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基于透過(guò)率的在線檢測(cè)CdS薄膜厚度的系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10536802

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CdS是I1-VI族化合物半導(dǎo)體材料,是一種非常重要的光敏半導(dǎo)體材料,被廣泛地應(yīng)用于光電子學(xué)領(lǐng)域。尤其CdS多晶薄膜被用于異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池中的窗口層,應(yīng)用于CdTe/CdS異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池和銅銦鎵砸(CIGS)太陽(yáng)電池。在太陽(yáng)電池工藝中,為了提高電池的轉(zhuǎn)換效率,要求將窗口層CdS薄膜厚度控制在10-120nm,同時(shí)為了保障產(chǎn)品成品率,這使得CdS薄膜厚度的控制在工業(yè)生產(chǎn)中顯得尤為重要。目前CdS薄厚度的測(cè)試方法有酸腐蝕臺(tái)階法、橢偏儀等測(cè)試方法,這些測(cè)試方法都只...
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