技術(shù)編號(hào)：11119801
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種運(yùn)動(dòng)伺服平臺(tái)，尤其涉及一種二自由度反對(duì)稱(chēng)并聯(lián)直驅(qū)運(yùn)動(dòng)解耦高精度伺服平臺(tái)。背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)和工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展，人類(lèi)的創(chuàng)造力不斷向著微觀(guān)領(lǐng)域發(fā)展。近年來(lái)，在智能微納器件、微電子和超精密機(jī)械制造、精密測(cè)量等領(lǐng)域中，超精密伺服技術(shù)已逐步成為信息存儲(chǔ)、精密成像、精密機(jī)械制造、半導(dǎo)體裝備等新興行業(yè)的核心技術(shù)，這迫切需要能夠在微米級(jí)、亞微米級(jí)，甚至在納米級(jí)精度上進(jìn)行定位和操作的系統(tǒng)和裝備。因此，建立一種高精密運(yùn)動(dòng)伺服平臺(tái)對(duì)科學(xué)研究和工業(yè)制造都具有非常大的理論意義和現(xiàn)實(shí)意義。傳統(tǒng)串聯(lián)式二維平...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。