技術編號：10908698
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。常將摻雜物植入至半導體工件中，以產(chǎn)生所需的傳導性。舉例來說，可將摻雜物植入太陽電池，以產(chǎn)生射極區(qū)。一般而言，離子是由離子源所產(chǎn)生。離子源可以是利用RF能量以產(chǎn)生離子的等離子體腔室，或間接加熱陰極(IHC)，或另一種類型的離子源。離子是從離子源提取，且離子在到達工件之前可先通過質量分析與聚焦元件。在一些實施例中，將提取出的離子直接植入工件中，且離子源與工件之間不存在其他元件。也可將工件置于平臺上，以使工件處于適當位置。通常只會對部分工件進行植入。因此，會在離...
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