技術(shù)編號：10574727
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。多晶硅鑄錠采用坩禍作為容器，目前坩禍噴涂的工藝為在噴涂房內(nèi)，將超純氮化硅粉末、硅溶膠和去離子水混合形成乳漿狀溶液，再對乳漿狀溶液進(jìn)行攪拌并加熱，操作人員打開噴涂操作臺上的氣閥和蠕動栗，用手動噴槍將加熱后的溶液噴涂到坩禍內(nèi)表面，常溫下干燥形成氮化硅膜噴涂層?，F(xiàn)有的噴涂設(shè)備存在以下缺陷1、長時間使用后容易導(dǎo)致固定裝置松動及卡死，松動及卡死后攪拌棒攪拌不規(guī)律，導(dǎo)致氮化硅粉攪拌不均勻；2、噴涂完需將氣動馬達(dá)手動抬起操作不方便，長時間傾斜擺放易使攪拌棒彎曲。發(fā)明內(nèi)容...
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