專利名稱：液相外延水平生長晶體薄膜用的容器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種外延生長晶體薄膜的容器，特別涉及一種用液相外延方法外延生長晶體薄膜用的容器。
在地面用液相外延方法外延生長晶體薄膜時，由于重力的原因，溶液中除了存在表面張力對流外，還存在重力驅動對流。因此，外延晶體的均勻性和重復性都受到一定的影響。在空間生長時，由于微重力的原因，溶液中的重力驅動對流消失了，僅存在表面張力驅動對流，因此外延晶體薄膜的質量能夠得到提高。
本實用新型的目的在于，設計一種液相外延水平生長晶體薄膜用的容器，其能夠在地面模擬空間生長的液相外延生長容器(簡稱容器)，用這種容器在地面也能生長出高質量的晶體。
本實用新型的技術方案是這樣實現(xiàn)的，一種液相外延水平生長晶體薄膜用的容器，其特征在于，它包括相互緊密耦合的容器廂體、滑動板和滑動樣品室三部分；其中容器廂體為上面敞口的空心長方體結構；一滑動樣品室，該滑動樣品室包括一樣品室主體和兩個護板，該樣品室主體概似門形，該滑動樣品室置于容器廂體；一滑動板，該滑動板為長方體結構，該滑動板蓋于容器廂體的敞口上。
其中該容器廂體的兩長側壁內側上部各有一矩形的凹槽，該容器廂體的一短側壁的高度和長側壁上的凹槽的下沿相齊，另一短側壁的高度低于長側壁的凹槽下沿，一底板封蓋住該容器廂體的下面。
其中在樣品室主體的兩側的側板的內側壁上對稱橫向開有多個導槽，該滑動樣品室的高度等于容器廂體內底部到長側壁上的凹槽下沿的高度，其寬度等于容器廂體內腔的寬度；該樣品室主體開口的兩端縱向加工有燕尾塊；兩護板，分別與樣品室主體的燕尾塊相對應加工有燕尾槽，該兩護板位于樣品室主體的兩側。
其中該滑動板的兩長側邊分別加工有一導軌，該導軌與容器廂體的兩長側壁內側上的矩形凹槽相配合；該滑動板的一短側邊的中間向下延伸一擋塊，該擋塊與滑動板的縱向垂直。
其中所述的容器廂體、滑動樣品室、滑動板均是用高純度、高密度、高硬度石墨制成的。
其中該容器廂體內的底部一側有一凹坑。
為進一步說明本實用新型的結構和特征，以
以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的描述，其中

圖1是本實用新型容器廂體的立體圖；圖2是本實用新型滑動樣品室的立體圖；圖3是本實用新型滑動板的立體圖；圖4是本實用新型組裝后的剖面圖。
本實用新型一種液相外延水平生長晶體薄膜用的容器，它包括相互緊密耦合的容器廂體1、滑動板3和滑動樣品室2三部分。
首先請參閱圖1所示，其中該容器廂體1的兩長側壁11、12內側上部橫向各有一矩形的凹槽111、121，該容器廂體1的一短側壁13的高度和長側壁11、12上的凹槽111、121的下沿相齊，以防止阻擋后述的滑動板3的滑動到位；該容器廂體1的另一短側壁14的高度低于長側壁11、12上的凹槽111、121的下沿，并可容許后述的滑動板3一短側邊的中間向下延伸一擋塊32的通過；一底板15封蓋住該容器廂體1的下面；該容器廂體1內的底板15的一側開有一矩形的凹坑151。
請再參閱圖2所示，其中所述的滑動樣品室2概似門形，該滑動樣品室2置于容器廂體1內；該滑動樣品室2包括一樣品室主體21和兩個護板22(圖中只畫出一個)；該滑動樣品室2的樣品室主體21兩側的側板213的內側壁上對稱橫向開有多個導槽212，該滑動樣品室2的高度等于容器廂體1內底部到長側壁11、12上的凹槽111、121的下沿的高度，其寬度等于容器廂體1內腔的寬度；該樣品室主體21開口的兩端縱向加工有燕尾塊211；兩護板22為矩形，分別與樣品室主體21的燕尾塊211相對應加工有燕尾槽221，該兩護板22位于樣品室主體21的兩側。
另請參閱圖3所示，為滑動板3的立體圖，該滑動板3為矩形體，其中在滑動板3的兩長側邊分別加工有一導軌31，該導軌31與容器廂體1的兩長側壁11、12內側上的矩形凹槽111、121相配合；該滑動板3的一短側邊的中間向下延伸一擋塊32，該擋塊32與滑動板3的縱向垂直。
其中所述的容器廂體1、滑動樣品室2、滑動板3均是用高純度、高密度、高硬度石墨制成的。
本實用新型的組裝及工作過程為請結合參閱圖4及各附圖所示，該容器廂體1和滑動樣品室2、滑動板3為滑動配合。實際使用時，將滑動板3向右抽出，取出滑動樣品室2，卸下護板22，在樣品室主體21內側的導槽212上插入襯底4，再裝上護板22，然后將樣品室2放入容器廂體1內。將配置好的生長溶液5，放入容器廂體1內的底板一側開的凹坑151一側。當達到生長溫度后，向左推動滑動板3，將容器廂體1內的生長溶液5擠入襯底4之間進行生長。
權利要求1.一種液相外延水平生長晶體薄膜用的容器，其特征在于它包括相互緊密耦合的容器廂體、滑動板和滑動樣品室三部分；其中容器廂體為上面敞口的空心長方體結構；一滑動樣品室，該滑動樣品室包括一樣品室主體和兩個護板，該樣品室主體概似門形，該滑動樣品室置于容器廂體；一滑動板，該滑動板為長方體結構，該滑動板蓋于容器廂體的敞口上。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種液相外延水平生長晶體薄膜用的容器，其特征在于其中該容器廂體的兩長側壁內側上部各有一矩形的凹槽，該容器廂體的一短側壁的高度和長側壁上的凹槽的下沿相齊，另一短側壁的高度低于長側壁的凹槽下沿，一底板封蓋住該容器廂體的下面。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種液相外延水平生長晶體薄膜用的容器，其特征在于其中在樣品室主體的兩側的側板的內側壁上對稱橫向開有多個導槽，該滑動樣品室的高度等于容器廂體內底部到長側壁上的凹槽下沿的高度，其寬度等于容器廂體內腔的寬度；該樣品室主體開口的兩端縱向加工有燕尾塊；兩護板，分別與樣品室主體的燕尾塊相對應加工有燕尾槽，該兩護板位于樣品室主體的兩側。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種液相外延水平生長晶體薄膜用的容器，其特征在于其中該滑動板的兩長側邊分別加工有一導軌，該導軌與容器廂體的兩長側壁內側上的矩形凹槽相配合；該滑動板的一短側邊的中間向下延伸一擋塊，該擋塊與滑動板的縱向垂直。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種液相外延水平生長晶體薄膜用的容器，其特征在于其中所述的容器廂體、滑動樣品室、滑動板均是用高純度、高密度、高硬度石墨制成的。
6.根據(jù)權利要求1或2所述的一種液相外延水平生長晶體薄膜用的容器，其特征在于其中該容器廂體內的底部一側有一凹坑。
專利摘要一種液相外延水平生長晶體薄膜用的容器,它包括相互緊密耦合的容器廂體、滑動板和滑動樣品室三部分;其中容器廂體為上面敞口的空心長方體結構;一滑動樣品室,該滑動樣品室包括一樣品室主體和兩個護板,該樣品室主體概似門形,該滑動樣品室置于容器廂體;一滑動板,該滑動板為長方體結構,該滑動板蓋于容器廂體的敞口上;本實用新型能夠在地面模擬空間生長的液相外延生長容器,用這種容器在地面也能生長出高質量的晶體。
文檔編號C30B19/06GK2397130SQ9924821
公開日2000年9月20日 申請日期1999年10月10日 優(yōu)先權日1999年10月10日
發(fā)明者鐘興儒, 徐自亮, 田金法, 吳金良, 陳諾夫 申請人:中國科學院力學研究所, 中國科學院半導體研究所