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一種用于回收涂布機(jī)管道內(nèi)光刻膠的裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10299083

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在面板制造工藝中,光刻膠涂布是一道關(guān)鍵的工藝技術(shù),進(jìn)行這道工序的主要設(shè)備是涂布機(jī),光刻膠抽取裝置是涂布機(jī)的一個(gè)輔助設(shè)備,主要負(fù)責(zé)將光刻膠容器里的光刻膠抽取到光刻膠管道再傳輸?shù)酵坎紮C(jī)管道,最終通過涂布刮刀的運(yùn)動(dòng)在玻璃基板上均勻的涂覆一層光刻膠。由于涂布刮刀與玻璃基板的寬度一致,為保證均勻涂布,涂布刮刀上設(shè)置有很多涂布機(jī)管道,正常情況下各個(gè)管道內(nèi)都需要充滿光刻膠。為了提高設(shè)備稼動(dòng)率,涂布機(jī)需要定期進(jìn)行清潔和維護(hù),包括對(duì)涂布機(jī)眾多的涂布機(jī)管道進(jìn)行清理。對(duì)涂布機(jī)進(jìn)...
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