技術(shù)編號(hào)：10945606
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 基板通常水平放置在基板盒中，以方便將基板運(yùn)輸?shù)侥康牡亍⒒暹\(yùn)輸?shù)侥康?地之后，通常需要將基板從基板盒內(nèi)取出，以對(duì)基板進(jìn)行后處理工序。 目前，通常利用基板取放裝置將基板從基板盒內(nèi)取出，基板取放裝置包括機(jī)械手， 當(dāng)將基板從基板盒內(nèi)取出時(shí)，先將機(jī)械手的基板叉齒伸到待取出的基板的下方，并使基板 叉齒承載待取出的基板，然后使機(jī)械手上升，基板叉齒帶動(dòng)待取出的基板上升，使待取出的 基板與基板盒內(nèi)的支撐塊分離，然后使基板叉齒移動(dòng)，帶動(dòng)待取出的基板退出基板盒，實(shí)現(xiàn) 將待...
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