技術(shù)編號：11033758
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種切割機卡具。背景技術(shù)砷化鎵晶棒加工流程是先將晶棒斷面角度進行加工，目前比較通用的方法是使用內(nèi)圓鋸將晶棒的斷面切割出來，如圖1所示，現(xiàn)有的卡具100包括內(nèi)圓鋸座1、石墨墊2和拓展卡座3，拓展卡座3與內(nèi)圓鋸座1下方平行連接，拓展卡座3開有用于卡住石墨墊2的卡槽31。石墨墊2兩側(cè)開有卡槽口21，與卡槽31配合相嵌?？ú?1外壁開設(shè)有用于插入螺釘?shù)穆菘?2，拓展卡座3與石墨墊2通過螺釘33固定卡住。當需要對晶棒4進行切割時，為了使得晶棒4在切割過程中不被高溫損壞...
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