專利名稱:一種碲鎘汞晶體熱處理裝置的制作方法
技術(shù)領域:
本實用新型涉及單晶或具有一定結(jié)構(gòu)的均勻多晶材料的后處理所用的裝置,特別是一種碲鎘汞晶體熱處理裝置。
在汞氣氛中進行對碲鎘汞晶體的熱處理,可以調(diào)整汞空位濃度,調(diào)整晶體的型號、濃度、電阻率及遷移率等電學參數(shù),并可調(diào)整晶體的均勻性。一般對碲鎘汞晶體進行熱處理是密封在石英管中進行的,是將汞置于石英管的一端的泡狀尾端中,樣品放在石英管的中部的樣品室,而泡狀尾端與樣品室之間以縮小石英管口徑使汞不致流入樣品室。然后,將該石英管接在真空系統(tǒng)上抽真空,割下密封的石英管,再放入爐腔內(nèi)在合適的溫度下讓碲鎘汞晶體在汞蒸汽氛條件下進行熱處理。這樣處理由于石英管的樣品室與汞泡之間的距離較短,較難控制溫度場,工藝中涉及的輔助設備又較多,并且石英管反復使用率低和工藝較復雜,極有改進之必要。
本實用新型的目的是要提供一種采用開管式結(jié)構(gòu)、工藝方便、可反復使用的碲鎘汞晶體熱處理裝置。
為方便地說明技術(shù)方案,先對本實用新型附圖作簡要說明。
圖1是本實用新型碲鎘汞晶體熱處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是現(xiàn)有技術(shù)的碲鎘汞晶體熱處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
本實用新型的目的通過如下技術(shù)方案完成,請參閱圖1,本裝置包括石英管、二通活塞和樣品室,豎直放置的石英管6的上端開口并帶有磨砂口3,在石英管上部一側(cè)封接有二通活塞4,石英管近口處外側(cè)設有供緊固密封帽的小彎鉤;石英密封帽1的磨砂口2與石英管6的靡砂口3配合密封,密封帽近口處外側(cè)也設有供緊固石英管的小彎鉤;置于石英6內(nèi)腔的杯狀樣品室9帶有支撐于石英管6底部的樣品室支撐柱10和供吊置樣品室的彎鉤7。
使用時,將樣品8置入樣品室9中,吊裝入管底已放置汞11的石英管中,蓋上密封帽,將石英管和密封帽上的小鉤扎緊。將二通活塞4的接口5接通機械泵,抽低真空,然后通過接口5充入氫氣,進行多次抽空和充氫氣后,將石英管置于豎式爐中熱處理。
顯而易見,本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)對比,有如下有益效果(1).開管結(jié)構(gòu),充氫清洗,控制石英管底部的汞區(qū)較高溫度,形成汞蒸汽,而至溫度較低的樣品室的石英管上部時,又凝結(jié),形成汞蒸汽低壓回流,對樣品提供一定的汞氣壓下進行熱處理,非常方便。
(2).石英管可做得長些,易控制不同區(qū)域的溫度場,易控制所需的汞氣壓。
(3).裝置清洗方便,迅速、工藝周期明顯縮短。
(4).輔助設備簡單。
(5).可反復使用。
權(quán)利要求1.一種碲鎘汞晶體熱處理裝置,包括石英管,二通活塞和樣品室,其特征在于a.豎直放置的石英管(6)的上端開口并帶磨砂口(3),在石英管上部一側(cè)封接有二通活塞(4);b.石英密封帽(1)的磨砂口(2)與石英管(6)的磨砂口(3)配合密封;c.置于石英管(6)內(nèi)腔的杯狀樣品室(9)帶有支撐于石英管(6)底部的樣品室支撐柱(10)和供吊置樣品室的彎鉤(7)。
專利摘要本實用新型提供了一種碲鎘汞晶體熱處理裝置,在豎直放置的石英管上端開口,用磨砂密封帽密封,管內(nèi)中部放置樣品室,管底放置汞源,在合適的溫度場中形成汞蒸汽低壓回流,并對晶體樣品進行熱處理。本實用新型易控制溫度場,易控制所需的汞氣壓,清洗方便,可反復使用,工藝周期短,成本低,且所需的輔助設備簡單。
文檔編號C30B33/00GK2252819SQ9622914
公開日1997年4月23日 申請日期1996年1月19日 優(yōu)先權(quán)日1996年1月19日
發(fā)明者俞振中, 馬可軍, 沈壽珍, 何進, 許平 申請人:中國科學院上海技術(shù)處理研究所