一種干燥裝置及干燥方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及干燥領(lǐng)域，特別是涉及一種干燥裝置及干燥方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在較為精細(xì)的生產(chǎn)中，一般需要去除產(chǎn)品上的異物以提高良率，而在使用水完成清洗操作后，需要對(duì)殘余的水進(jìn)行干燥。例如在液晶面板的生產(chǎn)制造中，清洗機(jī)中采用去離子水對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗，清洗完成后，需要對(duì)玻璃基板做干燥處理，以去除玻璃基板上的水滴，避免玻璃基板上殘留的水滴影響到液晶面板的良率。
[0003]而現(xiàn)有技術(shù)中的干燥處理是利用干燥空氣去除玻璃基板上的大量水滴，該方法采用風(fēng)刀干燥，有機(jī)械結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)營(yíng)成本低，去除大量水滴效果好等優(yōu)點(diǎn)，然而對(duì)于微粒水滴或水霧的干燥效果較差。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明提供一種干燥裝置及干燥方法以解決現(xiàn)有技術(shù)中待干燥物上微粒水滴或水霧難以干燥去除的問(wèn)題。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種干燥裝置，包括干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)、紅外照射機(jī)構(gòu)、熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)以及傳送機(jī)構(gòu)，傳送機(jī)構(gòu)將待干燥物依次傳送至干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)、紅外照射機(jī)構(gòu)以及熱空氣噴淋機(jī)構(gòu);干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出干燥空氣，紅外照射機(jī)構(gòu)向待干燥物進(jìn)行紅外照射，熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出加熱后的干燥空氣。
[0006]其中，干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)設(shè)置有第一狹縫噴嘴，干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)通過(guò)第一狹縫噴嘴向待干燥物吹出干燥空氣。
[0007]其中，熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)設(shè)置有加熱器以及第二狹縫噴嘴，加熱器用于對(duì)干燥空氣進(jìn)行加熱，熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)通過(guò)第二狹縫噴嘴將加熱后的干燥空氣吹向待干燥物。
[0008]其中，干燥裝置進(jìn)一步包括風(fēng)刀機(jī)構(gòu)，設(shè)置于干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)前，風(fēng)刀機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出干燥空氣后，干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)再向待干燥物吹出干燥空氣。
[0009]其中，風(fēng)刀機(jī)構(gòu)包括多組風(fēng)刀。
[0010]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明還提供一種干燥方法，包括步驟:向待干燥物吹出干燥空氣；對(duì)經(jīng)干燥空氣干燥后的待干燥物進(jìn)行紅外照射；向經(jīng)紅外照射后的待干燥物吹出加熱后的干燥空氣。
[0011]其中，向待干燥物吹出干燥空氣的步驟包括:通過(guò)第一狹縫噴嘴向待干燥物吹出干燥空氣。
[0012]其中，向經(jīng)紅外照射后的待干燥物吹出加熱后的干燥空氣的步驟包括:通過(guò)第二狹縫噴嘴向經(jīng)紅外照射后的待干燥物吹出加熱后的干燥空氣。
[0013]其中，向待干燥物吹出干燥空氣的步驟之前進(jìn)一步包括步驟:使用風(fēng)刀機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出干燥空氣。
[0014]其中，使用風(fēng)刀機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出干燥空氣的步驟包括:使用風(fēng)刀機(jī)構(gòu)的多組風(fēng)刀向待干燥物吹出干燥空氣。
[0015]本發(fā)明的有益效果是，區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明干燥裝置包括干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)、紅外照射機(jī)構(gòu)、熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)以及傳送機(jī)構(gòu)，傳送機(jī)構(gòu)將待干燥物依次傳送至干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)、紅外照射機(jī)構(gòu)以及熱空氣噴淋機(jī)構(gòu);干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出干燥空氣，將待干燥物上的水膜分散成微粒水滴;紅外照射機(jī)構(gòu)向待干燥物進(jìn)行紅外照射，紅外熱量能夠去除待干燥物上的微粒水滴;熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出加熱后的干燥空氣，加熱后的干燥空氣進(jìn)一步將待干燥物上的剩余水滴去除，三個(gè)機(jī)構(gòu)依次對(duì)待干燥物上的水滴進(jìn)行去除操作，能夠最大程度的去除待干燥物上的微粒水滴或水霧。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是本發(fā)明干燥裝置一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2是本發(fā)明干燥方法一實(shí)施方式的流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]參閱圖1，圖1是本發(fā)明干燥裝置一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖，本實(shí)施方式干燥裝置100，包括干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11、紅外照射機(jī)構(gòu)12、熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)13以及傳送機(jī)構(gòu)14。
[0019]干燥裝置100用于對(duì)待干燥物200進(jìn)行干燥，在本實(shí)施方式中，待干燥物200為玻璃基板，但本發(fā)明的干燥裝置不僅僅用于對(duì)玻璃基板進(jìn)行干燥，還可用于對(duì)其他基板或其他產(chǎn)品的干燥。
[0020]本實(shí)施方式干燥裝置100中的傳送機(jī)構(gòu)14將待干燥物200依次傳送至干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11、紅外照射機(jī)構(gòu)12以及熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)13。
[0021]傳送裝置14可以為轉(zhuǎn)動(dòng)的傳送帶，其他三個(gè)機(jī)構(gòu)沿著傳送帶設(shè)置，待干燥物200放置于傳送帶上，相對(duì)傳送帶靜止，即可實(shí)現(xiàn)將待干燥物200自動(dòng)地傳送至其他三個(gè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行干燥處理。
[0022]首先待干燥物200被傳送至干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11的下方，干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11向其吹出干燥空氣，具體來(lái)說(shuō)，干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11中設(shè)置有第一狹縫噴嘴111，干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11通過(guò)第一狹縫噴嘴111向待干燥物200吹出干燥空氣，基于氣體射流沖擊干燥技術(shù)，通過(guò)第一狹縫噴嘴111吹出的干燥空氣具有較高的速度，并且流體的流程短，直接沖擊到待干燥物200的表面，實(shí)現(xiàn)干燥。干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11的吹出的干燥空氣能夠使待干燥物200表面的殘留水膜分散成微粒水滴，以在后續(xù)干燥處理中，更易將其去除。
[0023]調(diào)節(jié)傳送帶的轉(zhuǎn)速，即可調(diào)節(jié)待干燥物200在干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11處進(jìn)行干燥處理的時(shí)間。為了讓待干燥物200得到足夠的干燥處理，可使干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11等機(jī)構(gòu)所對(duì)應(yīng)干燥區(qū)域的尺寸遠(yuǎn)大于待干燥物的尺寸，此時(shí)傳送帶上沿著干燥物的傳送方向可間隔放置多個(gè)待干燥物200，即依次同時(shí)對(duì)多個(gè)待干燥物200進(jìn)行干燥處理。
[0024]當(dāng)待干燥物200被傳送至紅外照射機(jī)構(gòu)12的下方時(shí)，紅外照射機(jī)構(gòu)12向待干燥物200進(jìn)行紅外照射，紅外照射主要是熱作用，能夠使水分子迅速的擴(kuò)散蒸發(fā)。
[0025]最后待干燥物200被傳送至熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)13的下方時(shí)，熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)13向待干燥物200吹出加熱后的干燥空氣。具體來(lái)說(shuō)，熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)13設(shè)置有第二狹縫噴嘴131以及加熱器132，加熱器132用于對(duì)干燥空氣進(jìn)行加熱，熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)13通過(guò)第二狹縫噴嘴131將加熱后的干燥空氣吹向待干燥物200，進(jìn)一步的將待干燥物200表面的水滴去除。
[0026]干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11與熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)13先后實(shí)現(xiàn)兩個(gè)干燥處理，在邏輯上為兩個(gè)不同的機(jī)構(gòu)。本實(shí)施方式中，物理結(jié)構(gòu)上兩者為同一機(jī)構(gòu)的兩部分，該機(jī)構(gòu)一端為第一狹縫噴嘴111，另一端為加熱器132和第二狹縫噴嘴131，兩端之間由一空氣腔15連接，且設(shè)置有紅外照射機(jī)構(gòu)12，即紅外線燈等。當(dāng)然以上僅為本實(shí)施方式的一種設(shè)置方式，其他實(shí)施方式中，結(jié)構(gòu)上干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11與熱空氣噴淋