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制造半導(dǎo)體基片的裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10889777

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目前,傳統(tǒng)的化石能源一直占據(jù)能源供給的主要部分。然而,隨著化石能源儲量的不斷減少,開采難度的不斷加大以及對環(huán)境的極大影響等問題,急需發(fā)展新能源。半導(dǎo)體基片是由半導(dǎo)體材料制成的基片,其被廣泛應(yīng)用于集成電路、光伏發(fā)電等領(lǐng)域。硅作為一種應(yīng)用最多的半導(dǎo)體材料,在地球上儲量豐富、開采容易,因此硅太陽能發(fā)電技術(shù)極具發(fā)展?jié)摿?。目前,利用硅制備半?dǎo)體基片通常采用拉拔法,該方法生產(chǎn)耗能大、環(huán)境污染嚴(yán)重,特別是該方法需要進行切片來制備單片的半導(dǎo)體基片,易造成半導(dǎo)體材料浪費,材...
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