技術(shù)編號：10141997
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。MEMS 麥克風(fēng)是米用微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectromechanical Systems, MEMS)，與傳統(tǒng)駐極體電容式麥克風(fēng)(ECM)相比，具有更好的聲學(xué)性能、更高的信噪比、更好的一致性的敏感度以及更低的功耗。MEMS麥克風(fēng)已經(jīng)廣泛應(yīng)用在語音通信、助聽裝置、智能手機(jī)、筆記本電腦等領(lǐng)域以提供更高的語音質(zhì)量。電容性麥克風(fēng)是一種非常合乎期望并且廣泛使用的麥克風(fēng)類型?，F(xiàn)有技術(shù)的MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)如圖1所示。振膜層300包括錨區(qū)、可振動(dòng)的膜層以及連接錨區(qū)...
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