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一種硅烷排粉塵清理裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11227246

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本發(fā)明涉及廢品排放領(lǐng)域,特別涉及一種硅烷排粉塵清理裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)中,晶體硅太陽能電池片生產(chǎn)過程共分為制絨、擴散、刻蝕、鍍膜和絲網(wǎng)印刷五道工序,其中在鍍膜過程中,會使用到氨氣及硅烷,生產(chǎn)所產(chǎn)生的廢氣經(jīng)由硅烷燃燒塔處理。含硅烷氨氣的氣體經(jīng)過初級燃燒筒,經(jīng)由接入的壓縮空氣燃燒,未燃燒殆盡的氣體及氨氣進入下一級,利用設(shè)備補的新風(fēng)繼續(xù)燃燒,氨氣經(jīng)過噴淋與水結(jié)合,生成氨水,經(jīng)過凈化后的空氣再由風(fēng)機排入大氣。因硅烷燃燒生成固態(tài)的二氧化硅粉塵,容易堵塞風(fēng)道及硅烷排內(nèi)部填料,造成設(shè)備堵塞,影響設(shè)備運行,直...
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