可由伺服馬達(dá)35彼此同步地驅(qū)動。伺服馬達(dá)35經(jīng)一伺服馬達(dá)固定件35A連至支承板32上。
結(jié)合件20由氣壓缸30和伺服馬達(dá)35以下述方式驅(qū)動。
如圖3所示，結(jié)合件20適于從距基權(quán)輸送平面I-I最遠(yuǎn)處的原始位置22A連續(xù)經(jīng)過手切位置22B，自動切位置22C，輔助結(jié)合位置22D到壓力結(jié)合的結(jié)合位置22E。從原始位置22A到輔助結(jié)合位置22D，結(jié)合件20是由伺服馬達(dá)35驅(qū)動的，每一停止位置通過計數(shù)隨著伺服馬達(dá)35的旋轉(zhuǎn)而由旋轉(zhuǎn)編碼器產(chǎn)生的脈沖數(shù)來確定。
輔助結(jié)合位置22D從基板輸送平面I-I向上隔開20毫米的距離。從該輔助位置22D開始，結(jié)合件20由氣壓缸20向著壓力結(jié)合的結(jié)合位置22E驅(qū)動。在位置22E處，結(jié)合件20由氣壓通過置于其與基板26之間的薄膜12被迫壓向基板26。
當(dāng)結(jié)合件20從基板26移開時，氣壓缸30和伺服馬達(dá)35將結(jié)合件20驅(qū)向轉(zhuǎn)換位置22F，轉(zhuǎn)換位置接近原始位置22A，例如在原始位置22A之前幾毫米處。從轉(zhuǎn)換位置22F到原始位置22A，結(jié)合件20僅由氣壓缸30驅(qū)動。當(dāng)氣壓缸30和伺服馬達(dá)35聯(lián)合使用時，結(jié)合件20從結(jié)合位置22D到轉(zhuǎn)換位置20F范圍內(nèi)的運(yùn)動量通過計數(shù)按照上述的相同方式產(chǎn)生的脈沖數(shù)來測定。
雖然情況依據(jù)基板26的厚度可能有所變化，但假如由伺服馬達(dá)35驅(qū)動的結(jié)合件20移過一常量距離，則從輔助結(jié)合位置22D到壓力結(jié)合的結(jié)合位置22E的距離及由轉(zhuǎn)換位置22F到原始位置22A的距離可由氣壓缸30的活塞的運(yùn)動來吸收，因此，依賴隨伺服馬達(dá)35的轉(zhuǎn)動而產(chǎn)生的脈沖數(shù)而定的預(yù)定值不再要求依據(jù)基板26的厚度來改變。
如圖4-6所示，一對支承基36(示出了一個)分別經(jīng)一對豎向?qū)б?3(示出了一個)垂直地并可移動地支承在支承板32上，它們分布于每一真空主吸板22的相對側(cè)并與后者的寬度方向?qū)φ?br> 豎向?qū)б?3每一個都包括連于支承板32的導(dǎo)軌33A和連于相應(yīng)的一個支承基36并由滑動導(dǎo)軌33A滑動地支承的滑動件33B。
如圖8所示，左、右支承基36每一個都有經(jīng)一水平支承銷36A連至連接件36B的一個上端，該支承銷36A平行于薄膜通過平面12A。在圖8中，左連接件36B由一旋轉(zhuǎn)刀具角度調(diào)節(jié)裝置37豎向驅(qū)動，而該調(diào)節(jié)裝置37包括安裝于支架32A的氣壓缸。右連接件36B由一對螺母36C支承在支架32A上，因此，連接件36B可豎向調(diào)節(jié)就位。支架32A、32A被固定在為真空主吸板22設(shè)置的支承板32上。
每一支承基36有通過其穿過相應(yīng)的支承銷36A的孔36D，該孔36D的內(nèi)徑大于支承銷36A的外徑。
旋轉(zhuǎn)刀具角度調(diào)節(jié)裝置37僅使左支承基36沿豎向運(yùn)動，使旋轉(zhuǎn)刀具54的靜止切刀54A和旋轉(zhuǎn)切刀54B(隨后介紹)在平行于薄膜通過平面12A的平面內(nèi)傾斜，使得靜止和旋轉(zhuǎn)切刀54A，54B的各自中心線在一預(yù)定的角度范圍內(nèi)(0°～5°)與水平線傾斜成一給定的角度。
支承基36每一個都有一縱向?qū)к?8，該導(dǎo)軌38在垂直于薄膜通過平面12A的方向延伸?？v向?qū)к?8包括固定于支承基36的一固定軌38B和一個由固定軌38B滑動地支承著的滑塊38A?；瑝K38A包括一個靜止切刀支承移動塊39A和一個旋轉(zhuǎn)切刀支承移動塊39B，移動塊39A，39B可彼此獨(dú)立地滑動。
靜止切刀支承移動塊39A經(jīng)一浮動機(jī)構(gòu)40浮動地支承著持膜件42的每一端。浮動機(jī)構(gòu)40包括豎向?qū)к?0A，導(dǎo)架40B，浮動長軸40C，壓縮簧40D，移動塊40E和止動板40F。
更具體來說，如圖6，7所示，靜止切刀支承移動塊39A有連接其上的豎向?qū)к?0A，而移動塊40E豎向可移動地安裝在豎向?qū)к?0A上。移動塊40E被包有并在其上滑動地支承著矩形截面的短管導(dǎo)架40B。浮動長軸40C從導(dǎo)架40B沿著朝向基板輸送平面I-I的方向豎直地向上延伸，螺旋壓簧40D布在浮動軸40C的周圍并在浮動軸40C的遠(yuǎn)端和止動板40F之間作用著，因此，導(dǎo)架40B相對導(dǎo)軌40A被浮動地支承著并被沿著背離基板輸送平面I-I的方向驅(qū)使著。止動板40F連在一靜止切刀支承件52上(以后介紹)，而該支承件52與靜止切刀支承移動塊39A結(jié)成整體。
每一導(dǎo)架40B在靠近持膜件42的一端處在其基板輸送平面I-I側(cè)在后者的寬度方向上支承著持膜件42的一端，因此，持膜件42相對導(dǎo)軌40A被可浮動地支承著并可沿豎向浮動移動。另外，借助縱向?qū)к?8，持膜件42可相對薄膜通過平面12A前后移動。然而持膜件42還可與支承基36一起沿豎向被驅(qū)動，以便在一預(yù)定的距離范圍內(nèi)移動。
持膜件42有一朝向薄膜通過平面12A的端表面，該端表面有一個水平的吸槽42A和多個吸孔42B(示出了一個)，在其中所產(chǎn)生的局部真空可使薄膜12借吸力附著在該端表面上。
標(biāo)號44表示氣壓缸，其用于驅(qū)動連著導(dǎo)軌40A的縱向?qū)к?8的靜止切刀支承移動塊39A。
導(dǎo)架40B，如圖4-7所示，經(jīng)一對有L形截面并在垂直于薄膜通過平面12A的方向有一預(yù)定長度的軌件48A支承著持膜件42的相對端。
一對壓力輥48B在面朝基板輸送平面I-I的每一真空主吸板22的引端附近可轉(zhuǎn)動地安裝在主吸板22的相對側(cè)。各壓力輥48B從與基板輸送平面I-I相反的方向與相應(yīng)的軌件48A滾動接觸并且當(dāng)軌件48A沿著垂直于薄膜通過平面12A的方向移動時它們是轉(zhuǎn)動的，與此同時，壓力輥48B與軌件48A保持接觸。壓力輥48B與軌件48A聯(lián)合構(gòu)成壓力機(jī)構(gòu)48。
如圖7和9所示，靜止切刀支承件52連著每一個縱向?qū)к?8的靜止切刀支承移動塊39A。靜止切刀支承件52連著氣壓缸44的活塞桿的前端，而氣壓缸44安裝在一個氣壓缸支承件45上，而支承件45固定在支承基36上，因此，隨著氣壓缸44的工作，旋轉(zhuǎn)刀具54的靜止切刀54A沿著垂直于薄膜通過平面12A的方向前后運(yùn)動。
靜止切刀支承件52這樣支承著靜止切刀54A，使得當(dāng)持膜件42由真空主吸板22迫向基板輸送平面I-I時，靜止切刀54A的頂刃靠近持模件42的基板輸送平面I-I側(cè)。
旋轉(zhuǎn)刀具54包括靜止切刀54A和相對于靜止切刀54A旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)切刀54B，以便由靜止與旋轉(zhuǎn)切刀54A、54B切開或切斷它們之間的薄膜。旋轉(zhuǎn)切刀54B有由旋轉(zhuǎn)切刀支承件56支承的相對兩端，而旋轉(zhuǎn)切刀支承件56連在縱向?qū)к?8的旋轉(zhuǎn)切刀支承移動塊39B上，因此，旋轉(zhuǎn)切刀54B可以朝向和背離薄膜通過平面12A而運(yùn)動。標(biāo)號54C表示用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)切刀54B旋轉(zhuǎn)的伺服馬達(dá)。
旋轉(zhuǎn)切刀支承件56分別設(shè)有一對旋轉(zhuǎn)切刀位置鎖定裝置58、58，該鎖定裝置可將相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)切刀支承件56鎖定在切削位置和退回位置，其中，在切削位置時，旋轉(zhuǎn)切刀54B和靜止切刀54A彼此接觸以切斷或割斷薄膜12，而在退回位置時，旋轉(zhuǎn)切刀54B從薄膜通過平面12A沿背離靜止切刀54A的方向退回。
旋轉(zhuǎn)切刀位置鎖定裝置58每個都包括一個鎖鈕58A(該鎖鈕58A有一個柄尖，該柄尖通過貫穿相應(yīng)的一個旋轉(zhuǎn)切刀支承件56的接合孔來接納)，形成在相應(yīng)的支承基36上以便與鎖鈕58A的柄尖分別在切削位置和退回位置嚙合的二個鎖定孔58B、58C和一個驅(qū)使鎖鈕58A向內(nèi)即朝向支承基36的方向的鎖簧58D。
二個面對的保持板58E向內(nèi)布置在鎖鈕58A之間，而且每個被固持得面臨著相應(yīng)的一個鎖鈕58A。保持板58E從相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)切刀支承件56橫向地和向內(nèi)地延伸。保持板58E構(gòu)形及布置得使得每一保持板58E垂直于配合鎖鈕58A的中心線延伸并在配合鎖鈕58A以一手的第二和第三指扣住的情況下可頂住或支承同一手的第一指。
分別布于旋轉(zhuǎn)切刀支承件56的上方和下方的是一個放氣管60A和一對放氣管60B和60C用于將壓縮空氣吹向薄膜12。放氣管60A～60C每一個都有形成在其一側(cè)上適于面向薄膜12并以預(yù)定縱向間隔例如20毫米隔開的一些氣孔。布于旋轉(zhuǎn)切刀支承件56之下的一對放氣管60B和60C中上邊的一個60B被制得可以在切割薄膜12時將壓縮空氣吹向結(jié)合件20的引端部分21A，而下邊的一個放氣管60C被制得可以在真空吸桿70和導(dǎo)輥76之間產(chǎn)生氣流，后面將介紹。
成對地設(shè)置的左和右保持板58E由上放氣管60A沿薄膜的寬度方向整體地連接起來。
靜止切刀54A的每一端經(jīng)帶有對中環(huán)的徑向軸承55A由靜止切刀支承件52來支承，旋轉(zhuǎn)切刀54B的每一端經(jīng)帶有對中環(huán)的徑向軸承55B由旋轉(zhuǎn)切刀支承件56來支承，并且，放氣管60A在其本身和左、右保持板58E之間設(shè)有一個例如為泡沫合成樹脂的軟墊(未示出)，使得靜止切刀54A和旋轉(zhuǎn)切刀54B與支承基36一起可在平行于薄膜通過平面12A的一個平面內(nèi)相對于薄膜12的一個寬度線傾斜。
標(biāo)號62代表層壓輥，64代表基板輸送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動輥，66代表同一機(jī)構(gòu)的從動輥，68代表一個基板壓力件，70代表真空吸桿，用以在割斷各個薄膜12之后通過吸力固持薄膜后沿，72代表基板引端位置檢測光敏器件，74代表基板尾端位置檢測光敏器件。另外，標(biāo)號76代表導(dǎo)輥，每個都布于真空吸桿70和靜止切刀54A之間，用于切割薄膜時在靜止切刀54A位置處豎向引導(dǎo)薄膜12。每一真空吸桿70可轉(zhuǎn)動地布于相應(yīng)的層壓輥62附近并以等于或稍低于層壓輥62的圓周轉(zhuǎn)速將割斷的一段薄膜12移動或轉(zhuǎn)送至在基板26上的薄膜12和層壓輥62之間的接觸表面上，與此同時，割斷的薄膜12的在尾端處或附近被固持在真空吸桿70上。
基板壓力件68包括基板壓力輥68A和用于豎向地使壓力輥68往復(fù)運(yùn)動的基板壓力輥驅(qū)動氣壓缸68B。層壓輥62和基板壓力件68的關(guān)系如下所述。
被輸送的基板26的引端由布于基板輸送平面I-I附近的基板引端位置檢測光敏器件72來檢測，之后，當(dāng)一預(yù)定時間過去時，基板26已被輸送至薄膜結(jié)合位置，在這里，驅(qū)動輥64的轉(zhuǎn)動停止。與此同時，基板壓力輥68A由基板壓力輥驅(qū)動氣壓缸68B驅(qū)動，迫使基板26向下。
基板26的運(yùn)動完全由基板壓力輥68A停止住。既使構(gòu)成結(jié)合件20的引端的結(jié)合件體21與基板26接觸時，基權(quán)26也不能移動，基結(jié)果是，薄膜12可靠地結(jié)合在基板26上。
由基板壓力輥68A造成的基板26的停止將繼續(xù)下去直至層壓輥62與基板26接觸為止。與層壓輥62接觸定時同步，基板壓力輥驅(qū)動氣壓缸68B被解除致動。
現(xiàn)參閱圖10-12，現(xiàn)將前述實(shí)施例的覆膜設(shè)備的工作情況介紹如下。
首先，致動氣壓缸44以使靜止切刀支承移動塊39A向薄膜通過平面12A前進(jìn)。在此運(yùn)動之下，持膜件42和相應(yīng)的靜止切刀54A被帶至薄膜通過平面12A的位置，同時它們保持在豎向并列。結(jié)合件20由伺服馬達(dá)35驅(qū)動從原始位置22A移向基板輸送平面I—I，在這里，壓力輥48B通過軌件48A迫使持膜件42向下(或向上)，直至持膜件42與相應(yīng)的靜止切刀54A靠近并列(手動切割位置22B，見圖10A)。
另一方面，旋轉(zhuǎn)切刀支承件56沿著背離薄膜通過平面12A的方向被拉開，與此同時，鎖鈕58A被拉出或脫開，然后，鎖鈕58A與鎖孔58C配合，于是，將旋轉(zhuǎn)切刀支承件56鎖定在該退回位置。
現(xiàn)在在旋轉(zhuǎn)切刀54B和靜止切刀54A之間形成一個較寬闊的空間，由供輥14上繞開的然后又與面膜分離的每一薄膜由手工引入該空間中。當(dāng)薄膜12的引邊已通過靜止切刀54A時，真空主吸板22，結(jié)合件體21和持膜件42開始實(shí)施負(fù)吸力，借此由吸力將薄膜12保持在其上。
然后，示于圖8的左手側(cè)支承基36由旋轉(zhuǎn)刀具角度調(diào)節(jié)裝置37上、下移動，使靜止和旋轉(zhuǎn)切刀54A，54B置于這樣一種狀態(tài)，即靜止切刀54A的切削刃和旋轉(zhuǎn)切刀54B的旋轉(zhuǎn)軸線平行于薄膜的橫截軸。
之后，將鎖鈕58A拉出，使旋轉(zhuǎn)切刀支承件56與退回位置脫開，然后將旋轉(zhuǎn)切刀支承件56驅(qū)向薄膜通過平面12A，之后，將鎖鈕58與鎖孔58B配合，以便將相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)切刀54B鎖定在切削位置。然后，驅(qū)動旋轉(zhuǎn)切刀54B，使得從靜止切刀54A向前延伸的薄膜12的引邊部份由靜止和旋轉(zhuǎn)切刀54A、54B切掉。同時，由于靜止切刀54A的切削刃以直角對著薄膜12的進(jìn)給方向，因此，薄膜12的引邊相對于薄膜12的進(jìn)給方向成直角被切割。
當(dāng)克服彈簧58D的彈力而使旋轉(zhuǎn)切刀位置鎖定裝置58的鎖鈕58A與鎖孔58B或58C脫開時，操作者以其第二和第三手指扣住相應(yīng)鎖鈕58A的頸部拉出鎖鈕58A，同時，第一指鉤在在薄膜寬度方向上布于相應(yīng)的鎖鈕58A的內(nèi)側(cè)且與其面對的保持板58E上。于是，很容易就能操縱鎖鈕58A松開即脫開，而不要求不便的工作姿勢。
然后，致動氣壓缸44，以便沿著使持膜件42和靜止切刀支承件52背離薄膜通過平面12A移動的方向來驅(qū)動靜止切刀支承活動塊38。
在本例中，因?yàn)槊恳槐∧?2的引邊由吸力保持在持膜件42上，所以，如圖10B所示，薄膜引邊被拉向結(jié)合件20的真空主吸板20并進(jìn)一步沿著結(jié)合件體21的圓形表面拉動，使得薄膜引邊被迫靠在其上。于是，薄膜引邊與持膜件分離并由吸力保持在結(jié)合件體21上。
當(dāng)持膜件42和靜止切刀支承件52與薄膜通過平面12A隔開一預(yù)定距離時，則使在持膜件42的結(jié)合件側(cè)上形成的軌件48A脫離與壓力輥48B的滾動嚙合。
因此，螺旋壓縮彈簧40D被解除壓縮力，因此允許膨脹伸長，恢復(fù)其原來的長度，其結(jié)果是，持膜件42，支承著持膜件42的導(dǎo)架40B和浮動軸40C沿著背離靜止切刀54A的方向被驅(qū)動而采取示于圖10C的位置。
由于持膜件42和靜止切刀54A的后退或縮回的結(jié)果，結(jié)合件20便可向基板26運(yùn)動而無與持膜件42和靜止切刀54的干擾。如在圖11A中由虛線所展示的，結(jié)合件20由伺服馬達(dá)35驅(qū)動，直至其到達(dá)其停止的輔助結(jié)合位置22D。
然后，基板26的引端由基板引端位置檢測光敏器件70來檢測，之后，按照預(yù)定定時，由氣壓缸30將結(jié)合件20驅(qū)向基板26，借此，如圖11A實(shí)線所示，包在結(jié)合件體21周圍的薄膜12的引邊在壓力的作用下及由嵌在引端部份21A中的加熱器加熱的情況下暫時覆在基板26的引端。
在本例中，由于薄膜12相對基板26的結(jié)合過程是在氣壓缸30的作用下完成的，所以基板26厚度的變化可由氣動壓力的緩沖作用來抵消，并總可得到足夠的結(jié)合壓力。因此，所得結(jié)合非常可靠。
當(dāng)薄膜引邊的結(jié)合開始時，作用在結(jié)合件20上的負(fù)壓消除，之后，當(dāng)已到了預(yù)定時間時，結(jié)合件20由氣壓缸30和伺服馬達(dá)35沿著背離基板的方向聯(lián)合驅(qū)動，直至其到達(dá)轉(zhuǎn)換位置22F，如圖11B所示。在壓力結(jié)合的結(jié)合位置22E和轉(zhuǎn)換位置22F之間的距離定為常數(shù)。從轉(zhuǎn)換位置22F至原始位置22A，結(jié)合件20僅由氣壓缸30來驅(qū)動，因此，從轉(zhuǎn)換位置22F至原始位置22A的距離的變化(其可能由基板26厚度的變化引起)可由氣體壓力的緩沖作用來抵消。
在每一結(jié)合件20從基板26退回的運(yùn)動期間，層壓輥62被移向基板26的引邊，且基板26由驅(qū)動輥64來輸送，因此，薄膜12在熱及壓力作用下由層壓輥62結(jié)合在基板26上。
在加熱和加壓結(jié)合開始以前，持膜件42和靜止切刀54A由氣壓缸44以靜止切刀支承活動塊39A驅(qū)向薄膜通過平面12A。此時，持膜件42與靜止切刀54A隔開至結(jié)合件20側(cè)，如圖12A所示。真空吸桿20與層壓輥62同步被驅(qū)動而采取在薄膜通過平面12A上的位置。
靜止切刀54A和旋轉(zhuǎn)切刀54B由旋轉(zhuǎn)刀具角度調(diào)節(jié)裝置37變傾斜，使得靜止切刀54A的切削刃和旋轉(zhuǎn)切刀54B的中心軸線在與旋轉(zhuǎn)切刀54B的切削刃的斜交角相反的方向上傾斜約5°的角度。此種結(jié)構(gòu)布置使得即使在薄膜運(yùn)動時實(shí)施切割也可使薄膜引邊的歪斜最小。
當(dāng)基板尾端位置檢測光敏器件72檢測被輸送和覆以薄膜12的基板26的尾端時(圖13所示的S101)，結(jié)合件工作定時計量器打開即被致動(S102)。之后，當(dāng)一段預(yù)定時間過去時，由伺服馬達(dá)35驅(qū)動的結(jié)合件20開始沿導(dǎo)軌28與薄膜12同步向基板26運(yùn)動(S103，S104)。在此結(jié)合件20運(yùn)動的情況下，使壓力輥48B與持膜件42接觸，然后克服螺旋壓縮彈簧40D的彈力迫使它們與薄膜12的運(yùn)動同步地向基板26移動，到達(dá)靠近靜止切刀54A的各自位置(S105)。
當(dāng)結(jié)合件工作定時計量器輸出“打開”(ON)信號時，同一“ON”信號同時被輸入一真空定時計量器(S106)。
當(dāng)過去一段預(yù)定時間時，真空定時計量器輸出“ON”信號，依次指示結(jié)合件20和持膜件42產(chǎn)生真空吸力(S107，S108)。真空吸桿70也產(chǎn)生真空吸力，因此，薄膜12可由吸力吸附在結(jié)合件20、持膜件42和真空吸桿70上。真空吸力產(chǎn)生定時是這樣確定的，即當(dāng)結(jié)合件20向基板26的運(yùn)動與薄膜12的運(yùn)動同步時，則結(jié)合件20開始實(shí)施真空吸力(真空打開)；而當(dāng)結(jié)合件20與持膜件42壓力接觸并與后者同步運(yùn)動時，則持膜件42開始實(shí)施真空吸力(真空打開)，真空定時計量器的“ON”信號也被輸入切刀起動定時計量器(S109)，并當(dāng)已過一段預(yù)定時間時，則伺服馬達(dá)54C驅(qū)動相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)切刀54B(S110)，以便切割在旋轉(zhuǎn)切刀54B和靜止切刀54A之間的薄膜12(S111)。在切割薄膜期間，結(jié)合件20，持膜件42和薄膜12向基板26運(yùn)動，在薄膜切割后，當(dāng)持膜件42來到靠近相應(yīng)的靜止切刀54A的位置時，它們便停止(S112)。已發(fā)現(xiàn)，當(dāng)旋轉(zhuǎn)切刀54B的切削刃的圓周轉(zhuǎn)速為薄膜12的移動速度的二倍或更快時，既使薄膜12在運(yùn)動的同時被切割，切割工作也可順利進(jìn)行，不會引起薄膜12不適當(dāng)?shù)睦o或其有害的纏結(jié)現(xiàn)象。
被切割薄膜12的尾邊受到由吹氣管60B吹來的氣流作用，因而被吹得卷在導(dǎo)輥76的周圍，如圖12B所示。
當(dāng)以層壓輥62進(jìn)行薄膜12的壓力覆加或壓力結(jié)合時，被切割薄膜12的尾邊連續(xù)地向基板26運(yùn)動。當(dāng)薄膜尾邊已通過導(dǎo)輥76時，則致動一個轉(zhuǎn)換閥(未示出)，使壓縮空氣供給路徑由吹氣管60B變?yōu)榇禋夤?0C。
因此，被切割薄膜12的尾邊被迫以這樣一種方式浮動，以致包在相應(yīng)的真空吸桿70的周圍，如圖12B的虛線所示。值得注意的是，由于過程從圖10A所示的情況進(jìn)行到圖10B所示的情況的同時，氣流由吹氣管60B吹向結(jié)合件20的引端部份21A，所以氣流迫使薄膜12的引邊靠在各自結(jié)合件體21的圓形吸附表面上以及各自持膜件42的引端吸附表面上，因此可防止薄膜12從結(jié)合件體21和持膜件42上移開。
包卷在真空吸桿70上的被切割薄膜12的尾邊立刻由吸力保持在其上，借助吸力，薄膜12的尾邊被拉緊，同時薄膜12由層壓輥62熱壓結(jié)合在基板62上。于是覆膜過程的第一循環(huán)便完成了。
在薄膜12加熱和加壓結(jié)合在基板12上完成以后，程序便返回到圖10A所示的開始狀態(tài)(原始位置22A)，圖10A至圖12B所示的程序?qū)⒅貜?fù)進(jìn)行，以便以上述的相同方式用熱和壓力將薄膜覆合在下一個基板26上。
雖然上述的實(shí)施例在許多部位采用了許多氣壓缸，但氣缸可以是諸如油壓缸，液壓缸或氣缸等流體壓力操作類的缸裝置。
根據(jù)以上實(shí)施例，因?yàn)榻Y(jié)合件直至其到達(dá)基板附近位置為止都是由馬達(dá)驅(qū)動的，同時結(jié)合件的位置是按照馬達(dá)轉(zhuǎn)數(shù)控制的，而在壓力結(jié)合期間，其是由缸裝置驅(qū)動的。因此，在此結(jié)構(gòu)布置的情況下，基板之間厚度的差別可由缸裝置的氣壓來調(diào)整或補(bǔ)償，因此，可將薄膜可靠地覆加在各個基板上。
在結(jié)合件的位置按照馬達(dá)轉(zhuǎn)數(shù)來控制的同時，也可以在短期時間內(nèi)利用缸裝置將結(jié)合件返回到原始位置。
另外，結(jié)合件在被持于基板輸送平面附近的輔助位置的同時，一旦輸送了基板便可迅速地進(jìn)行覆膜作業(yè)。結(jié)果，覆膜作業(yè)時間便可縮短。
也可以將兩片薄膜按照作業(yè)順序一致可靠地覆在基板的相對的表面上，其中，當(dāng)一個結(jié)合件與基板的一個表面接觸后，再使另一結(jié)合件靠在同一基板的另一表面上。
因?yàn)槌帜ぜ挽o止切刀支承件獨(dú)立地支承在縱向?qū)к壍幕顒榆壣?，所以它們可以可靠地被?qū)動以便往復(fù)地移向和離開薄膜通過平面，不會產(chǎn)生彎曲力或剪切力。因此，與現(xiàn)有技術(shù)比較，本發(fā)明的持膜件完全不會失靈。
另外，因?yàn)榻Y(jié)合件經(jīng)壓力機(jī)構(gòu)迫使持膜件向靜止切刀運(yùn)動，又因?yàn)槿绱吮黄葎拥某帜ぜ赏嘶氐讲慌c結(jié)合件干擾的位置，因此，持膜件可被精確而可靠地布置而無需驅(qū)動其復(fù)雜的控制機(jī)構(gòu)。
由于利用了壓力機(jī)構(gòu)，則當(dāng)持膜裝置與薄膜隔開時，結(jié)合件可以超越持膜件移向基板來將薄膜結(jié)合在基板上。
壓力機(jī)構(gòu)每一個都包括一個由迫使持膜件向基板運(yùn)動的輥和設(shè)于持膜件上并可相對于該輥沿垂直于薄膜通過平面的方向運(yùn)動的一個軌組成的壓力件。在此結(jié)構(gòu)布置的情況下，持膜件在被保持與結(jié)合件壓力接觸的同時可以沿著垂直于薄膜通過平面的方向移向持膜件不與該輥干涉的一個后退位置。當(dāng)持膜件處在后退位置時，結(jié)合件可被允許移向基板。
因?yàn)樾D(zhuǎn)切刀由沿導(dǎo)軌可動的旋轉(zhuǎn)切刀支承裝置所支承，所以旋轉(zhuǎn)切刀不再需要單獨(dú)的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)但可以位移，同時相對靜止切刀保持精確的位置。
保持板每一個與二個相對的鎖鈕中的一個面對地設(shè)置，用于將旋轉(zhuǎn)切刀支承裝置相對于導(dǎo)軌側(cè)件鎖定于旋轉(zhuǎn)切刀和靜止切刀彼此接觸的切削位置和鎖定于旋轉(zhuǎn)切刀和靜止切刀彼此分離的后退位置。用第二和第三手指鉤在鎖鈕上而第一指鉤在保持板上拉動鎖鈕，操作者就可使旋轉(zhuǎn)切刀支承裝置與導(dǎo)軌側(cè)脫開而無需采取任何不方便的工作姿勢。
在薄膜寬度方向上成對地布于右和左側(cè)的保持板借助吹氣管在薄膜寬度方向上相互連接起來，因此吹氣管和保持板的剛度可大大提高。
權(quán)利要求
1.一種覆膜方法，其中，將由彼此層疊的一透光支承膜，一感光樹脂層和一面膜組成的一連續(xù)薄膜從一薄膜供輥上拉出，在將面膜分離以后，將該連續(xù)薄膜引導(dǎo)至由一輸送裝置輸送的一基板的引端附近，該感光樹脂層位于一基板側(cè)，在借助吸力將薄膜保持在一個可朝向和背離基板而動的結(jié)合件上及保持在一個在其基板側(cè)靠近該結(jié)合件布置的持膜件上，接著，使持膜件后退，以便使薄膜的引邊包在結(jié)合件引端的周圍，然后由該結(jié)合件將薄膜的引邊結(jié)合在基板的引端上，之后，在輸送基板的同時利用層壓輥將薄膜壓力結(jié)合在基板上，其中，當(dāng)該壓力結(jié)合開始時，結(jié)合件沿薄膜通過平面與基板隔開，其中，在薄膜切割前，在結(jié)合件與薄膜運(yùn)動同步地移向該基板時，薄膜在預(yù)定切割位置的上游部位借助吸力保持在結(jié)合件上，然后，在已立于位于薄膜通過平面上的一個前進(jìn)位置處的持膜件與結(jié)合體的運(yùn)動同步地移動時，薄膜在緊挨預(yù)定切割位置上游的一個部位處由吸力保持在持膜件上，隨后，在結(jié)合件和持膜件同步地移向基板時，用一旋轉(zhuǎn)刀具切割薄膜，該旋轉(zhuǎn)刀具由一旋轉(zhuǎn)切刀和一靜止切刀組成，其中，該旋轉(zhuǎn)切刀可繞平行于薄膜通過平面延伸的一旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，而該靜止切刀可向著和背離該旋轉(zhuǎn)切刀移動；在持膜件與旋轉(zhuǎn)刀具的靜止切刀接觸之前，結(jié)合件和持膜件停止運(yùn)動。
2.如權(quán)利要求1所述的覆膜方法，其特征在于，其中，沿著薄膜通過平面可活動地支承著持膜件并沿著背離基板輸送平面的方向?qū)ζ溥M(jìn)行推動，當(dāng)恰在切割薄膜前結(jié)合件與薄膜的運(yùn)動同步地移向基板時，持膜件與結(jié)合件接觸并在之后由后者驅(qū)使與結(jié)合件的運(yùn)動同步地移向基板。
3.如權(quán)利要求1所述的覆膜方法，其特征在于，供膜輥，結(jié)合件，持膜件和層壓輥布于基板輸送平面的每一上，下側(cè)以便將該二片薄膜覆于基板的相對的二個表面上，當(dāng)這些薄膜被結(jié)合于基板上時，在一側(cè)的結(jié)合件停止，同時一片薄膜由同一結(jié)合件的引端保持與基板的一個表面接觸，在保持此一狀態(tài)的同時，另一片薄膜由在相對側(cè)的結(jié)合件的引端迫使其壓在基板的另一表面上，因此，在基板被夾在二個結(jié)合件的引端之間的情況下，二片薄膜被迫靠壓在基板的相對的二個表面上。
4.如權(quán)利要求3所述的覆膜方法，其特征在于，基板由水平放置的輸送裝置輸送，在該一側(cè)上的結(jié)合件在被保持經(jīng)一片膜與在輸送裝置上的基板下表面接觸的同時保持備用，另使在該另一側(cè)的結(jié)合件經(jīng)另一片膜與在輸送裝置的基板的上表面接觸。
5.如權(quán)利要求1所述的覆膜方法，其特征在于，其中，當(dāng)薄膜由結(jié)合件的引端結(jié)合于基板的引端時，結(jié)合件以這樣的方式完成從遠(yuǎn)離基板輸送平面的原始位置移向基板輸送平面的行程，即從原始位置移至靠近基板輸送平面的一個位置，結(jié)合件由一馬達(dá)驅(qū)動，同時，結(jié)合件的位置依據(jù)檢測的馬達(dá)的轉(zhuǎn)數(shù)來控制，而從該靠近基板輸送平面的位置至結(jié)合件經(jīng)薄膜與基板接觸的位置，結(jié)合件是由一缸裝置驅(qū)動，并且結(jié)合件以這樣的方式完成返回至原始位置的行程，即從該與基板接觸的位置至靠近原始位置的一個位置，結(jié)合件是由馬達(dá)驅(qū)動，同時結(jié)合件的位置依據(jù)檢測的馬達(dá)的轉(zhuǎn)數(shù)來控制，從該靠近原始位置的位置，結(jié)合件由缸裝置驅(qū)動。
6.如權(quán)利要求5所述的覆膜方法，其特征在于，供膜輥，結(jié)合件，持膜件和層壓輥置于基板輸送平面的每一上、下側(cè)，以便將該二片膜覆加在基板的相對的二個表面上，當(dāng)薄膜結(jié)合于基板上時，在一側(cè)的結(jié)合件停止不動，同時一片膜由同一結(jié)合件的引端保持與基板的一個表面接觸，而在保持此種狀態(tài)的同時，另一片膜由在相反側(cè)的結(jié)合件的引端迫使其靠在基板的另一表面上，使得在基板被夾在二個結(jié)合件引端之間的情況下，二片膜被迫靠在基板的相反的二個表面上。
7.如權(quán)利要求6所述的覆膜方法，其特征在于，基板由水平布置的輸送裝置輸送，在該一側(cè)的結(jié)合件在保持經(jīng)一片膜與輸送裝置上的基板的下表面接觸的同時被保持備用，而使在該另一側(cè)上的結(jié)合件通過另一片膜與輸送裝置上的基板的上表面接觸。
8.如權(quán)利要求5所述的覆膜方法，其特征在于，其中，從與基板接觸的該位置至靠近原始位置的該位置的該返回行程中，結(jié)合件由馬達(dá)和缸裝置聯(lián)合驅(qū)動。
9.如權(quán)利要求5所述的覆膜方法，其特征在于，其中，在該接近基板輸送平面的行程中，結(jié)合件停在在靠近基板輸送平面的該位置，并且在基板被輸送至一結(jié)合位置后，結(jié)合件由該缸裝置驅(qū)動，以便將薄膜的引邊結(jié)合在基板上。
10.如權(quán)利要求9所述的覆膜方法，其特征在于，其中，供膜輥，結(jié)合件，持膜件和層壓輥布于基板輸送平面的每一上、下側(cè)，以便將該二片膜覆于基板的相反的二表面上，當(dāng)薄膜結(jié)合于基板時，在一側(cè)的結(jié)合件停下來，同時，一片膜由同一結(jié)合件的引端保持與基板的一個表面接觸，在保持此一狀態(tài)下，另一片膜由在相反側(cè)的結(jié)合件的引端迫使靠在基板的另一表面上，使得，在基板被夾在二個結(jié)合件的引端之間的情況下，二片膜被迫靠在基板的相反的二個表面上。
11.如權(quán)利要求10所述的覆膜方法，其特征在于基板由水平布置的輸送裝置輸送，在該一側(cè)的結(jié)合件在經(jīng)一片膜被保持與在輸送裝置上的基板的下表面接觸的同時被保持備用，使在該另一側(cè)的結(jié)合件經(jīng)另一片膜與在輸送裝置上的基板的上表面接觸。
12.一種覆膜設(shè)備，其中，由彼此層疊的透光支承膜，感光樹脂層和面膜組成的一連續(xù)膜由一供膜輥上拉出來，在面膜被分離后，連續(xù)膜由一輸送裝置引導(dǎo)至基板的引端附近，感光樹脂層位于一基板側(cè)，同時薄膜由吸力保持在可朝向和背離基板移動的結(jié)合件上以及保持在靠近在其一基板側(cè)的結(jié)合件的持膜件上，之后，持膜件退回，以使薄膜的引邊包圍在結(jié)合件的引端周圍，然后，薄膜的引邊由結(jié)合件結(jié)合在基板的引端上，之后在輸送基板的同時由層壓輥將薄膜壓力結(jié)合在基板上，其中，當(dāng)該壓力結(jié)合開始時，結(jié)合件沿薄膜通過平面與基板隔開，然后，薄膜在靠近持膜件的一位置處由一旋轉(zhuǎn)刀具切斷，該旋轉(zhuǎn)刀具由一繞平行于薄膜通過平面延伸的旋轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)切刀和一個可朝向及背離旋轉(zhuǎn)切刀移動的靜止切刀所組成，其中，當(dāng)切割薄膜時，持膜件與結(jié)合件一起向薄膜通過平面移動以便以吸力將薄膜保持在其上，該設(shè)備還包括一對支承基，該對支承基在薄膜的寬度方向上于該靜止切刀相對端外側(cè)的位置處連于該設(shè)備的本體并可在平行于供膜方向的方向上移動；一對縱向?qū)к?，該對縱向?qū)к壏謩e布于該支承基上并在垂直于該薄膜通過平面的方向上延伸；分別由該縱向?qū)к壍囊粚σ苿訅K支承的一對靜止切刀支承件和一對持膜件支承機(jī)構(gòu)，其中，該靜止切刀支承件支承著該靜止切刀的所述相對端，而該持膜件支承機(jī)構(gòu)支承著該持膜件的相對端，其中，該持膜件支承機(jī)構(gòu)包括一對彈簧，該對彈簧支承著持膜件同時允許持膜件沿該薄膜通過平面在一預(yù)定的距離范圍內(nèi)移動并在背離基板輸送平面的方向驅(qū)使著持膜件，并且其中，一對壓力機(jī)構(gòu)設(shè)于該持膜件和該持膜件支承機(jī)構(gòu)之間，用于該結(jié)合件在一固定空間距離之外靠近該持膜件時迫使該持膜件克服該彈簧力并當(dāng)該持膜件與薄膜隔開時允許該結(jié)合件超越該持膜件移向基板。
13.如權(quán)利要求12所述的覆膜設(shè)備，其特征在于其中，該壓力機(jī)構(gòu)每一個都包括一個壓力件，該壓力件布置得從位于持膜件的一側(cè)靠近其引端的一位置偏向基板的位置處并且可與該持膜件嚙合，以便當(dāng)該結(jié)合件在一固定距離之外移向基板時迫動持膜件。
14.如權(quán)利要求13所述的覆膜設(shè)備，其特征在于其中，該壓力件包括一個輥，該輥有一個平行于薄膜寬度方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸，每一個該壓力機(jī)構(gòu)由該輥和一個軌組成，該軌在垂直于該薄膜通過平面的方向延伸并且布于該持膜件支承機(jī)構(gòu)中相應(yīng)的一個中可與該輥相嚙合的一個部位處，以便允許該輥沿該軌移動同時與該軌接觸，該軌伸過一有限的長度，在該長度范圍內(nèi)該持膜件和該結(jié)合件在供膜方向上彼此干涉。
15.如權(quán)利要求12所述的覆膜設(shè)備，其特征在于其中，該設(shè)備還包括一個旋轉(zhuǎn)切刀支承裝置，用于沿該縱向?qū)к壙苫顒拥刂С性撔D(zhuǎn)切刀相對端及使該旋轉(zhuǎn)切刀固定在一切削位置和一后退位置，在該切削位置時該旋轉(zhuǎn)切刀與置于該薄膜通過平面上的該靜止切刀配合以切割薄膜，而該后退位置與該薄膜通過平面隔開。
16.如權(quán)利要求15所述的覆膜設(shè)備，其特征在于其中，該旋轉(zhuǎn)切刀支承裝置包括一個鎖銷和一個彈簧，該鎖銷在該切削位置和該后退位置可與在每一該縱向?qū)к壍墓潭ㄜ墏?cè)處形成的凹部嚙合，該彈簧將該鎖銷驅(qū)向銷的突出方向。
17.如權(quán)利要求16所述的覆膜設(shè)備，其特征在于其中，該鎖銷在薄膜寬度方向上在內(nèi)側(cè)布于該固定軌上，可向著和背離薄膜的寬度方向移動并在其近側(cè)端有鎖鈕，該旋轉(zhuǎn)切刀支承裝置還包括一個保持板，該保持板在薄膜的寬度方向上布于該鎖鈕之內(nèi)并與其相對，使得當(dāng)該鎖鈕以第二和第三手指鉤住時第一手指可鉤在該保持板上。
18.如權(quán)利要求17所述的覆膜設(shè)備，其特征在于該鎖銷，該鎖鈕和該保持板在薄膜的寬度方向上成對地設(shè)于左、右側(cè)，其中，該左、右保持板在薄膜的寬度方向上由一吹氣管連在一起，該吹氣管平行于該旋轉(zhuǎn)切刀，布置得靠近該薄膜通過平面，用來向薄膜吹壓縮空氣。
全文摘要
在將包括感光層的薄膜覆于印刷電路板等的覆膜設(shè)備中，用于包卷薄膜引邊的持膜件和靜止切刀支承件支承在相同的縱向?qū)к壣希糜谙鄬Ρ∧ねㄟ^平面同步往復(fù)運(yùn)動；持膜件由浮動機(jī)構(gòu)浮動地支承著，用于沿垂直于基板輸送平面I-I的方向運(yùn)動；持膜件經(jīng)壓力機(jī)構(gòu)由結(jié)合件驅(qū)動，以便在其與靜止切刀支承件隔開的一個位置和其與靜止切刀支承件接觸的一個位置之間移動。
文檔編號H05K3/06GK1128703SQ9511586
公開日1996年8月14日 申請日期1995年8月31日 優(yōu)先權(quán)日1995年5月23日
發(fā)明者田口博, 鷲崎洋二 申請人:蘇馬呂株式會社