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一種陣列基板及其制備方法與流程技術資料下載

技術編號:11235649

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本發(fā)明涉及半導體顯示技術領域,具體而言涉及一種陣列基板及其制備方法。背景技術隨著半導體顯示技術的不斷發(fā)展,顯示面板對其陣列基板上的電極線以及薄膜晶體管的電極的導電性能的要求越來越高。特別是在高分辨率的產品中,為了增加開口率,需要在保證導電性能的基礎上減小電極線的線寬;在大尺寸的產品中,為了保證畫面的刷新頻率,需要降低電極線的電阻。現(xiàn)有技術中,通常采用金屬銅或金屬鋁等金屬作為制備陣列基板中的電極線和薄膜晶體管中的電極,容易做到低線寬、低功耗和高的導電率,進而可以提升顯示面板的顯示效果。但由于銅原子...
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