技術(shù)編號(hào)：10858125
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。通常，使用有機(jī)電激發(fā)光顯示裝置(0LED;0rganic Light Emitting Display)等大面積基板的顯示屏制造工序中，為了形成特定的薄膜而使用印網(wǎng)掩膜等掩膜。對(duì)這種掩膜而言，要求高的清潔度以準(zhǔn)確地形成所需的薄膜圖案，因此需要周期性的清洗等處理工序。現(xiàn)有的掩膜處理裝置如韓國(guó)授權(quán)專(zhuān)利第10-1195565號(hào)中記載，使借助于機(jī)器手(robot)而裝載的掩膜與從夾具堆積臺(tái)取出的夾具結(jié)合，從而被其他機(jī)器手移送且在多個(gè)清洗組進(jìn)行清洗。圖1是所述韓國(guó)授...
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