技術(shù)編號(hào)：10688892
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。基板處理裝置是對(duì)基板進(jìn)行蝕刻、蒸鍍等基板處理的裝置。并且，所述基板處理裝置根據(jù)基板處理工藝而形成多種結(jié)構(gòu)，作為一例，包括工藝腔室，形成密閉的處理空間；噴頭部，設(shè)置于工藝腔室的上側(cè)，向處理空間內(nèi)提供用于基板處理的氣體;基板支撐部，設(shè)置于工藝腔室內(nèi)，支撐被處理基板。具有所述構(gòu)成的基板處理裝置，與氣體的供應(yīng)一同在電磁場(chǎng)處理空間內(nèi)形成等離子，由此執(zhí)行基板處理工藝。并且，所述基板處理裝置在執(zhí)行一定次數(shù)的基板處理工藝之后，經(jīng)過消除微粒的清洗工藝。在此，清洗工藝可根據(jù)多...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。