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技術(shù)編號：10912757

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目前，管式PECVD用石墨舟在使用一段時(shí)間后，或是設(shè)備卡栗等因素造成石墨舟的舟頁上會有氮化硅粉塵，如果不能及時(shí)處理掉會對舟內(nèi)的硅片造成污染鍍膜后會出現(xiàn)白點(diǎn)粉塵片，目前的主要處理方法為一在現(xiàn)場直接使用壓縮空氣槍對石墨舟進(jìn)行吹掃二放到固定的地方在有抽排風(fēng)的設(shè)備內(nèi)進(jìn)行吹掃，其上兩種方法存在明顯的不足之處一是現(xiàn)場吹掃會導(dǎo)致氮化硅粉塵到處亂飛影響車間潔凈度也會對在制品造成污染，二是固定的地方設(shè)置抽排系統(tǒng)費(fèi)用較高。發(fā)明內(nèi)容為解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實(shí)用新型提供一種清...
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• 才老師：1.光合細(xì)菌及暗發(fā)酵細(xì)菌生物制氫技術(shù)研究 2. 有機(jī)廢水生物處理與資源化利用技術(shù)研究 3. 生物活性物質(zhì)篩選與利用研究