與濃度之間的關(guān)系的數(shù)據(jù)可以事先獲得并且可以存儲在存儲器中?？商娲兀看我x擇模具時，可以根據(jù)由測量設(shè)備15測量的可凝結(jié)氣體的濃度的測量結(jié)果來計算收縮量。根據(jù)第一實施例的計算方法也可以用在收縮量的計算中。
[0063]考慮收縮量，控制器7選擇具有如下圖案尺寸的模具:該圖案尺寸使得在壓印處理中形成在樹脂上的圖案的尺寸最接近于目標(biāo)圖案的尺寸。
[0064]所選擇的模具由模具運輸系統(tǒng)(未例示)從模具存儲器41運輸至模具保持單元3，并且用模具卡盤9固定住。
[0065]控制器7通過使用基板運輸裝置(未例示)使基板10被放置并固定在基板臺4上，然后使基板臺4移動到涂覆單元5執(zhí)行涂覆操作的位置。之后，作為涂覆過程，涂覆單元5將樹月旨(未固化樹脂)12涂覆于基板10上的預(yù)定投射區(qū)(壓印區(qū)域)。然后，控制器7使基板臺4移動到預(yù)定位置，使得基板10上的投射區(qū)位于模具8的正下方。在控制器7執(zhí)行模具8與基板10上的投射區(qū)的對齊、由倍率校正機構(gòu)(未示出)對模具8執(zhí)行的倍率校正等之后，控制器7驅(qū)動模具驅(qū)動機構(gòu)以使基板8被壓向基板10上的樹脂12(按壓過程)。該按壓過程使樹脂12被填充在形成于模具8上的圖案的凹部中。在這種狀態(tài)下，作為固化過程，照明系統(tǒng)2從模具8的背面(頂面)發(fā)射紫外射線，使得穿過模具8的紫外射線使樹脂固化。在樹脂12固化之后，控制器7再次驅(qū)動模具驅(qū)動機構(gòu)以使模具8從基板10中釋放(釋放過程)。因為可凝結(jié)氣體從樹脂12中解吸，所以樹脂圖案收縮。模具具有考慮收縮而確定的尺寸的圖案。因此，與目標(biāo)圖案相同或者基本上相同的三維圖案被形成在基板10上的投射區(qū)的表面上。
[0066]如上所述，根據(jù)本實施例，考慮通過凝結(jié)液體從樹脂中的解吸而收縮的樹脂圖案的收縮量來選擇模具。所選擇的模具的使用使得目標(biāo)圖案能夠以高準(zhǔn)確度形成在樹脂上。
[0067](第三實施例)
[0068]通過使用根據(jù)上述第一實施例的用于確定圖案的方法而創(chuàng)建的模具圖案按照要輸入到模具制造裝置(描繪裝置)中的數(shù)據(jù)的格式而經(jīng)受數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換，并且所得到的數(shù)據(jù)被輸入到模具制造裝置。模具制造裝置基于所輸入的數(shù)據(jù)來在模具雛形(mold blank)上描繪圖案，并且執(zhí)行蝕刻等，以制造模具。
[0069]所制造的模具被運輸?shù)綁河⊙b置，并且如上所述在壓印裝置中執(zhí)行使用模具的壓印處理，并且在基板上形成圖案。
[0070][制造產(chǎn)品的方法]
[0071]用于制造設(shè)備(諸如半導(dǎo)體集成電路設(shè)備或者液晶顯示器設(shè)備)的方法包括通過使用上述壓印裝置來在基板(晶圓、玻璃板、薄膜基板)上形成圖案的過程。設(shè)備制造方法可以進(jìn)一步包括對其上形成有圖案的基板進(jìn)行蝕刻的過程。用于制造諸如圖案化的介質(zhì)(記錄介質(zhì))或光學(xué)設(shè)備之類的另一種產(chǎn)品的方法可以包括對其上形成有圖案的基板進(jìn)行處理的另一過程，而非蝕刻。與相關(guān)技術(shù)的方法相比較，就產(chǎn)品的性能、質(zhì)量、生產(chǎn)率和生產(chǎn)成本中的至少一個而言，根據(jù)本實施例的產(chǎn)品制造方法具有優(yōu)點。
[0072]如上所述，描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施例。本發(fā)明并不限于這些實施例，并且可以在本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變化和修改。
【主權(quán)項】
1.一種通過使用計算機來確定模具的圖案的確定方法，所述模具的圖案被用在通過執(zhí)行以下步驟來在壓印材料上形成圖案的壓印處理中:在包含將會因壓縮而液化的可凝結(jié)氣體的氣氛中將基板上的壓印材料壓向模具的圖案、固化壓印材料、以及從壓印材料中釋放模具， 所述方法包括以下步驟: 計算壓印材料上的圖案的收縮量，所述壓印材料上的圖案由于凝結(jié)液體在按壓步驟完成之后從壓印材料中解吸而收縮，所述凝結(jié)液體是通過在按壓步驟中在壓印材料與模具的圖案之間的可凝結(jié)氣體的液化而產(chǎn)生的并且溶解在壓印材料中；以及通過使用所計算的收縮量來確定模具的圖案的尺寸。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的確定方法， 其中，在計算步驟中，通過使用溶解在壓印材料中的凝結(jié)液體的濃度以及濃度與收縮量之間的關(guān)系來計算收縮量。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的確定方法， 其中，在計算步驟中，根據(jù)氣氛中的可凝結(jié)氣體的濃度來獲得凝結(jié)液體的濃度。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的確定方法， 其中，在計算步驟中，通過使用氣氛中的可凝結(jié)氣體的濃度分布來獲得在壓印材料上形成的圖案區(qū)域中的凝結(jié)液體的濃度分布，并且 其中，通過使用凝結(jié)液體的濃度分布來計算收縮量。5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的確定方法， 在計算步驟中， 其中，通過使用在按壓步驟中被限制在壓印材料與模具的圖案之間的可凝結(jié)氣體的量來獲得在壓印材料上形成的圖案區(qū)域中的凝結(jié)液體的濃度分布，并且其中，通過使用凝結(jié)液體的濃度分布來計算收縮量。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任何一個所述的確定方法， 其中，在計算步驟中，針對尺寸相互不同的多個圖案成分中的每個圖案成分計算收縮量。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任何一個所述的確定方法， 其中，在確定步驟中，通過使用因在固化壓印材料的步驟中壓印材料的固化而產(chǎn)生的收縮量來確定模具的圖案的尺寸。8.—種程序，用于使計算機執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求1至7中任何一個所述的確定方法。9.一種計算機，執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求1至7中任何一個所述的確定方法。10.—種用于制造模具的模具制造方法，該方法包括以下步驟: 通過使用根據(jù)權(quán)利要求1至7中任何一個所述的確定方法，來確定模具的圖案的尺寸；以及 以使得圖案的尺寸與所確定的尺寸相匹配的方式處理模具上的圖案。11.一種通過執(zhí)行以下步驟來在壓印材料上形成目標(biāo)圖案的壓印方法: 通過使用利用根據(jù)權(quán)利要求10所述的模具制造方法而制造的模具， 在包含將會因壓縮而液化的可凝結(jié)氣體的氣氛中，將基板上的壓印材料壓向模具的圖案； 固化壓印材料；以及 從壓印材料中釋放模具。12.—種壓印裝置，該壓印裝置通過在包含將會因壓縮而液化的可凝結(jié)氣體的氣氛中將基板上的壓印材料壓向模具的圖案并且然后從壓印材料中釋放模具，來在壓印材料上形成圖案，該裝置包括: 通過使用根據(jù)權(quán)利要求10所述的模具制造方法制造的模具；以及 將可凝結(jié)氣體供應(yīng)到所述氣氛的供應(yīng)單元。13.—種壓印裝置，該壓印裝置通過在包含將會因壓縮而液化的可凝結(jié)氣體的氣氛中將基板上的壓印材料壓向模具的圖案并且然后從壓印材料中釋放模具，來在壓印材料上形成圖案，該裝置包括: 測量單元，所述測量單元測量所述氣氛中的可凝結(jié)氣體的濃度； 多個模具，所述多個模具的圖案尺寸相互不同；以及 選擇單元，所述選擇單元通過使用由測量單元獲得的測量結(jié)果，來從多個模具中選擇要使用的模具， 其中，由選擇單元選擇的模具被用于在壓印材料上形成圖案。14.一種用于制造產(chǎn)品的方法，該方法包括以下步驟: 通過使用根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的壓印裝置來在基板上形成圖案；以及 通過對其上形成有圖案的基板進(jìn)行處理來制造產(chǎn)品。
【專利摘要】在本發(fā)明中，在包含壓縮氣體的氣氛中執(zhí)行的壓印處理中，圖案以比現(xiàn)有技術(shù)高的準(zhǔn)確度形成在基板上。提供有一種用于使用計算機來確定模具的圖案的確定方法，這種模具被用在通過執(zhí)行以下步驟而在壓印材料上形成圖案的壓印處理中：在包含通過壓縮而液化的壓縮氣體的氣氛中，將基板上的壓印材料和模具的圖案壓在一起的步驟；固化壓印材料的步驟；以及使壓印材料和模具分離的步驟。在按壓步驟中，作為壓印材料和模具之間的壓縮氣體液化的結(jié)果并且已滲入壓印材料中的凝結(jié)液體在按壓步驟完成之后與壓印材料分離，并且引起壓印材料的圖案的收縮；計算該收縮的量；并且使用收縮量來確定模具圖案的尺寸。
【IPC分類】H01L21/027
【公開號】CN105706214
【申請?zhí)枴?br>【發(fā)明人】田邊正幸, 吉田節(jié)男, 酒井啟太, 中野一志
【申請人】佳能株式會社
【公開日】2016年6月22日
【申請日】2013年11月6日