技術(shù)編號:10177742
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。單晶硅拉制一般在單晶爐中進(jìn)行,目前,所使用的單晶爐包括爐體,爐體內(nèi)設(shè)置有石墨坩禍,現(xiàn)有的石墨坩禍為三瓣鍋,石墨坩禍內(nèi)設(shè)置有石英坩鍋,石墨坩禍外側(cè)設(shè)置有加熱器,所述爐體底部設(shè)置抽氣孔,為了提高石英坩禍的吸熱效率,通常將石英坩禍的外表面設(shè)計成毛面,石英坩禍的內(nèi)表面設(shè)計為光滑面,但是石英坩禍的毛面在高速惰性氣體的沖刷下,會脫落一些二氧化硅顆粒,這些二氧化硅顆粒掉落在石英坩禍與石墨坩禍之間的縫隙中,并在高速惰性氣體的裹帶下一部分沿著石英坩禍與石墨坩禍之間的縫隙向上...
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