技術編號：10468023
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。近些年來，半導體材料技術發(fā)展十分迅速，半導體器件性能的發(fā)展越來越多的受到半導體材料質量的約束，高質量材料制備技術引起越來越多的重視。材料外延生長過程中，缺陷的產生主要來自如下幾個方面(I)襯底本身的缺陷；(2)異質外延過程中的晶格失配和熱膨脹失配引起材料內部應力過大；(3)生長原子較低的活性和表面迀移率。為了提高材料的晶體質量，人們通常采用提高生長溫度的方法提高生長原子的表面迀移率，從而改善材料的表面平整度。過高的生長溫度對設備的電阻加熱系統(tǒng)提出了苛刻的要...
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