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一種可探測電荷變化特征的傳感器的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11249591

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本發(fā)明涉及一種可探測電荷變化特征的電荷傳感器。背景技術(shù)電荷傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究以及日常生活中。在航空航天領(lǐng)域射線強度的檢測,核電子領(lǐng)域中電荷量的測量,生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中生化反應(yīng)速率的監(jiān)測中都用到電荷傳感器,甚至我們每天使用的電子產(chǎn)品,如手機等,也利用電荷傳感器來檢測電池的帶電量。在探測電荷的傳感器中,目前主要有諧振式傳感器、電荷積分放大器、電荷靈敏前置放大器、基于比較器的靜態(tài)電荷感應(yīng)器等。諧振式傳感器主要應(yīng)用于微機電領(lǐng)域,可以探測電荷量的大小,但由于這是一種機械結(jié)構(gòu)的傳感器,裝置復(fù)雜、...
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