技術(shù)編號(hào):11147055
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及等離子體鍍膜技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種等離子體鍍膜裝置。背景技術(shù)等離子體是一種物質(zhì)能量較高的聚集狀態(tài),它的能量范圍比氣態(tài)、液態(tài)、固態(tài)物質(zhì)都高,被稱為物質(zhì)的第四態(tài),存在具有一定能量分布的電子、離子和中性粒子。低溫等離子體中粒子的能量一般約為幾個(gè)至幾十電子伏特,大于聚合物材料的結(jié)合鍵能(幾個(gè)至十幾電子伏特),遠(yuǎn)低于高能放射性射線,只涉及材料表面,不影響基體的性能。處于非熱力學(xué)平衡狀態(tài)下的低溫等離子體中,電子具有較高的能量,可以斷裂材料表面分子的化學(xué)鍵而形成新鍵,而中性粒子的溫度則接近室溫,這些...
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