技術編號：10338083
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。MEMS麥克風是米用微機電系統(tǒng)(Micro electro mechanical Systems，MEMS)，與傳統(tǒng)駐極體電容式麥克風(ECM)相比，具有更好的聲學性能、更高的信噪比、更好的一致性的敏感度以及更低的功耗。MEMS麥克風已經廣泛應用在語音通信、助聽裝置、智能手機、筆記本電腦等領域以提供更高的語音質量。現(xiàn)有技術的MEMS麥克風包括襯底，以及形成于襯底上的振膜和背極板。振膜被配置為響應于聲音信號而振動，背極板和振膜間隔設置，背極板和振膜組成的電容...
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