技術編號：11188166
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及硬脆材料化學機械拋光技術領域，具體涉及一種基于凝膠基底的石英玻璃圓柱面拋光盤的制作方法。背景技術傳統(tǒng)的化學機械拋光利用拋光墊來傳輸和均勻分布拋光液，利用拋光液的成分和被拋光材料表面發(fā)生化學反應產生比較容易去除的物質，以及拋光顆粒和被拋光表面發(fā)生物理摩擦，達到拋光的目的，但由于拋光墊是平的，只能進行平面拋光，而且拋光墊的價格較高，增加拋光成本；另一方面，拋光過程也會造成拋光液的浪費，目前普遍采用氧化鈰拋光液，氧化鈰拋光液價格較高且有毒，對環(huán)境產生污染。中國專利201110231332.7...
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