半導(dǎo)體制程設(shè)備的o形環(huán)的安裝方法及導(dǎo)片、滾輪與治具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制程設(shè)備的O形環(huán)的安裝方法及安裝使用的導(dǎo)片、滾輪與治具，尤指一種通過導(dǎo)片輔助O形環(huán)確實(shí)且均勻安裝于半導(dǎo)體制程設(shè)備上，以防止半導(dǎo)體制程設(shè)備因為O形環(huán)安裝不確實(shí)造成壽命減短以及漏氣衍生的污染情形發(fā)生，有效降低因O形環(huán)安裝不平順可能造成的產(chǎn)能損失，進(jìn)而提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的合格率。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體制程設(shè)備如圖18及圖19所示，其包括一腔室100，腔室100中設(shè)有一晶座110、一流體供應(yīng)單元120、一承載元件130以及一延伸覆蓋元件140，該承載元件130上方進(jìn)一步載置有晶圓150，再通過制程氣體170進(jìn)行蝕刻制程。當(dāng)蝕刻制程進(jìn)行時，流體供應(yīng)單元120提供一流體121，并且該流體121穿越晶座110以及承載元件130所設(shè)置的通道進(jìn)而對晶圓150下方充氣，使晶圓150浮于承載元件130之上進(jìn)行沖擊蝕刻；但由于晶座110與承載元件130的交界面處會有微小細(xì)縫的產(chǎn)生，導(dǎo)致部分流體121會從此細(xì)縫泄漏至晶座110與承載元件130間的溝槽160中，進(jìn)而泄漏至延伸覆蓋元件140與晶座110、承載元件130間的通道內(nèi)，對半導(dǎo)體制程設(shè)備產(chǎn)生損害，甚至有環(huán)境污染的疑慮。
[0003]針對上述問題，如圖20所示，現(xiàn)有技術(shù)已包括以一O形環(huán)180套設(shè)于晶座110以及承載元件130間的溝槽160中，使O形環(huán)180遮蔽該微小細(xì)縫，有效阻擋流體121的泄漏及制程氣體170對溝槽160的侵蝕。但由于所述半導(dǎo)體制程設(shè)備的晶座110、承載元件130、溝槽160等元件實(shí)際上尺寸很小，故要將O形環(huán)180均勻并且平順地套設(shè)進(jìn)入溝槽160中并不容易，若是安裝不確實(shí)導(dǎo)致O形環(huán)180部分凸出于溝槽160外，會阻礙設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)；且因為O形環(huán)180設(shè)置的目的主要為阻擋流體121的泄漏，且長久下來O形環(huán)180也會逐漸被制程氣體170蝕刻而變薄、破損，所以若無法確實(shí)并且均勻地將O形環(huán)180套設(shè)進(jìn)入溝槽160中，將無法預(yù)期O形環(huán)180何時可能會有破損的情形發(fā)生，并及時在其破損前更換新的O形環(huán)180以防止流體121的泄漏及制程氣體170對溝槽160的侵蝕。故現(xiàn)有技術(shù)在半導(dǎo)體制程上仍存在有許多因為流體121的泄漏及制程氣體170對溝槽160的侵蝕所造成的設(shè)備損壞、環(huán)境污染、以及產(chǎn)品合格率不一的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種能夠確實(shí)地將O形環(huán)均勻并且平順地安裝進(jìn)入半導(dǎo)體制程設(shè)備的溝槽中的半導(dǎo)體制程設(shè)備的O形環(huán)的安裝方法及導(dǎo)片、滾輪與治具，借此保障O形環(huán)不會凸出溝槽影響設(shè)備的運(yùn)作，也不會在預(yù)定的有效壽命期間內(nèi)發(fā)生破損，導(dǎo)致流體泄漏，使蝕刻制程更加穩(wěn)定、安全。
[0005]為達(dá)到上述的發(fā)明目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)手段為提供一種半導(dǎo)體制程設(shè)備的O形環(huán)的安裝方法，其中該半導(dǎo)體制程設(shè)備包括有一晶座本體與一承載元件，該晶座本體具有一晶座頂面，該承載元件設(shè)于晶座頂面上，承載元件包括一承載頂部與一環(huán)側(cè)部，并于環(huán)側(cè)部上設(shè)有一溝槽，所述溝槽形成于承載頂部與晶座頂面之間，而所述半導(dǎo)體制程設(shè)備的O形環(huán)的安裝方法包括以下步驟:
[0006]初步套設(shè):將O形環(huán)初步套設(shè)于晶座本體的外緣靠近晶座頂面處；
[0007]定位:以一具有與O形環(huán)相對應(yīng)的凹槽的導(dǎo)片，將O形環(huán)卡合于凹槽內(nèi)，并將O形環(huán)移動至溝槽的外側(cè)，使O形環(huán)與溝槽相對位；
[0008]半壓:以一半壓治具按壓該O形環(huán)，使O形環(huán)朝向溝槽的方向移動，并且使O形環(huán)部分地填滿所述溝槽；以及
[0009]全壓:以一全壓滾輪按壓以及輾壓該O形環(huán)，使O形環(huán)進(jìn)一步朝向溝槽的方向移動，直到O形環(huán)完全填滿所述溝槽。
[0010]較佳的是，所述半壓治具以分次且單點(diǎn)的按壓方式沿O形環(huán)的周緣逐步按壓該O形環(huán)，而其按壓的順序為:先將O形環(huán)的周緣等分為多個圓弧區(qū)域，其中每一個圓弧區(qū)域分別具有兩端點(diǎn)、一中點(diǎn)以及兩中繼點(diǎn)，所述兩端點(diǎn)分別為第一端點(diǎn)及第二端點(diǎn)，所述兩中繼點(diǎn)分別為第一中繼點(diǎn)及第二中繼點(diǎn)，其中該中點(diǎn)設(shè)于第一端點(diǎn)與第二端點(diǎn)中間，而該第二端點(diǎn)與中點(diǎn)中間為該第一中繼點(diǎn)，第一端點(diǎn)與中點(diǎn)中間為該第二中繼點(diǎn)；該半壓治具首先對第一端點(diǎn)進(jìn)行按壓，接著對第二端點(diǎn)進(jìn)行按壓，再對中點(diǎn)進(jìn)行按壓，接著對第一中繼點(diǎn)進(jìn)行按壓，最后對第二中繼點(diǎn)進(jìn)行按壓，以完成一個圓弧區(qū)域的半壓步驟；其余圓弧區(qū)域以相同的按壓順序進(jìn)行半壓步驟，直到所有圓弧區(qū)域均完成半壓步驟為止。此技術(shù)手段是簡單利用將O形環(huán)周緣等分為多個圓弧區(qū)域，并依序?qū)Ω鲌A弧區(qū)域進(jìn)行規(guī)律性地按壓，使O形環(huán)通過半壓治具的按壓后不會有凸出于溝槽外影響設(shè)備運(yùn)作的情形發(fā)生，也使被半壓進(jìn)入溝槽中的O形環(huán)更為均勻、平順。
[0011]更佳的是，所述全壓滾輪以分次單點(diǎn)按壓搭配分次輾壓的方式沿O形環(huán)的周緣逐步按壓并且輾壓該O形環(huán)，其順序為:先將O形環(huán)的周緣等分為多個圓弧區(qū)域，其中每一個圓弧區(qū)域分別具有兩端部點(diǎn)、一中間點(diǎn)以及兩輾壓段，所述兩端部點(diǎn)分別為第一端部點(diǎn)及第二端部點(diǎn)，所述兩輾壓段分別為第一輾壓段及第二輾壓段，其中該中間點(diǎn)設(shè)于第一端部點(diǎn)與第二端部點(diǎn)中間，而該第一端部點(diǎn)與中間點(diǎn)之間為該第一輾壓段，第二端部點(diǎn)與中間點(diǎn)之間為該第二輾壓段；該全壓滾輪首先對第一端部點(diǎn)進(jìn)行按壓，接著對中間點(diǎn)進(jìn)行按壓，再沿中間點(diǎn)朝向第一端部點(diǎn)的方向?qū)Φ谝惠殙憾芜M(jìn)行輾壓，接著對第二端部點(diǎn)進(jìn)行按壓，最后沿第二端部點(diǎn)朝向中間點(diǎn)的方向?qū)Φ诙殙憾芜M(jìn)行輾壓，以完成一個圓弧區(qū)域的全壓步驟；其余圓弧區(qū)域以相同的按壓以及輾壓順序進(jìn)行全壓步驟，直到所有圓弧區(qū)域均完成全壓步驟為止。此技術(shù)手段是利用將O形環(huán)周緣等分為多個圓弧區(qū)域，并且對各個圓弧區(qū)域依序進(jìn)行規(guī)律性地按壓、輾壓，使O形環(huán)通過全壓滾輪的按壓、輾壓后均勻地填滿溝槽，O形環(huán)上每一點(diǎn)阻擋流體泄漏的功效以及使用壽命相同，有利于準(zhǔn)確預(yù)估O形環(huán)的有效壽命，并且可以及時在O形環(huán)發(fā)生破損前將其更換。
[0012]最佳的是，所述O形環(huán)的截面為一矩形，并且該矩形具有一徑向?qū)挾纫约耙淮怪焙穸?，其中該徑向?qū)挾扰c垂直厚度的比值大于1/2，且所述O形環(huán)朝向溝槽的一側(cè)具有兩個邊角，兩個所述邊角為兩倒角。此技術(shù)手段是利用O形環(huán)朝向溝槽的兩個邊角為倒角設(shè)計，使徑向?qū)挾扰c垂直厚度的比值大于1/2的O形環(huán)更容易均勻地套設(shè)進(jìn)入溝槽中，協(xié)助達(dá)到確實(shí)地將O形環(huán)均勻且平順地安裝進(jìn)入半導(dǎo)體制程設(shè)備的溝槽中的目的。
[0013]另前述本發(fā)明的O形環(huán)的安裝方法所使用的導(dǎo)片為一片狀彎曲結(jié)構(gòu)，其具有一本體部與一彎曲部，該本體部與彎曲部相連結(jié)，并且該本體部與彎曲部呈一夾角設(shè)置，該彎曲部朝向遠(yuǎn)離本體部的一側(cè)設(shè)有一與O形環(huán)相對應(yīng)的凹槽。此技術(shù)手段是利用于一片狀彎曲導(dǎo)片上形成一與O形環(huán)相對應(yīng)的凹槽，使O形環(huán)可以卡合于凹槽中，并且隨導(dǎo)片移動至準(zhǔn)備套設(shè)進(jìn)入溝槽中的預(yù)備位置，增加O形環(huán)與溝槽對位的準(zhǔn)確性，同時借此提升后續(xù)O形環(huán)套設(shè)進(jìn)入溝槽中的均勻性。
[0014]前述本發(fā)明的O形環(huán)的安裝方法所使用的半壓治具，其為兩相對應(yīng)的半圓弧形結(jié)構(gòu)，所述半圓弧形結(jié)構(gòu)的內(nèi)緣與O形環(huán)周緣相對應(yīng)，并且于半圓弧形結(jié)構(gòu)的兩個尾端分別朝向遠(yuǎn)離半圓弧形結(jié)構(gòu)的內(nèi)緣方向凸伸出一凸塊，所述凸塊上進(jìn)一步設(shè)有一迫緊裝置。此技術(shù)手段是利用該迫緊裝置使兩相對應(yīng)的半圓弧形結(jié)構(gòu)的凸塊通過該迫緊裝置的鎖緊而靠近，進(jìn)而使兩相對應(yīng)的半圓弧形結(jié)構(gòu)向內(nèi)壓迫該O形環(huán)，使O形環(huán)朝向溝槽方向移動，并且部分填滿所述溝槽，以達(dá)到平均施力于O形環(huán)并且半壓O形環(huán)的功效。
[0015]較佳的是，所述凸塊上分別穿設(shè)有一固定孔，該迫緊裝置為相對應(yīng)的一螺絲與一螺帽，該螺絲與螺帽分別設(shè)于兩相對設(shè)置的半圓弧形結(jié)構(gòu)的兩凸塊的兩側(cè)，該螺絲穿設(shè)通過所述固定孔與該螺帽相螺合固定。此技術(shù)手段是利用螺絲與螺帽組合形成迫緊裝置，并通過螺絲穿設(shè)通過凸塊上的固定孔，使設(shè)于兩相鄰的凸塊兩側(cè)的螺絲與螺帽相互螺合鎖緊時，兩相對應(yīng)的半圓弧形結(jié)構(gòu)相向靠近，借此對O形環(huán)進(jìn)行半壓動作。
[0016]前述本發(fā)明的O形環(huán)的安裝方法所使用的全壓滾輪，其為一具弧形輾壓面的輪體。此技術(shù)手段是利用該全壓滾輪的輪體來回滾動并且碾壓于O形環(huán)上，使O形環(huán)受到輪體的推擠壓力而逐漸安裝進(jìn)入溝槽中。
[0017]較佳的是，其中該全壓滾輪的弧形輪體的周緣凹設(shè)有至少兩缺槽，所述至少兩缺槽由全壓滾輪的周緣朝向全壓滾輪的軸心方向向內(nèi)凹設(shè)，并且于兩缺槽的間形成有限的弧形輾壓面區(qū)域。此技術(shù)手段是利用于全壓滾輪周緣形成缺槽，讓進(jìn)行全壓步驟的操作人員因為所述缺槽的設(shè)置無法單以全壓滾輪在O形環(huán)表面朝單一方向連續(xù)滾動而將O形環(huán)不平均地安裝進(jìn)入溝槽中，借此有效避免操作人員因偷懶而省略分段逐步按壓與輾壓的步驟，使O形環(huán)可以更加確實(shí)、平均地通過全壓滾輪安裝進(jìn)入溝槽中。
[0018]更佳的是，其中該全壓滾輪的輪體的軸心處進(jìn)一步穿設(shè)有一穿孔。此技術(shù)手段除了可以有效減輕全壓滾輪的重量外，也可以利用于全壓滾輪的軸心處穿設(shè)一穿孔，讓使用者通過將手指扣于該穿孔，可于輾壓過程中穩(wěn)固全壓滾輪以避免全壓滾輪滑脫，因此而達(dá)到操作方便的目的。
[0019]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于簡單利用具有與O形環(huán)相對應(yīng)的凹槽的導(dǎo)片、半壓治具以及全壓滾輪輔助O形環(huán)逐步地套設(shè)進(jìn)入溝槽中，使O形環(huán)不會因為不均勻的人工按壓而凸出于溝槽外，影響設(shè)備的運(yùn)作，也不會因為人為的疏忽而在溝槽內(nèi)翻轉(zhuǎn)，導(dǎo)致溝槽被不均勻的填滿，降低O形環(huán)阻擋流體泄漏的效果及有效壽命，使O形環(huán)不會在預(yù)定