一種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]超純水是一種將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎全部去除的化學(xué)純度極高的水，電阻率大于18 ΜΩ ^cm或接近18.3ΜΩ.cm極限值，其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域，尤其被廣泛用于集成電路工業(yè)中半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和作為硅片氧化用的水汽源等，此外，其他固態(tài)電子器件、印刷電路、真空管、厚膜和薄膜電路等的制作也都要使用超純水。在電子工業(yè)中，集成電路的集成度越高，線寬越窄，對(duì)水質(zhì)的要求也越高。隨著半導(dǎo)體、集成電路的發(fā)展，電路線寬已小于I ym，由此對(duì)生產(chǎn)過程中所使用的純水水質(zhì)要求更加嚴(yán)格，超純水的電阻率需要達(dá)到18.2ΜΩ.cm。
[0003]面對(duì)如此嚴(yán)格的水質(zhì)要求，人們通常致力于提升純水制造工藝，容易忽略另一重要因素:純水輸送系統(tǒng)。該系統(tǒng)如設(shè)計(jì)不當(dāng)，就會(huì)造成使用點(diǎn)處的純水水質(zhì)大大降低。為了最大限度地降低管道對(duì)所輸送的純水的污染，就需要控制管道在輸送過程中所釋放的金屬離子、非金屬離子、微粒、有機(jī)碳及細(xì)菌滋生數(shù)，一般采用PVDF、CPVC、ABS以及日本的潔凈型PVC (CLEAN-PVC)等管路。然而，不管選擇何種材質(zhì)的管道，包括最好的PVDF管，在輸送過程中都會(huì)溶解釋放出或多或少的雜質(zhì)，并且，純水輸送管道越長，溶解在水中的雜質(zhì)會(huì)越來越多，通常純水經(jīng)過每一百米輸送管道，電阻率就會(huì)衰減0.1~0.2 ΜΩ.cm。另外，因管道內(nèi)壁不光滑及接頭、閥門等原因造成細(xì)菌滯留繁殖以及其他顆粒的聚積，也會(huì)使水中微粒增加，導(dǎo)致高純水被污染。
[0004]目前，很多工廠的純水系統(tǒng)都包括中央純水制取系統(tǒng)和純水輸送分配系統(tǒng)，由中央純水制造系統(tǒng)制出合格的純水，經(jīng)輸送和分配系統(tǒng)抵達(dá)用戶使用點(diǎn)。如果中央純水制取系統(tǒng)出水水質(zhì)達(dá)到超純水標(biāo)準(zhǔn)18.2 ΜΩ._，經(jīng)過幾百米甚至幾千米管道輸送后，使用點(diǎn)水質(zhì)就只有17 ΜΩ.cm左右，這樣就遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到使用點(diǎn)水質(zhì)要求了。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的在于:針對(duì)上述問題，提供一種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置，使得純水在流出使用點(diǎn)之前能再次得到凈化處理，確保用戶要求的水質(zhì)。
[0006]為了達(dá)到以上目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0007]—種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置，包括中央純水制取系統(tǒng)、純水輸送管道、使用點(diǎn)分配系統(tǒng)，純水輸送管道包括純水給水管和純水回水管；其特征在于:所述中央純水制取系統(tǒng)與使用點(diǎn)分配系統(tǒng)之間至少串接一級(jí)水質(zhì)提升裝置，該水質(zhì)提升裝置的進(jìn)水口與純水給水管的出水口連接，其出水口與使用點(diǎn)分配系統(tǒng)連接。
[0008]優(yōu)選地，所述水質(zhì)提升裝置包括拋光混床、UV殺菌機(jī)、終端過濾器，三者沿水流方向依次串接。
[0009]優(yōu)選地，中央純水制取系統(tǒng)包括純水制取設(shè)備、純水水箱、純水送水栗、一級(jí)拋光混床，四者沿水流方向依次串接；使用點(diǎn)分配系統(tǒng)包括若干使用點(diǎn)；中央純水制取系統(tǒng)的出水口與水質(zhì)提升裝置進(jìn)水口之間被純水給水管連通，使用點(diǎn)分配系統(tǒng)的出水口與中央純水制取系統(tǒng)之間被純水回水管連通。
[0010]優(yōu)選地，所述水質(zhì)提升裝置分為兩級(jí)，二者并列連接或沿水流方向依次串接。
[0011]優(yōu)選地，所述水質(zhì)提升裝置設(shè)于使用點(diǎn)分配系統(tǒng)進(jìn)水口之前管道距離一百米以內(nèi)。
[0012]優(yōu)選地，所述終端過濾器為0.2 μ m或0.5 μ m精密過濾器。
[0013]優(yōu)選地，所述中央純水制取系統(tǒng)由純水制取設(shè)備、純水水箱、純水送水栗、一級(jí)拋光混床構(gòu)成，四者沿水流方向依次串接；所述純水輸送管道包括純水給水管和純水回水管；所述中央純水制取系統(tǒng)與使用點(diǎn)分配系統(tǒng)之間串接一級(jí)水質(zhì)提升裝置，該裝置的進(jìn)水口與純水給水管的出水口連接，其出水口與使用點(diǎn)分配系統(tǒng)連接，該裝置設(shè)于使用點(diǎn)分配系統(tǒng)進(jìn)水口之前管道距離一百米處，由拋光混床、UV殺菌機(jī)、0.2 μπι精密過濾器構(gòu)成，三者沿水流方向依次串接；純水給水管的進(jìn)水口連接中央純水制取系統(tǒng)，其出水口連接水質(zhì)提升裝置；純水回水管的進(jìn)水口連接使用點(diǎn)分配系統(tǒng)，其出水口與中央純水制取系統(tǒng)連接。
[0014]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:通過在純水使用點(diǎn)分配系統(tǒng)之前設(shè)置一級(jí)或多級(jí)水質(zhì)提升裝置，與中央純水制取系統(tǒng)共同形成分段多級(jí)凈水模式，可以解決因超純水管道傳輸距離太長導(dǎo)致水體電阻率衰減，使用點(diǎn)水質(zhì)下降的問題。并且，這些終端設(shè)備所占的位置相當(dāng)小，一般3~4平方米左右，只需要把終端凈水裝置放置在使用點(diǎn)附近，不需要額外增加設(shè)備就能保證使用點(diǎn)水質(zhì)穩(wěn)定。
【附圖說明】
[0015]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中:
[0016]圖1為本實(shí)用新型一種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置的實(shí)施例一結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例二結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例三結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]為了更好地理解本實(shí)用新型，以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的一種【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0020]實(shí)施例一
[0021]如圖1所示，本實(shí)用新型包括中央純水制取系統(tǒng)、純水輸送管道、一級(jí)水質(zhì)提升裝置、使用點(diǎn)分配系統(tǒng)，其中，中央純水制取系統(tǒng)包括純水制取設(shè)備、純水水箱、純水送水栗、一級(jí)拋光混床，四者沿水流方向依次串接，純水輸送管道包括純水給水管和純水回水管。使用點(diǎn)分配系統(tǒng)包括若干使用點(diǎn)。純水給水管連通中央純水制取系統(tǒng)和水質(zhì)提升裝置，純水回水管連通使用點(diǎn)分配系統(tǒng)和中央純水制取系統(tǒng)。水質(zhì)提升裝置設(shè)于使用點(diǎn)分配系統(tǒng)進(jìn)水口之前管道距離一百米處，由拋光混床、UV殺菌機(jī)和終端過濾器三者沿水流方向依次串聯(lián)而成。終端過濾器為0.2 μ m過濾器。
[0022]純水由純水制取設(shè)備制出，導(dǎo)入純水水箱內(nèi)，經(jīng)純水送水栗栗入一級(jí)拋光床進(jìn)行離子交換凈化，凈化后的出水水質(zhì)可達(dá)18 ΜΩ -Cm0純水經(jīng)純水給水管輸送后，電阻率出現(xiàn)衰減，之后流入水質(zhì)提升裝置。純水從拋光混床進(jìn)入，進(jìn)行第二次凈化，再進(jìn)入紫外線殺菌機(jī)和終端過濾器進(jìn)行殺菌和過濾，最終水質(zhì)可達(dá)到18.2 ΜΩ.cm。然后再分配到各個(gè)使用點(diǎn)，確保用戶要求的水質(zhì)。未經(jīng)使用的純水沿純水回水管流回純水水箱內(nèi)。
[0023]實(shí)施例二
[0024]如圖2所示，本實(shí)用新型包括一級(jí)水質(zhì)提升裝置和二級(jí)水質(zhì)提升裝置，二者并列連接于中央純水制取系統(tǒng)與使用點(diǎn)分配系統(tǒng)之間。純水給水管連通中央純水制取系統(tǒng)和兩級(jí)水質(zhì)提升裝置。兩級(jí)水質(zhì)提升裝置均設(shè)于使用點(diǎn)分配系統(tǒng)進(jìn)水口之前管道距離一百米處，均由拋光混床、UV殺菌機(jī)和終端過濾器三者沿水流方向依次串聯(lián)而成。本實(shí)施例其余部分構(gòu)造同實(shí)施例一。兩級(jí)并列連接的水質(zhì)提升裝置能提高凈水效率，確保使用點(diǎn)的水質(zhì)和用水量。
[0025]實(shí)施例三
[0026]如圖3所示，本實(shí)用新型包括一級(jí)水質(zhì)提升裝置和二級(jí)水質(zhì)提升裝置，二者串聯(lián)于中央純水制取系統(tǒng)與使用點(diǎn)分配系統(tǒng)之間。純水給水管連通中央純水制取系統(tǒng)和兩級(jí)水質(zhì)提升裝置。一級(jí)水質(zhì)提升裝置設(shè)于使用點(diǎn)分配系統(tǒng)進(jìn)水口之前管道距離一百米處，二級(jí)水質(zhì)提升裝置設(shè)于使用點(diǎn)分配系統(tǒng)進(jìn)水口之前管道距離五十米處。兩級(jí)水質(zhì)提升裝置均由拋光混床、UV殺菌機(jī)和終端過濾器三者沿水流方向依次串接而成。本實(shí)施例其余部分構(gòu)造同實(shí)施例一。兩級(jí)串接的水質(zhì)提升裝置能提高凈水效率，確保使用點(diǎn)的水質(zhì)和用水量。
[0027]除上述實(shí)施例外，本實(shí)用新型還可以有其他實(shí)施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置，包括中央純水制取系統(tǒng)、純水輸送管道、使用點(diǎn)分配系統(tǒng)，純水輸送管道包括純水給水管和純水回水管；其特征在于:所述中央純水制取系統(tǒng)與使用點(diǎn)分配系統(tǒng)之間至少串接一級(jí)水質(zhì)提升裝置，該水質(zhì)提升裝置的進(jìn)水口與純水給水管的出水口連接，其出水口與使用點(diǎn)分配系統(tǒng)連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置，其特征在于:所述水質(zhì)提升裝置包括拋光混床、UV殺菌機(jī)、終端過濾器，三者沿水流方向依次串接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置，其特征在于:中央純水制取系統(tǒng)包括純水制取設(shè)備、純水水箱、純水送水栗、一級(jí)拋光混床，四者沿水流方向依次串接；使用點(diǎn)分配系統(tǒng)包括若干使用點(diǎn)；中央純水制取系統(tǒng)的出水口與水質(zhì)提升裝置進(jìn)水口之間被純水給水管連通，使用點(diǎn)分配系統(tǒng)的出水口與中央純水制取系統(tǒng)之間被純水回水管連通。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置，其特征在于:所述水質(zhì)提升裝置分為兩級(jí)，二者并列連接或沿水流方向依次串接。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置，其特征在于:所述水質(zhì)提升裝置設(shè)于使用點(diǎn)分配系統(tǒng)進(jìn)水口之前管道距離一百米以內(nèi)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置，其特征在于:所述終端過濾器為0.2μηι或0.5μηι精密過濾器。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置，其特征在于:所述中央純水制取系統(tǒng)由純水制取設(shè)備、純水水箱、純水送水栗、一級(jí)拋光混床構(gòu)成，四者沿水流方向依次串接；所述純水輸送管道包括純水給水管和純水回水管；所述中央純水制取系統(tǒng)與使用點(diǎn)分配系統(tǒng)之間串接一級(jí)水質(zhì)提升裝置，該裝置的進(jìn)水口與純水給水管的出水口連接，其出水口與使用點(diǎn)分配系統(tǒng)連接，該裝置設(shè)于使用點(diǎn)分配系統(tǒng)進(jìn)水口之前管道距離一百米處，由拋光混床、UV殺菌機(jī)、0.2 μπι精密過濾器構(gòu)成，三者沿水流方向依次串接；純水給水管的進(jìn)水口連接中央純水制取系統(tǒng)，其出水口連接水質(zhì)提升裝置；純水回水管的進(jìn)水口連接使用點(diǎn)分配系統(tǒng)，其出水口與中央純水制取系統(tǒng)連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種超純水系統(tǒng)終端水質(zhì)提升裝置，包括中央純水制取系統(tǒng)、純水輸送管道、使用點(diǎn)分配系統(tǒng)，純水輸送管道包括純水給水管和純水回水管；所述中央純水制取系統(tǒng)與使用點(diǎn)分配系統(tǒng)之間至少串接一級(jí)水質(zhì)提升裝置，該水質(zhì)提升裝置的進(jìn)水口與純水給水管的出水口連接，其出水口與使用點(diǎn)分配系統(tǒng)連接。所述水質(zhì)提升裝置包括拋光混床、UV殺菌機(jī)、終端過濾器，三者沿水流方向依次串接。通過在純水使用點(diǎn)分配系統(tǒng)之前設(shè)置一級(jí)或多級(jí)水質(zhì)提升裝置，與中央純水制取系統(tǒng)共同形成分段多級(jí)凈水模式，可以解決因超純水管道傳輸距離太長導(dǎo)致水體電阻率衰減，使用點(diǎn)水質(zhì)下降的問題。
【IPC分類】C02F9/08
【公開號(hào)】CN204752439
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520419735
【發(fā)明人】蔣建偉
【申請(qǐng)人】南京奧特凈化工程有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請(qǐng)日】2015年6月17日