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技術(shù)編號(hào)：10941638

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LED晶片的制作方法為在一襯底上沉積包括N型層、發(fā)光層和P型層的外延層;然后制備P、N電極，當(dāng)P、N電極注入電流后，電流穿過(guò)外延層使N型層中的電子和P型層中的空穴在發(fā)光層處復(fù)合發(fā)光;最后通過(guò)劃裂工藝分割形成獨(dú)立的LED芯片。為避免后續(xù)外延層沉積過(guò)程中應(yīng)力較大產(chǎn)生的襯底翹曲，通常需在較厚的襯底上沉積外延層，襯底的材質(zhì)為藍(lán)寶石，而后續(xù)劃裂時(shí)，由于藍(lán)寶石襯底硬度較大，為便于劃裂，通常需將襯底減薄至一定的厚度。目前，通常采用研磨、硬拋和軟拋光工藝減薄襯底。目前的硬...
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