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一種mems甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10305257

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催化燃燒式瓦斯傳感器是當(dāng)前煤礦中使用最廣泛、最普遍的瓦斯檢測(cè)儀器。隨著技術(shù)的發(fā)展和完善,這種類型的傳感器近年來(lái)發(fā)展迅速,現(xiàn)已占據(jù)了煤礦瓦斯檢測(cè)儀器的主導(dǎo)地位,對(duì)煤礦安全生產(chǎn)起到了重要的作用?,F(xiàn)有技術(shù)采用的制備MEMS催化燃燒式甲烷傳感器催化劑載體的方法為用液態(tài)或膠態(tài)催化劑載體在每個(gè)加熱器上逐個(gè)進(jìn)行催化劑載體的制備;這種催化劑載體制備方法不具備批量制備的能力,效率低,且制備的催化劑載體涂層不均勻,一致性不好,生產(chǎn)成本高。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是要克服現(xiàn)...
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