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氮化物半導(dǎo)體模板的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11136394

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氮化物半導(dǎo)體模板本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2012年8月15日、申請(qǐng)?zhí)枮?01210290813.X、發(fā)明名稱為《金屬氯化物氣體發(fā)生裝置、氫化物氣相生長(zhǎng)裝置和氮化物半導(dǎo)體模板》的中國(guó)專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及金屬氯化物氣體發(fā)生裝置、氫化物氣相生長(zhǎng)裝置、和氮化物半導(dǎo)體模板(template)。背景技術(shù)氮化鎵(GaN)、氮化鋁鎵(AlGaN)、氮化銦鎵(InGaN)等氮化物鎵化合物半導(dǎo)體作為能夠發(fā)出從紅色至紫外的光的發(fā)光元件用材料而引起關(guān)注。這些氮化物鎵化合物半導(dǎo)體的結(jié)晶生長(zhǎng)法之一包括以金屬氯化物...
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