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單壓電片執(zhí)行器陣列驅(qū)動(dòng)的變形鏡的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11074602

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本實(shí)用新型屬于光學(xué)器件領(lǐng)域,涉及一種單壓電片執(zhí)行器陣列驅(qū)動(dòng)的變形鏡,用在自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)作為波前校正器。技術(shù)背景變形鏡作為自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中的波前校正器,通過控制其鏡面形貌對(duì)光路中的畸變波前進(jìn)行校正,使系統(tǒng)達(dá)到衍射極限。變形鏡的性能很大程度上決定了自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的波前校正能力。各國科研機(jī)構(gòu)投入大量的人力物力研制高性能的變形鏡,目前主要有靜電力驅(qū)動(dòng)、電磁力驅(qū)動(dòng)、熱變形驅(qū)動(dòng)、壓電驅(qū)動(dòng)等不同驅(qū)動(dòng)形式的變形鏡。其中壓電驅(qū)動(dòng)的變形鏡具有頻響高、性能穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)。傳統(tǒng)的壓電變形鏡采用壓電疊堆式執(zhí)行器推動(dòng)鏡面變形,...
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