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用于測(cè)試硅片臭氧氧化層親水性的組合裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11054367

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本實(shí)用新型涉及太陽能制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及太陽能硅片,具體是指一種用于測(cè)試硅片臭氧氧化層親水性的組合裝置。背景技術(shù)目前,在太陽能電池生產(chǎn)過程中,在對(duì)硅片進(jìn)行濕法刻蝕后需要在硅片表面進(jìn)行氧化以形成一層氧化膜二氧化硅,二氧化硅表面含有羥基,羥基可以與水分子短暫的結(jié)合,因此被氧化后的硅片表面由疏水變成親水性,因此為了檢測(cè)硅片表面是否已經(jīng)被氧化,通常需要對(duì)硅片表面進(jìn)行親水性測(cè)試,而常用的方法就是將水滴于硅片表面,觀察硅片表面是否浸潤(rùn),以判斷硅片的親水性效果,從而用親水性測(cè)試的結(jié)果確定硅片的氧化效果。實(shí)用...
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