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流體控制裝置以及泵的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10663169

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作為栗使用利用壓電元件的振動的栗(例如參照專利文獻(xiàn)I以及2。)。該栗被用于使產(chǎn)生了溫度上升的部件與外部氣體接觸而冷卻的用途、在燃料電池中搬送氧等的流體的用途等。圖16是示意性地示出以往的栗的主要部分的截面圖。圖16所示的以往的栗101具備框體102、振動板103、對置板104以及壓電元件105??蝮w102在內(nèi)部容納振動板103、對置板104以及壓電元件105。對置板104在框體102的內(nèi)部劃分形成栗室110。振動板103設(shè)置于栗室110的內(nèi)部,與對置板10...
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