一種高壓硅堆的專用分割裝置的制造方法
【專利說明】
[0001]【技術領域】
本發(fā)明涉及高壓硅堆分割設備技術領域，尤其是涉及一種高壓硅堆的專用分割裝置。
[0002]【【背景技術】】
公知的，現(xiàn)有的高壓硅堆分割有以下幾種方法:
第一、機械劃片分割，這是比較原始的硅片分割方法，最大分割厚度1.2_，在分割單片硅片時效果還行，但是成品率在85%左右，對于較厚的高壓硅堆圓片來說就不太容易分割，就是分割好的硅堆，邊緣非常不規(guī)則，容易磕碰出崩邊，且影響后續(xù)的封裝，成品率也只有65-70%;第二、外圓刀片切割，雖然切割的厚度可以達到2cm，但是效率比較低，而且刀縫損失(2-3_)比較大，每片圓形高壓硅堆有效利用面積減少了約30%，成品率比劃片機略高可達到85%左右；第三、激光切割，效率有所提高，但是切割過程中激光的高溫對高壓硅堆邊緣的兩端的P或N面容易造成燒結坑，而且對硅堆燒結過程中的金屬層造成熔化并在硅堆邊緣形成短路，使硅堆耐壓不夠或被漏電擊穿，因此極大的影響了企業(yè)的生產(chǎn)。
[0003]【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
為了克服【背景技術】中的不足，本發(fā)明公開了一種高壓硅堆的專用分割裝置，本發(fā)明通過在第二工裝上設置定位銷和第一工裝，在第一工裝上設置擋塊、緩沖板、載體板和保護板，再通過將硅堆圓片固定于保護板和載體板之間，以此來達到高效切割硅堆圓片的目的。
[0004]為了實現(xiàn)所述發(fā)明目的，本發(fā)明采用如下技術方案:
一種高壓硅堆的專用分割裝置，包括第一工裝、第二工裝、定位銷、擋塊、緩沖板、載體板和保護板，在第二工裝上部面上設有定位銷和第一工裝，第二工裝上設有兩個定位銷，所述第一工裝的中部設有防跌螺絲孔，防跌螺絲孔的四周設有緊固螺絲孔，第一工裝通過螺絲插入防跌螺絲孔和緊固螺絲孔使第一工裝和第二工裝相連接，第一工裝的側面設有擋塊，擋塊置于第二工裝的兩個定位銷之間，在第一工裝的上部面上設有緩沖板，緩沖板上設有載體板，載體板上設有保護板。
[0005]所述緩沖板為樹脂材料制作而成。
[0006]所述第一工裝為圓柱型結構，防跌螺絲孔設置在圓柱的中心部，沿著防跌螺絲孔四周等距設有至少三個緊固螺絲孔。
[0007]所述定位銷為圓柱型結構，定位銷設置在第一工裝的外側面上，定位銷與第二工裝固定相連接。
[0008]由于采用了上述技術方案，本發(fā)明具有如下有益效果:
本發(fā)明所述的一種高壓硅堆的專用分割裝置，包括第一工裝、第二工裝、定位銷、擋塊、緩沖板、載體板和保護板，通過在第二工裝上設置定位銷和第一工裝，在第一工裝上設置擋塊、緩沖板、載體板和保護板，再通過將硅堆圓片固定于保護板和載體板之間，以此來達到高效切割硅堆圓片的目的；本發(fā)明實用性強，分割精度高，不但大幅度節(jié)約了硅料，而且成品率非常的高，因此極大的提高了工作效率，促進了企業(yè)的發(fā)展。
[0009]【【附圖說明】】
圖1為本發(fā)明的立體結構示意圖； 圖中:1、保護板；2、硅堆圓片；3、載體板；4、緩沖板；5、第一工裝；6、第二工裝；7、定位銷；8、防跌螺絲孔；9、緊固螺絲孔；10、擋塊。
[0010]【【具體實施方式】】
通過下面的實施例可以詳細的解釋本發(fā)明，公開本發(fā)明的目的旨在保護本發(fā)明范圍內(nèi)的一切技術改進。
[0011]結合附圖1所述的一種硅棒晶向調(diào)節(jié)裝置，包括第一工裝5、第二工裝6、定位銷7、擋塊10、緩沖板4、載體板3和保護板1，在第二工裝6上部面上設有定位銷7和第一工裝5，第二工裝6上設有兩個定位銷7，所述第一工裝5的中部設有防跌螺絲孔8，防跌螺絲孔8的四周設有緊固螺絲孔9，第一工裝5通過螺絲插入防跌螺絲孔8和緊固螺絲孔9使第一工裝5和第二工裝6相連接，第一工裝5的側面設有擋塊10，擋塊10置于第二工裝6的兩個定位銷7之間，在第一工裝5的上部面上設有緩沖板4，緩沖板4上設有載體板3，載體板3上設有保護板I ;所述緩沖板4為樹脂材料制作而成；所述第一工裝5為圓柱型結構，防跌螺絲孔8設置在圓柱的中心部，沿著防跌螺絲孔8四周等距設有至少三個緊固螺絲孔9 ;所述定位銷7為圓柱型結構，定位銷7設置在第一工裝5的外側面上，定位銷7與第二工裝6固定相連接。
[0012]實施本發(fā)明所述的一種硅棒晶向調(diào)節(jié)裝置，在使用時，先在保護板I和載體板3直接放上硅堆圓片2，然后通過膠將保護板1、硅堆圓片2、載體板3、緩沖板4和第一工裝5粘合在一起組成加工件，然后再將加工件放在第二工裝6上，并通過螺絲將加工件固定在第二工裝6上，然后就可以把第二工裝6與多線切割機的燕尾托固定在一起并安裝到多線切割機上了，按照高壓硅堆的尺寸要求，安裝好多線切割機的主輥及合適尺寸的樹脂金剛線就可以對高壓硅堆進行切割了，切割完之后拆下加工件，然后使加工件旋轉(zhuǎn)90°再用螺絲固定在第二工裝6上再進行一次切割就可以了，最后取下第二工裝6，將第二工裝6放入超聲波中清洗15到40分鐘，再放到脫膠液中進行脫膠，脫膠后進行脫膠清洗就可以轉(zhuǎn)入下一道工序了。
[0013]本發(fā)明未詳述部分為現(xiàn)有技術。
【主權項】
1.一種高壓硅堆的專用分割裝置，包括第一工裝、第二工裝、定位銷、擋塊、緩沖板、載體板和保護板，其特征是:在第二工裝上部面上設有定位銷和第一工裝，第二工裝上設有兩個定位銷，所述第一工裝的中部設有防跌螺絲孔，防跌螺絲孔的四周設有緊固螺絲孔，第一工裝通過螺絲插入防跌螺絲孔和緊固螺絲孔使第一工裝和第二工裝相連接，第一工裝的側面設有擋塊，擋塊置于第二工裝的兩個定位銷之間，在第一工裝的上部面上設有緩沖板，緩沖板上設有載體板，載體板上設有保護板。2.根據(jù)權利要求1所述的一種高壓硅堆的專用分割裝置，其特征是:所述緩沖板為樹脂材料制作而成。3.根據(jù)權利要求1所述的一種高壓硅堆的專用分割裝置，其特征是:所述第一工裝為圓柱型結構，防跌螺絲孔設置在圓柱的中心部，沿著防跌螺絲孔四周等距設有至少三個緊固螺絲孔。4.根據(jù)權利要求1所述的一種高壓硅堆的專用分割裝置，其特征是:所述定位銷為圓柱型結構，定位銷設置在第一工裝的外側面上，定位銷與第二工裝固定相連接。
【專利摘要】一種高壓硅堆的專用分割裝置，涉及高壓硅堆分割設備技術領域，由第一工裝、第二工裝、定位銷、擋塊、緩沖板、載體板和保護板構成，在第二工裝上部面上設有定位銷和第一工裝，第二工裝上設有兩個定位銷，所述第一工裝的中部設有防跌螺絲孔，防跌螺絲孔的四周設有緊固螺絲孔，第一工裝通過螺絲插入防跌螺絲孔和緊固螺絲孔使第一工裝和第二工裝相連接，第一工裝的側面設有擋塊，擋塊置于第二工裝的兩個定位銷之間，在第一工裝的上部面上設有緩沖板，緩沖板上設有載體板，載體板上設有保護板；本發(fā)明實用性強，分割精度高，不但大幅度節(jié)約了硅料，而且成品率非常的高，因此極大的提高了工作效率，促進了企業(yè)的發(fā)展。
【IPC分類】H01L21/67, B28D7/04, B28D5/04
【公開號】CN104985708
【申請?zhí)枴緾N201510281196
【發(fā)明人】馬明濤, 裴保齊, 邵斌
【申請人】洛陽鴻泰半導體有限公司
【公開日】2015年10月21日
【申請日】2015年5月28日