一種用于晶圓目檢的顯微鏡的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于晶圓目檢的顯微
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【背景技術(shù)】
[0002]晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。加工好的晶圓需要使用顯微鏡做外觀檢驗(yàn)。顯微鏡檢驗(yàn)晶圓前，為防止晶圓放入顯微鏡載物臺(tái)時(shí)，顯微鏡物鏡鏡頭刮傷晶圓，要求顯微鏡載物臺(tái)必須降到最低點(diǎn)，顯微鏡的物鏡的倍率調(diào)為最低50x，后將載物臺(tái)移至最右端，將晶圓放入載物臺(tái)，重新將載物臺(tái)移入物鏡下，調(diào)整顯微鏡的倍數(shù)，焦距，方可開(kāi)始檢驗(yàn)動(dòng)作。但是這種操作，動(dòng)作要求過(guò)多，作業(yè)人員容易忘記將載物臺(tái)降到最低點(diǎn)，或物鏡倍數(shù)未調(diào)整，晶圓傾斜放入載物臺(tái)，晶面會(huì)與物鏡碰觸，對(duì)晶面造成刮傷甚至破片。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，提供一種用于晶圓目檢的顯微鏡，通過(guò)在顯微鏡的載物臺(tái)上安裝有可拆卸的帶有平行卡槽的不銹鋼底座，含有框架的晶圓從載物臺(tái)右端平行插入底座上的卡槽中，不僅可以有效預(yù)防物鏡對(duì)晶圓造成刮傷，而且晶圓放入動(dòng)作符合人體工學(xué)原理，操作簡(jiǎn)單、方便易行。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:
[0005]—種用于晶圓目檢的顯微鏡，包括目鏡、物鏡、載物臺(tái)，所述目鏡與物鏡通過(guò)筒體連接，所述筒體通過(guò)支架與載物臺(tái)相連接，所述載物臺(tái)上安裝有底座，所述底座為可拆卸底座，所述底座的兩邊帶有平行卡槽，有含有框架的晶圓從載物臺(tái)右端平行插入底座上的卡槽中。
[0006]進(jìn)一步地，所述底座為不銹鋼板底座。
[0007]進(jìn)一步地，所述底座粘貼在載物臺(tái)上。
[0008]進(jìn)一步地，所述載物臺(tái)上安裝有粗調(diào)臺(tái)。
[0009]進(jìn)一步地，所述粗調(diào)臺(tái)上安裝有粗調(diào)桿。
[0010]進(jìn)一步地，所述載物臺(tái)上安裝有微調(diào)臺(tái)。
[0011 ] 進(jìn)一步地，所述微調(diào)臺(tái)上安裝有微調(diào)桿。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果:一種用于晶圓目檢的顯微鏡，通過(guò)在顯微鏡的載物臺(tái)上安裝有可拆卸的帶有平行卡槽的不銹鋼底座，含有框架的晶圓從載物臺(tái)右端平行插入底座上的卡槽中，不僅可以有效預(yù)防物鏡對(duì)晶圓造成刮傷，而且晶圓放入動(dòng)作符合人體工學(xué)原理，操作簡(jiǎn)單、方便易行。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型用于目檢的顯微鏡結(jié)構(gòu)圖；
[0014]相關(guān)元件符號(hào)說(shuō)明:
[0015]1、目鏡；2、物鏡；3、底座；4、微調(diào)臺(tái)；5、粗調(diào)臺(tái)；6、粗調(diào)桿；7、微調(diào)桿；8、筒體；9、支架；10、載物臺(tái)。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0017]具體實(shí)施時(shí)，結(jié)合圖1，一種用于晶圓目檢的顯微鏡，包括目鏡1、物鏡2、底座3、筒體8、支架9、載物臺(tái)10。目鏡I與物鏡2通過(guò)筒體8連接，筒體8通過(guò)支架9與載物臺(tái)10相連接。載物臺(tái)10上安裝有底座3，底座3為可拆卸底座，底座的兩邊帶有平行卡槽，有含有框架的晶圓從載物臺(tái)右端平行插入底座上的卡槽中。
[0018]底座3可以為不銹鋼板底座。底座可以粘貼在載物臺(tái)上。
[0019]為了便于載物臺(tái)的位置調(diào)節(jié)，載物臺(tái)上安裝有微調(diào)臺(tái)4和粗調(diào)臺(tái)5。為了便于手動(dòng)操作微調(diào)臺(tái)和粗調(diào)臺(tái)，在粗調(diào)臺(tái)5上安裝有粗調(diào)桿6，在微調(diào)臺(tái)4上安裝有微調(diào)桿7。
[0020]晶圓檢測(cè)時(shí)，將帶有框架的晶圓從載物臺(tái)右端平行插入底座上的卡槽中，即可保證晶圓在放入載物臺(tái)時(shí)不會(huì)與顯微鏡的物鏡發(fā)生撞擊，對(duì)晶圓造成刮傷，而且晶圓放入動(dòng)作符合人體工學(xué)原理，操作簡(jiǎn)單、方便易行。
[0021]上面所述的實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行描述，并非對(duì)本實(shí)用新型的構(gòu)思和范圍進(jìn)行限定。在不脫離本實(shí)用新型設(shè)計(jì)構(gòu)思的前提下，本領(lǐng)域普通人員對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做出的各種變型和改進(jìn)，均應(yīng)落入到本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于晶圓目檢的顯微鏡，包括目鏡、物鏡、載物臺(tái)，所述目鏡與物鏡通過(guò)筒體連接，所述筒體通過(guò)支架與載物臺(tái)相連接，其特征在于:所述載物臺(tái)上安裝有底座，所述底座為可拆卸底座，所述底座的兩邊帶有平行卡槽，有含有框架的晶圓從載物臺(tái)右端平行插入底座上的卡槽中。2.按照權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓目檢的顯微鏡，其特征在于:所述底座為不銹鋼板底座。3.按照權(quán)利要求2所述的一種用于晶圓目檢的顯微鏡，其特征在于:所述底座粘貼在載物臺(tái)上。4.按照權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓目檢的顯微鏡，其特征在于:所述載物臺(tái)上安裝有粗調(diào)臺(tái)。5.按照權(quán)利要求4所述的一種用于晶圓目檢的顯微鏡，其特征在于:所述粗調(diào)臺(tái)上安裝有粗調(diào)桿。6.按照權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓目檢的顯微鏡，其特征在于:所述載物臺(tái)上安裝有微調(diào)臺(tái)。7.按照權(quán)利要求6所述的一種用于晶圓目檢的顯微鏡，其特征在于:所述微調(diào)臺(tái)上安裝有微調(diào)桿。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于晶圓目檢的顯微鏡，涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括目鏡、物鏡、載物臺(tái)，所述目鏡與物鏡通過(guò)筒體連接，所述筒體通過(guò)支架與載物臺(tái)相連接，所述載物臺(tái)上安裝有底座，所述底座為可拆卸底座，所述底座的兩邊帶有平行卡槽，有含有框架的晶圓從載物臺(tái)右端平行插入底座上的卡槽中。本實(shí)用新型用于晶圓目檢的顯微鏡，通過(guò)在顯微鏡的載物臺(tái)上安裝有可拆卸的帶有平行卡槽的不銹鋼底座，含有框架的晶圓從載物臺(tái)右端平行插入底座上的卡槽中，不僅可以有效預(yù)防物鏡對(duì)晶圓造成刮傷，而且晶圓放入動(dòng)作符合人體工學(xué)原理，操作簡(jiǎn)單、方便易行。
【IPC分類】G02B21/34, G02B21/26, G02B21/24
【公開(kāi)號(hào)】CN205176374
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520828876
【發(fā)明人】沈順金
【申請(qǐng)人】安徽超元半導(dǎo)體有限公司
【公開(kāi)日】2016年4月20日
【申請(qǐng)日】2015年10月22日