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一種納米鑭鍶錳氧/石墨烯復合吸波涂層的制備方法

文檔序號:8465756閱讀:798來源:國知局
一種納米鑭鍶錳氧/石墨烯復合吸波涂層的制備方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明屬于納米功能器件制備領域,具體涉及一種納米鑭鍶錳氧/石墨烯復合吸波涂層的制備方法。
【背景技術】
[0002]石墨稀(Graphene)是一種由碳原子構成的單層片狀結構的新材料。石墨稀是已知的世上最薄、最堅硬的納米材料,導熱系數(shù)高達5300W/m.K,常溫下其電子迀移率超過15000cm2/V.S,而電阻率只約10-6Ω.cm,因此在納米發(fā)電機([I]ROH I J ;SHIN PK, KR2013141901-A)、力電傳感器([2]HURSTA,KURTZAD, US2010140723-A1 ;US8044472_B2)、發(fā)光二極管([3]Tchernycheva, M ;Lavenus, P ;Zhang, H ;Babichev, A V ;Jacopin, G ;Shahmohammadi, M;Julien, F H ;Ciechonski, R ;Vescovi, G ;Kryl1uk, 0, T10.1021/nl5001295, 2456-65)、場發(fā)射冷陰極([4]Chaoxing Wu ;Fushan Li ;Yongai Zhang ;Tailiang Guo, Applied Surface Science, 10.1016/j.apsusc.2013.02.058)、紫外探測器([5]Tran Viet Cuong ;Huynh Ngoc Tien ;Van Hoang Luan ;Viet Hung Pham ;Jin SukChung ;Dae Hwang Yoo ;Sung Hong Hahn ; JournaI Paper.10.1002/pssa.201026553)、太陽會κ 電池([6]Iwan, A(Iwan, Agnieszka) ;Chuchmala, A(Chuchmala, Andrzej), PolymerScience, 2012, 37, 1805-1828)、電致變色膜([7]Zhao, L(Zhao, Lu) ;Zhao, L(Zhao, Liang);Xu, YX(Xu, Yuxi) ;Qiu, TF(Qiu, Ten gfei) ;Zhi, LJ(Zhi, Linjie) ;Shi, GQ(Shi, Gaoquan)
[0003]Electrochemistry, 2009,55,491-497)、生物傳感器([8]Song, YP (SongYingpan) ;Feng, M(Feng Miao) ;Zhan,HB(Zhan Hongbing), Chemistry, 2012,24,1665-1673)等多種納米功能器件上得到成功運用,將成為高速晶體管、高靈敏傳感器、激光器、觸摸屏以及生物醫(yī)藥器材等多種器件的核心材料。
[0004]Lai_xSrxMn03薄膜的制備方法主要有化學方法和物理方法?;瘜W方法主要包括金屬有機物分解法(MOD)、共沉淀法([9] Jiang S P.Journal of PowerSources, 2003,124:390-402.)和溶膠凝膠法(Sol-Gel)([10]Y.Shimakawa, T.Yoshitake, Y.Kubo, T.Machida and K.Shinagawa, A.0kamoto, Y.Nakamura, A.0chi, S.Tachikawa, A.0hnish1.App1.Phys.Lett., 2002,80:4864-4866),而物理方法包括沖激光沉積(Pulse Laser Deposit1n, PLD) ([11]M.Soltania, M.Chaker, X.X.Jiang, D.Nikanpour, J.Margot.J.Vac.Sc1.Technol.A.2006, 24:1518-1523)和磁控派射法(Magnetron-sputtering,MS) ([12]田民波,劉德令.薄膜科學與技術手冊.北京:機械工業(yè)出版社,1991)。
[0005](I)金屬有機物分解法:先將不同的金屬有機物溶入有機溶劑得到所需的前驅體溶液,再用旋轉涂膜法、浸漬法、噴涂法等將其鋪展到基底上,然后烘烤去除有機溶劑,加熱使金屬有機物分解,最后高溫退火使薄膜晶化。
[0006](2)共沉淀法:由硝酸鹽為原料采用共沉淀方法和功能陶瓷粉鍛燒工藝制備La1^xSrxMO3 (M:Co, Mn,Ni)三個系列粒徑分布較均勻的超細粉體。
[0007](3)溶膠凝膠法自燃燒法:以有機物的溶膠-凝膠法為基礎,使用含有高能的有機物作為絡合劑,在形成凝膠后,在一定的溫度下發(fā)生自燃燒法反應,生成所需要的稀土金屬復合氧化物
[0008](4)沖激光沉積:使用超短脈沖激光照射真空腔體內(nèi)待淀積材料的勒材,通過多光子離化過程(Multiphoton 1nizat1n, MPI)將IE材中的電子激發(fā)出來,大量的電子在激光形成的電磁場中做回旋運動,不斷與靶材晶格交換能量形成等離子體輝光,等離子體在基底表面吸附、擴散,在非平衡動力學過程中形成薄膜。這種方法能用于幾乎各種無機材料薄膜的制備,薄膜組分準確,能獲得髙純度的薄膜,防止雜質產(chǎn)生吸收,膜層致密,微缺陷少,薄膜沉積溫度低,甚至可在室溫下沉積。但是無法實現(xiàn)大面積均勻沉積,易產(chǎn)生溶滴,不易沉積較厚薄膜。
[0009](5)磁控濺射法:入射離子如Ar+與靶原子發(fā)生碰撞,位于範材表面的粒子如果通過級聯(lián)碰撞獲得的能量大于其逸出值,這些粒子就會被“濺射”出來。陰極靶背面設置環(huán)行的磁鐵,使陰極靶表面產(chǎn)生一個閉合的環(huán)行磁場,電子受到磁場的約束,其運動路徑長度增加,相應的電離碰撞次數(shù)增加,提高了等離子體的離化率,并減少了較高能量的電子對基底的轟擊,可明顯降低基底的溫度。這種辦法可保持濺射的薄膜組分和靶材的組分的相對一致,薄膜致密度高,附著力強,厚度控制容易,工藝穩(wěn)定性好,能夠實現(xiàn)大面積薄膜的制備。
[0010]鑭鍶錳氧粉末作為吸波材料具有較好的磁損耗效應,而石墨烯作為吸波材料具有良好的介電損耗效應,然而,尚且沒有將二者復合制備吸波材料的方法,并同時制備較厚的金屬石墨稀復合涂層。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]為了有效解決上述問題,本發(fā)明提出并建立一種高效、快速、可控、均勻和大面積制備金屬基納米吸波涂層的新方法。該方法具體步驟如下:
[0012]一種納米鑭鍶錳氧/石墨烯復合吸波涂層的制備方法,所述制備方法包括以下步驟:
[0013](I)以硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸錳及酸為原料,采用溶膠凝膠自燃燒法制備鑭鍶錳氧納米粉末;
[0014](2)添加石墨烯粉末,應用團聚法將步驟(I)中的鑭鍶錳氧納米粉末制備為鑭鍶錳氧/石墨烯復合粉末;<
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