欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

一種用于極紫外光刻機(jī)的動(dòng)態(tài)氣體隔離裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11052885

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本實(shí)用新型屬于極紫外光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及用于極紫外光刻機(jī)的動(dòng)態(tài)氣體隔離裝置。背景技術(shù)由于空氣及幾乎所有的折射光學(xué)材料對(duì)13.5nm波長(zhǎng)的極紫外輻照具有強(qiáng)烈的吸收作用,導(dǎo)致極紫外光刻機(jī)(ExtremeUltravioletLithography–EUVL)與普通空氣環(huán)境下的光刻機(jī)大不相同。極紫外光刻機(jī)的主要特點(diǎn)表現(xiàn)在:光學(xué)系統(tǒng)為反射式光學(xué)系統(tǒng);內(nèi)部環(huán)境為真空環(huán)境,除了對(duì)13.5nm的EUV輻照有高透過(guò)率,還要能將產(chǎn)生的污染物質(zhì)迅速排出。極紫外光刻機(jī)的光源、光學(xué)系統(tǒng)、掩模臺(tái)與工件臺(tái)等各個(gè)部件系統(tǒng)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類(lèi)下的技術(shù)專(zhuān)家--如需求助專(zhuān)家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 孫老師:1.機(jī)機(jī)器人技術(shù) 2.機(jī)器視覺(jué) 3.網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng)
  • 楊老師:物理電子學(xué)
洞头县| 古田县| 安徽省| 平果县| 乌兰县| 平定县| 红桥区| 凉山| 敦化市| 仪征市| 平安县| 留坝县| 新和县| 安乡县| 时尚| 宝山区| 厦门市| 和林格尔县| 尤溪县| 汉源县| 阿克苏市| 旬邑县| 临颍县| 肥城市| 淳化县| 永修县| 兴和县| 宣城市| 五华县| 宁南县| 涿州市| 政和县| 新郑市| 金沙县| 桂平市| 英山县| 通江县| 峨山| 武义县| 怀远县| 班玛县|