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多晶硅發(fā)射極晶體管制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10625682

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雙極型晶體管在結(jié)構(gòu)上包括發(fā)射區(qū)、基區(qū)和集電區(qū),按照導(dǎo)電類型雙極型晶體管又可分為NPN型晶體管和PNP型晶體管。以NPN型晶體管為例,發(fā)射區(qū)和集電區(qū)為N型半導(dǎo)體,基區(qū)為P型半導(dǎo)體。發(fā)射區(qū)的N型半導(dǎo)體若為N型摻雜的多晶硅,則稱為多晶硅發(fā)射極晶體管,往往應(yīng)用在高頻領(lǐng)域,圖1A為多晶硅發(fā)射極晶體管的結(jié)構(gòu)示意圖,如圖1A所示, 包括作為晶體管的集電區(qū)的N型襯底,P型基區(qū),以及由N型擴(kuò)散區(qū)和N型多晶硅共同構(gòu)成的發(fā)射區(qū),厚氧化層覆蓋的區(qū)域?yàn)閳鰠^(qū),場區(qū)之外的區(qū)域?yàn)橛性磪^(qū)。...
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