技術(shù)編號(hào)：10651344
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在利用硅微加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)的產(chǎn)品中，壓力傳感器是發(fā)展最早的一類。而在所有的壓力傳感器中，壓阻式壓力傳感器又是應(yīng)用最廣的一類，因?yàn)槠涑叽巛^小，成本較低，而且靈敏度高且制造工藝簡(jiǎn)單。目前的壓力傳感器在小的量級(jí)，對(duì)靈敏度的要求很高，所以，設(shè)計(jì)與制造靈敏度較高的壓力傳感器是很有必要的。發(fā)明內(nèi)容技術(shù)問題本發(fā)明需要解決的技術(shù)問題是，提供，該壓力傳感器具有很好的靈敏度。同時(shí)制作簡(jiǎn)單。技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是 一種高靈敏度壓阻式壓力傳感器，該壓阻...
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