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共振裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11161922

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本發(fā)明涉及多個振動臂以面外彎曲振動模式進行振動的共振裝置。背景技術(shù)以往,使用了MEMS(MicroElectroMechanicalSystems:微機電系統(tǒng))技術(shù)的共振裝置例如作為定時器件被使用。該共振裝置被安裝在設置于智能手機等電子設備內(nèi)的印刷電路基板上。共振裝置具備下側(cè)基板、與下側(cè)基板之間形成腔室的上側(cè)基板、以及在下側(cè)基板以及上側(cè)基板之間被配置于腔室內(nèi)的共振子。共振子具備向形成在下側(cè)基板以及上側(cè)基板之間的腔室內(nèi)延伸的基部、和在腔室內(nèi)從與基部的一端連接的固定端朝向自由端并列地延伸的多個振動臂...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路,無完整電路圖,適合研究學習。

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