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卸件裝置及拋光裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11188107

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本發(fā)明涉及高精度拋光技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種卸件裝置及拋光裝置。背景技術(shù)拋光是指利用機(jī)械、化學(xué)或電化學(xué)的作用,使工件表面粗糙度降低,以獲得光亮、平整表面的加工方法。是利用拋光工具和磨料顆粒或其他拋光介質(zhì)對拋光件表面進(jìn)行的修飾加工。晶片等較薄的零件在拋光的過程中,需要采用高精度的拋光裝置,防止對較薄的零件造成損傷。目前采用的拋光裝置為下盤固定,上盤旋轉(zhuǎn)進(jìn)行拋光。傳統(tǒng)的拋光裝置在拋光過程中,下盤上的拋光件有時會發(fā)生故障,但是需要將上盤向上移動才能取出拋光件,步驟較為繁瑣,使用不方便。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的...
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