技術(shù)編號(hào)：10391670
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。由于LED具有節(jié)能、環(huán)保、光色易調(diào)等諸多優(yōu)點(diǎn)，近年來(lái)LED在照明領(lǐng)域得到了飛速發(fā)展。越來(lái)越多的傳統(tǒng)照明燈具被LED燈代替，并取得了很好的效果。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，有一種刻蝕技術(shù)一一光刻，被廣泛應(yīng)用。為了避免其他燈光對(duì)光刻曝光過(guò)程的干擾，曝光過(guò)程一般都在一個(gè)相對(duì)密閉的環(huán)境中進(jìn)行，而光刻室內(nèi)的燈光需要把500nm以下的短波長(zhǎng)光去除，因此光刻室通常呈黃色，俗稱黃光室或黃房。目前半導(dǎo)體制造黃光室所用的黃燈大多是在傳統(tǒng)的熒光燈管內(nèi)壁涂上一層黃色的熒光粉，利用黃色熒光...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。