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一種PECVD沉積DBR的倒裝LED芯片的制作方法與制造工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11136721

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本發(fā)明涉及一種倒裝LED芯片的制作方法,尤其是一種PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)沉積DBR的倒裝LED芯片的制作方法,屬于LED芯片制造技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)現(xiàn)在LED市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)異常激烈,對(duì)LED芯片的性能要求在不斷提高,目前國內(nèi)外LED倒裝芯片用DBR做絕緣層和反射層,LED芯片上整層DBR增加了反射面積,在不影響芯片其他性能的同時(shí)對(duì)亮度提升很明顯;DBR(distributedBraggreflection)又叫分...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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