技術(shù)編號：10916119
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。電子級磷酸是電子行業(yè)使用的一種超高純化學(xué)試劑，廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路、大屏幕液晶顯示器等微電子工業(yè)，主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻。隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)對電子級磷酸指標(biāo)要求越來越高。高純黃磷是制備電子級磷酸的主要原料，因此，必須從原料上控制雜質(zhì)的含量，其中黃磷純度需達(dá)到5N以上，砷含量低于 30ppb、鋪含量低于lOOppb。目前，國內(nèi)外的文獻(xiàn)中報道了提純工業(yè)黃磷的方法有化學(xué)法和物理法。美國專利 UP4483746公開了一種物理法黃磷純...
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