技術(shù)編號：11130967
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及的是一種微力傳感器，更具體的說，涉及一種基于PVDF(聚偏氟乙烯)的微針型壓電微力傳感器及其制備方法。背景技術(shù)近年來，隨著微電子技術(shù)、微機械加工技術(shù)的迅速發(fā)展，越來越多的應(yīng)用領(lǐng)域需要高分辨率的微力傳感器。傳感器的主要形式有壓阻式、電容式、光纖式、壓電式等，這類傳感器主要用來完成傳感器與物體間的接觸檢測。目前，國內(nèi)外已有很多研究學(xué)者通過結(jié)合纖毛的結(jié)構(gòu)原理和成熟的MEMS制造技術(shù)設(shè)計制作出多種新穎精巧的微力傳感器，并廣泛應(yīng)用于不同的領(lǐng)域。而這些纖毛式微力傳感器多為壓阻式，通過纖毛尖端與物體...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。