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片基板的搬送裝置及處理裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10481771

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作為構(gòu)成顯示器裝置等顯示裝置的顯示元件,例如有液晶顯示元件、有機(jī)電致發(fā)光(有機(jī)EL)元件等。目前,此等顯示元件是以對應(yīng)各像素在基板表面形成被稱為薄膜晶體管(Thin Film TransistorTFT)的主動元件(Active device)漸為主流。近年來,提出了一種在片狀的基板(例如薄膜構(gòu)件等)上形成顯示元件的技術(shù)。作為此種技術(shù),例如有一種被稱為卷軸對卷軸(roll to roll)方式(以下,簡記為“卷軸方式”)的手法廣為人知(例如,參照專利文獻(xiàn)I...
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