一種下膜機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種下膜機(jī)，特別是涉及一種可將膜片自其內(nèi)、外載框分離并回收的下膜機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體芯片的制造流程中，大致可分為兩段，即前道制程和后道制程。前道制程主要是在襯底上定義出P、N電極，包括光刻和蒸鍍等；而后道流程主要目的是獲得規(guī)格一致的芯粒，包括劃裂、測(cè)試、分選、目檢、打包分類(lèi)入庫(kù)等。
[0003]目前，晶片經(jīng)劃裂后，即形成晶粒，為了方便接下來(lái)的測(cè)試和分選，一片晶片上的成千上萬(wàn)個(gè)晶粒粘附在藍(lán)膜上，進(jìn)而固定于擴(kuò)張環(huán)上進(jìn)行擴(kuò)膜處理，使相鄰晶粒之間的空隙增大，擴(kuò)膜后的晶粒需在測(cè)試機(jī)臺(tái)上進(jìn)行光電性能的測(cè)試以及通過(guò)分選機(jī)臺(tái)根據(jù)其光電性能對(duì)其進(jìn)行不同規(guī)格的分類(lèi)。當(dāng)分選結(jié)束后，由于藍(lán)膜上殘存有少量晶粒，即殘膜，以及擴(kuò)張環(huán)需回收利用，因此，需將擴(kuò)張環(huán)和殘膜分離，即下膜處理。
[0004]車(chē)間常用的下膜處理方法是人工通過(guò)手動(dòng)施力將擴(kuò)張環(huán)的內(nèi)環(huán)、外環(huán)和殘膜分離，進(jìn)而將殘膜進(jìn)行整理、分類(lèi)、打包貼標(biāo)等處理。但是人工操作存在著諸多不足:(I)單張殘膜分離，耗費(fèi)人力；(2)易出工傷事故；(3)分類(lèi)易出錯(cuò)，易損壞擴(kuò)張環(huán)等物料。因此，有必要提供一種提高殘膜分離的自動(dòng)化裝置，提高生產(chǎn)效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型旨在提供一種下膜機(jī)，以實(shí)現(xiàn)將加工組件分離，該加工組件由膜片及其內(nèi)載框和外載框組成，該下膜機(jī)包括一機(jī)架以及安裝于其上的送料機(jī)構(gòu)、下膜機(jī)構(gòu)、收料機(jī)構(gòu)以及載臺(tái)，其特征在于:所述下膜機(jī)構(gòu)包括用以施加壓力分離膜片和內(nèi)外載框的下壓平臺(tái)、控制所述下壓平臺(tái)吸氣和排氣狀態(tài)的氣體控制裝置；所述施壓平臺(tái)下方置有用于置放加工組件并具有開(kāi)口結(jié)構(gòu)的載臺(tái)；所述開(kāi)口結(jié)構(gòu)下方置有回收內(nèi)、外載框和膜片的收料機(jī)構(gòu)。
[0006]優(yōu)選的，所述送料機(jī)構(gòu)包括連接于連接件兩端的驅(qū)動(dòng)裝置和推手，所述驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)調(diào)節(jié)連接件的長(zhǎng)度進(jìn)而移動(dòng)所述推手；所述驅(qū)動(dòng)裝置包括第一驅(qū)動(dòng)裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述連接件包括第一連接件和第二連接件，所述推手包括第一推手和第二推手；所述第一驅(qū)動(dòng)裝置、第一連接件和第一推手組成第一送料機(jī)構(gòu)；所述第二驅(qū)動(dòng)裝置、第二連接件和第二推手組成第二送料機(jī)構(gòu)。
[0007]優(yōu)選的，另一實(shí)施例所述送料機(jī)構(gòu)又為機(jī)械手。
[0008]優(yōu)選的，所述下膜機(jī)還包括第三驅(qū)動(dòng)裝置、第三連接件和氣管，所述下壓平臺(tái)通過(guò)所述第三連接件與所述第三驅(qū)動(dòng)裝置連接，其通過(guò)所述氣管與所述氣體控制裝置連接，所述第三驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)調(diào)節(jié)所述第三連接件的長(zhǎng)度進(jìn)而升降所述下壓平臺(tái)。
[0009]優(yōu)選的，所述下壓平臺(tái)形狀與所述加工組件匹配，為立方形、圓柱形，且其上下表面均具有氣孔，分別為連接所述氣管的第一氣孔和使氣體進(jìn)出的第二氣孔；所述第一氣孔數(shù)目為1，所述第二氣孔處于所述下壓平臺(tái)下表面中心位置，其數(shù)目為多個(gè)。
[0010]優(yōu)選的，所述第一連接件、第二連接件、第三連接件均為伸縮桿；所述第一驅(qū)動(dòng)裝置、第二驅(qū)動(dòng)裝置、第三驅(qū)動(dòng)裝置均為電機(jī)；所述第一推手和第二推手形狀均可為方形、弧形，所述第二推手高度小于等于所述加工組件的高度。
[0011]優(yōu)選的，所述收料機(jī)構(gòu)包括上端開(kāi)口的內(nèi)載框收料治具和外載框收料治具；所述內(nèi)載框收料治具中心位置設(shè)置有放置膜片并可使內(nèi)載框穿過(guò)的膜片支柱。
[0012]優(yōu)選的，所述開(kāi)口結(jié)構(gòu)包括允許內(nèi)載框和膜片通過(guò)而外載框無(wú)法通過(guò)第一開(kāi)口和至少允許外載框通過(guò)第二開(kāi)口 ；所述第一開(kāi)口與所述下壓平臺(tái)、所述內(nèi)載框收料治具處于同一軸心線(xiàn)上，所述第二開(kāi)口與所述外載框處于同一軸心線(xiàn)上。
[0013]應(yīng)用本實(shí)用新型提供的下膜機(jī)，可通過(guò)下壓方式均勻施力將夾在內(nèi)外載框之間的膜片分離，從而減少了由于人工操作用力不均勻?qū)е碌膶?duì)內(nèi)外載框的損害；同時(shí)采用機(jī)器作業(yè)，提高了下膜效率，減少了人力消耗。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型之實(shí)施例1的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖2為本實(shí)用新型之實(shí)施例1的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖3為本實(shí)用新型之實(shí)施例1的部分立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖4為本實(shí)用新型之實(shí)施例2的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]附圖標(biāo)示:1 (11,12):載臺(tái)；121:第一開(kāi)口 ；122:第二開(kāi)口 ；13:擋板；14:支柱；2:送料機(jī)構(gòu)；21:第一送料機(jī)構(gòu)；211:第一驅(qū)動(dòng)裝置；212:連接件；213:第一推手；22:第二送料機(jī)構(gòu)；221:第二驅(qū)動(dòng)裝置；222:第二連接件；223:第二推手；3:下膜機(jī)構(gòu)；31:第三驅(qū)動(dòng)裝置；32:第三連接件；33:下壓平臺(tái)；331:第一氣孔；332:第二氣孔；34:氣體控制裝置；35:氣管；4:收料機(jī)構(gòu)；41:內(nèi)載框收料治具；411:膜片支柱；42:外載框收料治具;51、52、53、54:加工組件柱；511 (512,513):加工組件；5111:膜片；5112:內(nèi)載框；5113(5133):外載框；6:機(jī)械手。
【具體實(shí)施方式】
[0019]現(xiàn)在結(jié)合附圖和優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意圖方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本機(jī)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例，基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。需要說(shuō)明的是，文中的表示方位的詞“上” “下” “左” “右”僅用于詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)施例，不限定本實(shí)用新型的內(nèi)容。
[0020]在半導(dǎo)體制程中，不同規(guī)格的晶粒需經(jīng)測(cè)試機(jī)和分選機(jī)進(jìn)行測(cè)試、分選，在測(cè)試、分選過(guò)程中均需將帶有晶粒的藍(lán)膜通過(guò)擴(kuò)張環(huán)的內(nèi)環(huán)和外環(huán)固定，其中藍(lán)膜夾在內(nèi)外環(huán)之間，而經(jīng)分選后，需將組合的內(nèi)環(huán)、外環(huán)和藍(lán)膜分離分別進(jìn)行利用。本實(shí)用新型中，為了方便說(shuō)明，將夾有藍(lán)膜的擴(kuò)張環(huán)合稱(chēng)為加工組件，內(nèi)環(huán)即內(nèi)載框，外環(huán)即外載框，藍(lán)膜即膜片。
[0021]實(shí)施例1
[0022]請(qǐng)參看圖1至圖3，本實(shí)用新型實(shí)施例1中提供了一種下膜機(jī)，該下膜機(jī)具有機(jī)架、機(jī)架上安裝有載臺(tái)1、送料機(jī)構(gòu)2、下膜機(jī)構(gòu)3以及收料機(jī)構(gòu)4。載臺(tái)I包括相互垂直交叉的載臺(tái)11和載臺(tái)12，載臺(tái)12上開(kāi)設(shè)有第一開(kāi)口 121和第二開(kāi)口 122 ;送料機(jī)構(gòu)2包括送料機(jī)構(gòu)21和送料機(jī)構(gòu)22，收料機(jī)構(gòu)4包括內(nèi)載框收料治具41和外載框收料治具42，送料機(jī)構(gòu)21和22分別固定在載臺(tái)11和12的一端部，下膜機(jī)構(gòu)3位于第一開(kāi)口 121的上方，內(nèi)載框收料治具41位于第一開(kāi)口 121下方，外載框收料治具42位于第二開(kāi)口 122下方。
[0023]其中，送料機(jī)構(gòu)21包括第一驅(qū)動(dòng)裝置211、第一連接件212和第一推手213，第一驅(qū)動(dòng)裝置211和第一推手213連接于第一連接件212的兩端，第一驅(qū)動(dòng)裝置211通過(guò)調(diào)節(jié)第一連接件212的長(zhǎng)度進(jìn)而移動(dòng)第一推手213。送料機(jī)構(gòu)22包括第二驅(qū)動(dòng)裝置221、第二連接件222和第二推手223，與送料機(jī)構(gòu)21相同，第二驅(qū)動(dòng)裝置221和第二推手223也連接于第二連接件222的兩端，并且第二驅(qū)動(dòng)裝置221通過(guò)調(diào)節(jié)第二連接件222的長(zhǎng)度進(jìn)而移動(dòng)第二推手223。下膜機(jī)構(gòu)3包括第三驅(qū)動(dòng)裝置31、第三連接件32、下壓平臺(tái)33、氣體控制裝置34以及氣管35 ;第三驅(qū)動(dòng)裝置31和下壓平臺(tái)33連接于第三連接件32的兩端，并且第三驅(qū)動(dòng)裝置31通過(guò)調(diào)節(jié)第三連接件32的長(zhǎng)度進(jìn)而升降下壓平臺(tái)33 ;氣體控制裝置34通過(guò)氣管35與下壓平臺(tái)33連接，進(jìn)而控制其吸氣和排氣狀態(tài)，為了達(dá)到上述目的，本實(shí)施例中將下壓平臺(tái)33設(shè)計(jì)為中空結(jié)構(gòu)，其形狀與加工組件匹配，可為立方形或圓柱形，本實(shí)施例優(yōu)選圓柱形，且在其上表面開(kāi)設(shè)一個(gè)與氣管35連接的第一氣孔331，在且下表面中心位置開(kāi)設(shè)多個(gè)第二氣孔，使空氣進(jìn)出下壓平臺(tái)33。內(nèi)載框收料治具41和外載框收料治具42上端開(kāi)口，該開(kāi)口大小可根據(jù)加工組件的大小設(shè)定，該收料機(jī)構(gòu)4可為收料桶或收料盒或收料柜，側(cè)邊可設(shè)置開(kāi)關(guān)門(mén)，便于拿取分離后的膜片和擴(kuò)張環(huán)，其位置還可移動(dòng)，為了方便和節(jié)省空間，本實(shí)施例優(yōu)選與加工組件形狀匹