一種石墨舟的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽能電池制造領(lǐng)域，具體是一種用于等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)中管式爐腔內(nèi)的石墨舟。
【背景技術(shù)】
[0002]石墨舟是一種在等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD)管式爐內(nèi)，對經(jīng)過制絨及擴(kuò)散等工藝處理后的多晶或單晶硅片的表面采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積工藝進(jìn)行氮化硅薄膜沉積的承載工具。石墨舟是由石墨舟片、導(dǎo)電塊、陶瓷桿、石墨桿、陶瓷管、石墨螺母等組成。石墨舟片間的間距大小，直接影響舟片間電場的分布，舟片間電場的分布，直接影響到硅片上氮化硅的沉積速率，沉積速率的差異會形成色差。
[0003]在目前硅片加工工藝中，主要采用鋼線和砂漿組合變成的線鋸進(jìn)行切割，由于線切割的技術(shù)局限，導(dǎo)致切割出來的硅片或多或少存在厚薄不均現(xiàn)象。傳統(tǒng)石墨舟，所用陶瓷管尺寸統(tǒng)一，舟片上、下間距一致，理論上硅片的沉積速率一致。在鍍膜過程中，厚薄不均的硅片貼合在間距一致的石墨舟片上，硅片之間的間距沒有形成互補(bǔ)，在實(shí)際鍍膜過程中，硅片間距差異大，導(dǎo)致電場強(qiáng)度存在差異，氮化硅的沉積速率不一致，形成色差。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種用于等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)中管式爐腔內(nèi)的石墨舟，其上部陶瓷管長度小，下部陶瓷管長度大，石墨舟片間的間距處于上小下大的格局，彌補(bǔ)了硅片厚薄不均的缺陷，使硅片鍍膜時(shí)沉積速率一致，減少單邊發(fā)紅造成的色差，提高鍍膜的均勻性。
[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:
[0006]—種石墨舟，包括多個(gè)交錯分布的石墨舟片，多個(gè)交錯分布的石墨舟片通過多個(gè)石墨桿串接后且每個(gè)石墨桿的兩端通過石墨螺母緊固，串接在石墨舟片頂端的石墨桿上且位于石墨舟片間套裝有上部陶瓷管，串接在石墨舟片底端的石墨桿上且位于石墨舟片間套裝有下部陶瓷管，串接在石墨舟片兩端部的石墨桿上且位于石墨舟片間套裝有導(dǎo)電塊;其中，上部陶瓷管的長度為10.7—10.9mm，下部陶瓷管的長度為10.9—11.1mm。
[0007]所述的上部陶瓷管的長度為10.8mm，所述的下部陶瓷管的長度為11.0mm。
[0008]所述的上部陶瓷管和下部陶瓷管的壁厚均為3.5-3.9mm。
[0009]所述的上部陶瓷管和下部陶瓷管的壁厚均為3.7mm。
[0010]所述的導(dǎo)電塊包括有兩排平行設(shè)置的導(dǎo)電塊組，兩排導(dǎo)電塊組分別包括有上部導(dǎo)電塊和下部導(dǎo)電塊，其中，上部導(dǎo)電塊與石墨舟片貼合的兩側(cè)面為斜面，斜面與豎直面的夾角為1-2°。
[0011]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn):
[0012]本實(shí)用新型的上部陶瓷管長度小于下部陶瓷管，石墨舟片間的間距處于上小下大的格局，且上、下部陶瓷管長度差值控制在0.2mm左右，能滿足對硅片的補(bǔ)償要求，在硅片插入石墨舟內(nèi)時(shí)，將硅片按厚薄方向統(tǒng)一放置，彌補(bǔ)了硅片厚薄不均的缺陷，使硅片鍍膜時(shí)沉積速率一致，減少單邊發(fā)紅造成的色差，提高鍍膜的均勻性;本實(shí)用新型的上部導(dǎo)電塊與石墨舟片貼合的側(cè)面為斜面，保證了上部導(dǎo)電塊與石墨舟片緊密貼合，保證舟片不會扭曲變形。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]見圖1，一種石墨舟，包括多個(gè)交錯分布的石墨舟片I，多個(gè)交錯分布的石墨舟片I通過多個(gè)石墨桿串接后且每個(gè)石墨桿的兩端通過石墨螺母5緊固，串接在石墨舟片I頂端的石墨桿2上且位于石墨舟片I間套裝有上部陶瓷管6，串接在石墨舟片I底端的石墨桿3上且位于石墨舟片I間套裝有下部陶瓷管，串接在石墨舟片I兩端部的石墨桿4上且位于石墨舟片I間套裝有上部導(dǎo)電塊7和下部導(dǎo)電塊8;其中，上部陶瓷管6的長度為10.8mm，下部陶瓷管的長度為11.0mm，上部陶瓷管6和下部陶瓷管的壁厚均為3.7mm;兩排上部導(dǎo)電塊組和下部導(dǎo)電塊組平行設(shè)置，上部導(dǎo)電塊7與石墨舟片I貼合的兩側(cè)面為斜面，斜面與豎直面的夾角為1-2。。
[0015]本實(shí)用新型是通過改變石墨舟上部陶瓷管的長度，同時(shí)打磨上部導(dǎo)電塊側(cè)面的傾斜度，并重新組合后實(shí)現(xiàn)的。經(jīng)多次試驗(yàn)試用及后期推廣使用，本實(shí)用新型石墨舟在鍍膜時(shí)，可完全解決單邊發(fā)紅導(dǎo)致的色差問題，沉積氮化硅均勻性及鈍化效果好，硅片的返工比例與傳統(tǒng)石墨舟相比降低0.5%左右，鍍膜質(zhì)量優(yōu)于傳統(tǒng)石墨舟；同時(shí)，本實(shí)用新型石墨舟由于上部區(qū)域變化小，適用于人工裝片，同樣也可適用于機(jī)械自動化裝片。
[0016]本說明書中所述的只是本實(shí)用新型的較佳具體實(shí)施例，以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非對本實(shí)用新型的限制。凡本領(lǐng)域技術(shù)人員依本實(shí)用新型的構(gòu)思通過邏輯分析、推理或者有限的實(shí)驗(yàn)可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在本實(shí)用新型的圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石墨舟，包括多個(gè)交錯分布的石墨舟片，多個(gè)交錯分布的石墨舟片通過多個(gè)石墨桿串接后且每個(gè)石墨桿的兩端通過石墨螺母緊固，串接在石墨舟片頂端的石墨桿上且位于石墨舟片間套裝有上部陶瓷管，串接在石墨舟片底端的石墨桿上且位于石墨舟片間套裝有下部陶瓷管，串接在石墨舟片兩端部的石墨桿上且位于石墨舟片間套裝有導(dǎo)電塊，其特征在于:所述的上部陶瓷管的長度為10.7—10.9mm，所述的下部陶瓷管的長度為10.9—11.1mnin2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨舟，其特征在于:所述的上部陶瓷管的長度為10.8mm，所述的下部陶瓷管的長度為11.0mm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟，其特征在于:所述的上部陶瓷管和下部陶瓷管的壁厚均為3.5-3.9mm ο4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨舟，其特征在于:所述的上部陶瓷管和下部陶瓷管的壁厚均為3.7mm05.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟，其特征在于:所述導(dǎo)電塊包括有兩排平行設(shè)置的導(dǎo)電塊組，兩排導(dǎo)電塊組分別包括有上部導(dǎo)電塊和下部導(dǎo)電塊，其中，上部導(dǎo)電塊與石墨舟片貼合的兩側(cè)面為斜面，斜面與豎直面的夾角為1-2°。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種石墨舟，包括多個(gè)交錯分布的石墨舟片，多個(gè)交錯分布的石墨舟片通過多個(gè)石墨桿串接后且每個(gè)石墨桿的兩端通過石墨螺母緊固，串接在石墨舟片頂端的石墨桿上且位于石墨舟片間套裝有上部陶瓷管，串接在石墨舟片底端的石墨桿上且位于石墨舟片間套裝有下部陶瓷管，串接在石墨舟片兩端部的石墨桿上且位于石墨舟片間套裝有導(dǎo)電塊；其中，上部陶瓷管的長度為10.7-10.9mm，下部陶瓷管的長度為10.9-11.1mm。本實(shí)用新型上部陶瓷管長度小，下部陶瓷管長度大，石墨舟片間的間距處于上小下大的格局，彌補(bǔ)了硅片厚薄不均的缺陷，使硅片鍍膜時(shí)沉積速率一致，減少單邊發(fā)紅造成的色差，提高鍍膜的均勻性。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號】CN205177803
【申請?zhí)枴緾N201520986158
【發(fā)明人】陸義, 張忠文, 張玉前, 徐文俊, 董朋, 俞玉松
【申請人】通威太陽能（合肥）有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年12月3日